Agilent 969-8400 Manual De Instrucciones página 77

Tabla de contenido
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI
INŠTALÁCIA
UPOZORNENIE!
Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr,
než pripojíte turbovývevu k systému.
Čerpací systém neinštalujte ani nepoužívajte v
prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď,
sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo
výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje
vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je
potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:
− maximálny
tlak:
atmosférického tlaku
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť čerpací
systém chránený feromagnetickým štítom.
TPS-mobile musí byť umiestnené na rovný povrch.
Umiestnite
TPS-mobile
pripojením
vstupnej
k protiprírube
schopnej
momentu 50 Nm vo svojej osi (priamo alebo
nepriamo prostredníctvom pružného spoja).
Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť
pripojená k protiprírube prostredníctvom svoriek.
Nasledujúca tabuľka popisuje pre každý druh
svorky
potrebný
počet
uťahovací moment.
UPEVŇOVACÍ
PRÍRUBA
MECHANIZMUS
ISO 63
Svorky M10
ISO 100 K
Svorky M10
ISO 160 K
Svorky M10
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí
byť
pripojená
k vákuovej
vhodného hardware značky Varian. Podrobné
informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical
Information".
POZNÁMKA
TPS-mobile
nemožno
základnej dosky.
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku
"Technical Information".
POUŽITIE
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia
zariadenia.
Pred použitím systému skontrolujte, či boli správne
zrealizované
všetky
zapojenia.
Teplota
vstupnej
zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť
120 şC.
2 bary
nad
úrovňou
do
stabilnej
polohy
príruby
turbovývevy
odolávať
krútiacemu
svoriek
a príslušný
UPEVŇOVACÍ
POČET
KRÚTIACI
MOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
komore
pomocou
upevniť
pomocou
elektrické
a pneumatické
príruby
počas
Nikdy nepoužívajte čerpací systém, ak vstupná
príruba nie je pripojená k vákuovej komore, alebo
nie je zablendovaná.
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte
turbovývevy ani žiadneho príslušenstva. Vysoké
teploty môžu spôsobiť popáleniny
Nepremiestňujte turbovývevu, ak je v činnosti, a
chráňte
ju
k poškodeniu ložísk, čo my mohlo viesť k úrazom
alebo k majetkovým škodám.
Pre výplach vývevy používajte inertný plyn
zbavený prachu, častíc a vlhkosti (napr. dusík)
Tlak na ventilačnom vstupe musí byť nižší než
2 bary (pretlakové).
Ak čerpací systém používate na vyčerpávanie
toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov,
dodržiavajte prosím požadované postupy pre
likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných
plynov.
Zapnutie a použitie zariadenia TPS-mobile
− Po odbalení TPS-mobile sa vizuálnou kontrolou
uistite,
že
nepoškodil (kritickými časťami sú: príruby
jej
vývevy, konzoly pre upevnenie vývevy Foreline,
čelný panel a kolesá systému) prostredníctvom
vizuálnej kontroly.
− Skontrolujte vstupné napätie uvedené na štítku
Varian, prilepenom na ráme elektronickej
jednotky systému.
73/105
NÁVOD K POUŽITIU
VAROVANIE!
VAROVANIE!
VAROVANIE!
pred
nárazmi,
aby
UPOZORNENIE!
VAROVANIE!
sa
systém
počas
87-901-005-01(A)
nedošlo
prepravy
Tabla de contenido
loading

Productos relacionados para Agilent 969-8400

Tabla de contenido