Tabla de contenido
INFORMACI"N GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario
deber· leer atentamente el presente manual de instrucciones y
cualquier otra informaciÛn suplementaria facilitada por Varian antes de
utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier responsabilidad
debida al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso
poco apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las intervenciones
no autorizadas o al uso que no cumpla con las normas nacionales
especÌficas.
Las
bombas
de
la
serie
turbomoleculares para aplicaciones de vacÌo alto y ultra alto y pueden
bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son
apropiadas para bombear lÌquidos o partÌculas sÛlidas.
El efecto de bombeo se obtiene a travÈs de una turbina que gira a gran
velocidad (33000 r.p.m. m·x.) movida por un motor elÈctrico trif·sico
de grandes prestaciones. En las bombas Turbo-V2000HT no hay
agentes contaminantes y, por lo tanto, son apropiadas incluso para las
aplicaciones que necesitan un vacÌo "limpio".
En los p·rrafos siguientes se indica toda la informaciÛn necesaria para
garantizar la seguridad del operador durante el uso del equipo. Una
informaciÛn m·s detallada se facilita en el Suplemento "Technical
Information".
Este manual utiliza los sÌmbolos convencionales siguientes:
!
°PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atenciÛn del operador sobre un
procedimiento o una operaciÛn especÌfica que, al no realizarse
correctamente, podrÌa provocar graves lesiones personales.
!
°ATENCI"N!
Los mensajes de atenciÛn se visualizan antes de procedimientos que,
al no respetarse, podrÌan provocar daÒos al equipo.
NOTA
Las notas contienen informaciÛn importante extraÌda del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel m·ximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Varian, deber·n aplicarse las siguientes
instrucciones:
•
durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las
bombas no deber·n superarse las siguientes condiciones
ambientales:
•
temperatura: entre ñ20 TC y 70 TC;
•
humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
•
el cliente deber· activar siempre las bombas turbomoleculares en
modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por
primera vez;
•
el perÌodo m·ximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envÌo al
cliente.
!
En caso de superarse por cualquier motivo el perÌodo m·ximo permiti-
do de almacenamiento, ser· necesario devolver la bomba al fabricante.
Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el
representante local de Varian.
PREPARACI"N PARA LA INSTALACI"N
La bomba se suministra en un embalaje de protecciÛn dimensional; si
se observan seÒales de daÒos, que podrÌan haberse producido
durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta m·s
cercana.
Durante la operaciÛn de desembalaje, prestar una atenciÛn especial a
no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE 85/399 para la
preservaciÛn del medio ambiente.
Turbo-V2000HT
son
bombas
°ATENCI"N!
!
Para evitar la degasificaciÛn, no tocar con las manos sin guantes los
componentes destinados a someterse al vacÌo. Utilizar siempre los
guantes u otra protecciÛn apropiada.
La bomba no se puede daÒar sÛlo por quedar expuesta a la
atmÛsfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalaciÛn en el sistema para evitar una
posible contaminaciÛn debida al polvo.
INSTALACI"N
!
La bomba, a causa de su peso, ha de manejarse mediante
herramientas de levantamiento y desplazamiento especÌficas.
Para este fin se utilizan las respectivas armellas, que deben ser
atornilladas en los agujeros roscados M8 presentes en la cubierta
de la bomba.
Verificar que la bomba sea adecuada para el uso que de ella se
desea hacer. La bomba ha sido proyectada para empleo en
sistemas de bombeo para PVD o para aplicaciones en las que
generalmente se requiere un vacÌo ìlimpioî. Respecto de otras
aplicaciones sÌrvase contactar con Varian Vacuum Technologies
o con su proveedor.
!
Eliminar el adhesivo y quitar el tapÛn de protecciÛn sÛlo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
7
INSTRUCCIONES DE USO
°ATENCI"N!
NOTA
°PELIGRO!
°ATENCI"N!
87-900-914-01(F)
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