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ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist f¸r Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte der
Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatz-
dokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch teilweise- der
enthaltenen Hinweise, unsachgem‰flem Gebrauch durch ungeschul-
tes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Miflachtung der einhei-
mischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen ¸bernimmt die
Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V2000HT handelt es sich um Tur-
bomolekularpumpen f¸r Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen.
Sie eignen sich zur Fˆrderung von jeder Art von Gasen oder gashalti-
gen Gemischen, nicht jedoch zur Fˆrderung von Fl¸ssigstoffen oder
Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsdrehturbine
(max. 33000 U/Min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrom-
motor angetrieben wird. Die Turbo-V2000HT -Pumpen enthalten kei-
nerlei umweltsch‰dliche Substanzen und eignen sich deshalb auch f¸r
Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen f¸r
die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Ger‰ts aufge-
f¸hrt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical
Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise fol-
gendermaflen hervorgehoben:
!
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf
eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausf¸hrung
schwere Verletzungen hervorrufen kˆnnen.
!
ACHTUNG
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener
darauf aufmerksam, dafl bei Nichteinhaltung Sch‰den an der Anlage
entstehen kˆnnen.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text
hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Hˆchstmafl an Effizienz und Zuverl‰ssigkeit der Varian Tur-
bomolekularpumpen zu gew‰hrleisten, sind die folgenden Anweisun-
gen zu beachten:
•
W‰hrend des Transports, der Handhabung und der Einlagerung
der Pumpen d¸rfen die folgenden Grenzwerte nicht ¸berschritten
werden:
•
Temperatur: von ñ20 [C bis 70 [C
•
Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)
•
Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang
bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen.
•
Die Lagerdauer f¸r eine Turbomolekularpumpe betr‰gt 10 Monate
ab dem Speditionsdatum.
!
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gr¸nden die genannte
Frist ¸berschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zur¸ckzusenden.
F¸r Informationen wenden Sie sich bitte an den ˆrtlichen Varian Vertre-
ter.
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Even-
tuelle Transportsch‰den m¸ssen der zust‰ndigen ˆrtlichen Verkaufs-
stelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht f‰llt oder
Stˆflen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial mufl korrekt entsorgt werden. Es ist voll-
st‰ndig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 f¸r Um-
weltschutz.
!
3
GEBRAUCHSANLEITUNG
!
ACHTUNG
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, d¸rfen die Komponenten, die
in Ber¸hrung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloflen H‰nden an-
gefaflt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten
Schutz tragen.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosph‰re ausge-
setzt ist, keine Sch‰den erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation
auf
der
Anlage
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
!
GEFAHR!
Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe nur mit entsprechend
geeigneten Ger‰ten angehoben und transportiert werden. Zu die-
sem Zweck sind die daf¸r vorgesehenen Ringschrauben zu ver-
wenden, die in die Gewindebohrungen M8 am Pumpengeh‰use
einzuschrauben sind.
‹berpr¸fen, dass die Pumpe f¸r die betreffende Anwendung ge-
eignet ist. Die Pumpe wurde f¸r den Gebrauch in PVD-
Pumpsystemen und im Allgemeinen f¸r Anwendungen, bei denen
ein ìsauberesî Vakuum erforderlich ist, konzipiert. F¸r anderweiti-
ge Anwendungen ist mit Varian Vacuum Technologies oder mit
Ihrem Lieferanten R¸cksprache zu halten.
!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschlufl der Turbopumpe an die Anlage
!
geschlossen
bleiben,
ACHTUNG
!
.
87-900-914-01(F)
um
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