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INFORMA«'ES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve ler
atentamente o presente manual de instruÁıes e qualquer outra
informaÁ„o adicional fornecida pela Varian antes de usar a
aparelhagem. A Varian n„o se responsabiliza pela eventual
inobserv‚ncia total ou parcial das instruÁıes, pelo uso indevido por
parte de pessoas n„o treinadas, por operaÁıes n„o autorizadas ou
pelo uso contr·rio ‡s normas nacionais especÌficas.
As bombas da sÈrie Turbo-V2000HT s„o bombas turbomoleculares
para aplicaÁıes de alto e ultra-alto v·cuo, e s„o capazes de bombear
qualquer tipo de g·s ou de composto gasoso. N„o s„o adequadas
para bombear lÌquidos ou partÌculas sÛlidas.
O efeito da bomba È obtido atravÈs de uma turbina rotativa de alta
velocidade (33000 r.p.m. m·x.) movida por um motor elÈctrico de trÍs
fases de alto rendimento. As bombas Turbo-V2000HT s„o totalmente
sem agentes contaminadores e, portanto, s„o adequadas para
aplicaÁıes que requerem um v·cuo "limpo".
Nos par·grafos seguintes est„o descritas todas as informaÁıes
necess·rias para garantir a seguranÁa do tÈcnico durante o uso da
aparelhagem. InformaÁıes detalhadas s„o fornecidas no apÍndice
"Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenÁıes:
!
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenÁ„o do tÈcnico para um
procedimento ou uma pr·tica especÌfica que, se n„o efectuada
correctamente, poderia provocar graves lesıes pessoais.
!
ATEN«BO
As mensagens de atenÁ„o s„o visualizadas antes de procedimentos
que, se n„o observados, poderiam causar danos ‡ aparelhagem.
NOTA
As notas contÍm informaÁıes importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nÌvel M·ximo de funcionalidade e fiabilidade das bom-
bas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as seguintes
prescriÁıes:
•
durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das
bombas as condiÁıes ambientais devem ser as seguintes:
•
temperatura: de ñ20 WC a 70 WC
•
umidade relativa: de 0 a 95% (n„o condensante)
•
ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o
cliente deve ativ·-las sempre em modalidade Soft-Start
•
o tempo m·ximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular
È de 10 meses a contar da data da expediÁ„o.
!
ATEN«BO!
Se, por uma raz„o qualquer, o perÌodo de armazenagem for superior,
ser· necess·rio enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais
informaÁıes, contatar o representante local da Varian.
PREPARA«BO PARA A INSTALA«BO
A bomba È fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se durante o
transporte, entrar em contacto com o escritÛrio de vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para n„o deixar
cair a bomba e n„o submetÍ-la a colisıes ou vibraÁıes.
N„o depositar a embalagem no meio ambiente. O material È
completamente recicl·vel e responde ‡s normas CEE 85/399 para a
protecÁ„o do meio ambiente.
!
9
INSTRU«'ES PARA O USO
!
ATEN«BO
Para evitar problemas de perdas de g·s, n„o tocar com as m„os os
componentes destinados ‡ exposiÁ„o do v·cuo. Utilizar sempre luvas
ou outra protecÁ„o adequada.
NOTA
A bomba n„o pode ser danificada permanecendo simplesmente
exposta ‡ atmosfera. Aconselha-se, no entanto, mantÍ-la
fechada atÈ o momento da instalaÁ„o no sistema para evitar que
se suje com poeiras.
INSTALA«BO
!
PERIGO!
A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando
ferramentas especÌficas de levantamento e deslocamento. Se for
preciso, utilizar os pinos de olhal a aparafusar nos furos com
rosca M8 posicionados na embalagem da bomba.
Assegure-se de que a bomba È idÛnea para o tipo de aplicaÁ„o
desejado. A bomba foi concebida para o uso em sistema de
bombeamento para PVD ou, em geral, para aplicaÁıes que
necessitam de v·cuo ìlimpoî. Para quaisquer outros tipos de
aplicaÁ„o, contacte a Varian Vacuum Technologies ou o seu
fornecedor de confianÁa.
!
Remover o adesivo e retirar o tamp„o de protecÁ„o sÛ no mo-
mento da ligaÁ„o da turbobomba ao sistema
!
ATEN«BO
!
.
87-900-914-01(F)
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