Tabla de contenido
ISTRUZIONI ORIGINALI
dalla specifica pompa turbomolecolare, pompa di
foreline o alimentazione elettrica.
INSTALLAZIONE
ATTENZIONE!
Staccare l'adesivo e togliere il tappo di protezione
solo
al
momento
turbopompa al sistema.
Non
installare
e/o
pompaggio
in
ambienti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas
aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato
rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano
rispettate le seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione
atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici il sistema di
pompaggio deve essere protetto tramite opportuni
schermi.
Il TPS-mobile deve essere posizionato su una
superficie piana. Porre il TPS-mobile in posizione
stabile collegando la flangia di ingresso della
turbopompa ad una controflangia capace di
resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio
asse (direttamente o per mezzo di un raccordo
flessibile).
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve
essere collegata alla controflangia per mezzo di
morsetti. La seguente tabella descrive, per ogni
tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e
con quale coppia di serraggio stringerli.
FLANGIA
TIPO DI MORSETTO
Morsetto doppio
ISO 63
con filettatura M10
Morsetto doppio
ISO 100 K
con filettatura M10
Morsetto doppio
ISO 160 K
con filettatura M10
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat
deve essere fissata alla camera da vuoto per
mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian.
Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical
Information".
NOTA
Il TPS-mobile non può essere fissato tramite la
sua base.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere
"Technical Information".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali
procedure operative.
del
collegamento
della
utilizzare
il
sistema
esposti
ad
agenti
COPPIA DI
N.
SERRAGGIO
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Prima di usare il sistema verificare che tutti i
collegamenti elettrici e pneumatici siano stati
realizzati
correttamente.
riscaldamento
temperatura sulla flangia di ingresso non deve
essere superiore a 120 °C.
Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se
la turboflangia di ingresso non è collegata alla
di
camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di
chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali
accessori durante le operazioni di riscaldamento.
L'elevata temperatura può causare lesioni alle
persone.
Evitare urti o spostamenti della turbopompa
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero
danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle
persone o alle cose.
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas
inerte esente da polvere, particelle o umidità (es.
Azoto). La pressione di ingresso attraverso
l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre
la pressione atmosferica).
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio
di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le
appropriate procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare il sistema di pompaggio in presenza di
gas esplosivi.
Accensione ed Uso del TPS-mobile
− Dopo
aver
assicurarsi che il sistema non abbia tracce di
danneggiamenti
critiche sono: flangia della pompa, staffe di
fissaggio della pompa di Foreline, pannello
frontale
e
un'ispezione visiva.
− Verificare la tensione d'ingresso riportata
sull'etichetta Varian incollata alla chassis
dell'unità elettronica del sistema.
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ISTRUZIONI PER L'USO
Durante
della
camera
da
PERICOLO!
PERICOLO!
PERICOLO!
ATTENZIONE!
PERICOLO!
disimballato
il
TPS-mobile,
dovuti
al
trasporto
ruote
del
sistema)
87-901-005-01(A)
l'eventuale
vuoto,
la
(parti
mediante
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