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Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die unge-
sch¸tzt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressi-
ven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhˆhte
Brandgefahr besteht.
NEIN
!
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschlieflen, darf auf auf keinen Fall in
die Einlaflˆffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwel-
che Gegenst‰nde eingef¸hrt werden. Es wird empfohlen, ein
Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehˆr). Bei Installation
eines Ersch¸tterungsd‰mpfers oder eines flexiblen Metallbal-
ges auf der Einlaflˆffnung mufl die Turbopumpe immer am
Unterteil fest installiert.
Beim Betrieb m¸ssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
-
Maximaldruck: 2 Bar ¸ber dem atmosph‰rischen Druck
-
Temperatur: von +5[C bis +35[C
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, m¸ssen die Pumpen ¸ber Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms gesch¸tzt werden.
Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Informationî.
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000HT d¸rfen nur
mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9462, 969-
9562) benutzt werden und m¸ssen an eine Prim‰rpumpe ange-
schlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die
Turbopumpen kˆnnen in jeder Position installiert werden.
!
GEFAHR!
Die von der Pumpe gelieferte Leistungsst‰rke ist an den zu pum-
penden Gastyp anzupassen. ‹ber den Controller (siehe Betriebs-
anleitung des Controllers) kann LUFT oder ARGON (Default:
ARGON) ausgew‰hlt werden. F¸r die Verwendung der Pumpe mit
anderweitigen Gasen ist mit Varian R¸cksprache zu halten.
Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch anschlieflen, der ein Drehmoment von 20000 Nm um
seine eigene Achse aush‰lt.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch m¸ssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die
Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment f¸r die jewei-
ligen Flanschgrˆflen und Klemmenarten angegeben.
FLANSCH
KLEMM-
SCHELLE
ISO 250
Doppelklemme mit
M10-Gewinde
Einzelschelle mit
M10-Gewinde
Die Turbopumpe mit Eintrittsflansch ISO F 250 (bolted) ist an der
Vakuumkammer mit 12 Mutterschrauben M10 zu befestigen. Tur-
bopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch m¸ssen mit dem speziel-
len
Varian-
Befestigungsmaterial
angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Tech-
nical Information".
AN.
ANZUGS-
MOMENT
12
22 Nm
12
22 Nm
an
die
Vakuumkammer
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
Installation Sonderzubehˆr: siehe "Technical Informationì.
ANWENDUNG
S‰mtliche Hinweise f¸r den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpenge-
h‰use mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden.
W‰hrend der eventuellen Erw‰rmung der Vakuumkammer darf
die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors 120[C
nicht ¸berschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Wasserk¸hlung
arbeiten.
!
GEFAHR!
W‰hrend des Ausheizens d¸rfen weder die Pumpe noch eventu-
elle heifle Anschluflteile ber¸hrt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
!
F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Bel¸f-
tungsanschlufl mufl kleiner als 2 bar ¸ber dem atmosph‰rischen
Druck sein.
!
W‰hrend des Betriebs sind Stofl- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die
Lager besch‰digt werden kˆnnten.
!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer
÷ffnungsklappe ausgestattet, ¸ber die zum Schutz der Lager
ausschliefllich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugef¸hrt werden
darf (siehe Anhang "Technical Information").
!
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Fˆrderung von giftigen, leicht entflammba-
ren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, m¸ssen die f¸r das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg‰nge und Maflnahmen be-
folgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Pr‰senz von explosiven Ga-
sen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V2000HT sind wartungsfrei. Even-
tuelle Eingriffe d¸rfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausge-
f¸hrt werden.
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe ¸ber ÷ffnung des entsprechenden Ventils bel¸ften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am
Pumpengheh‰use unter 50[C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian ad-
vanced exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian mufl
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgef¸llt an Varian geschickt und best‰tigt wer-
den. Eine Kopie mufl den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung mufl unter Einhaltung der ein-
schl‰gigen landes¸blichen Vorschriften erfolgen.
ACHTUNG
!
ACHTUNG
!
ACHTUNG
!
87-900-914-01(F)
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