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INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e
qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian
antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza
pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,
pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas
nacionais específicas.
As
bombas
da
série
Turbo-V300
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo,
especialmente apropriadas para o uso nos sectores ligados à
industria dos semicondutores, e capazes de bombear qualquer
tipo de gás ou de composto gasoso. Não são adequadas para
bombear líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (56000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas Turbo-
V300 ICE são totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um
vácuo "limpo".
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do técnico durante o
uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas
no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões
pessoais.
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, poderiam causar
danos à aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Durante o transporte e a armazenagem das bombas não
devem ser superadas as seguintes condições ambientais:
-
temperatura: de -20ºC a +70ºC
-
humidade relativa: 0 - 95% (não condensante)
Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a
bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo).
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399
para a protecção do meio ambiente.
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
ICE
são
bombas
ATENÇÃO!
ATENÇÃO!
A
bomba
não
pode
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para
evitar que se suje com poeiras.
INSTALAÇÃO
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
-
pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
-
temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
-
humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical
Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V300 ICE devem
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian
específicos (série 969-9433, 969-9533) e devem ser ligadas a
uma
bomba
primária
Information").
Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no
momento da ligação da turbobomba ao sistema.
9
INSTRUÇÕES PARA O USO
NOTA
ser
danificada
permanecendo
(ver
esquema
em
"Technical
ATENÇÃO!
87-900-897-01(C)
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