Tabla de contenido
Różnice pomiędzy modelami TPS-mobile dotyczą
tylko parametrów systemu, natomiast działanie
i procedury obsługi są takie same dla wszystkich
TPS-mobile.
Podane informacje mają zastosowanie dla całej
platformy (wszystkie modele), niezależnie od tego,
czy jest to pompa turbomolekularna, pompa
foreline czy o zasilaniu elektrycznym.
INSTALACJA
Usunąć
taśmę
klejącą
zabezpieczający tylko w momencie połączenia
pompy do systemu.
Nie
instalować
i
/
pompującego w otoczeniach wystawionych na
czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg),
pyły,
gazy
chemiczne,
wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Podczas
działania
przestrzegać następujące warunki otoczenia:
− maksymalne
ciśnienie:
ciśnieniem atmosferycznym
− temperatura: od +5 °C do +35 °C
− względna wilgoć 0 -95% (bez opar).
W obecności pól elektromagnetycznych zespół
pompyjący musi być odpowiednio zabezpieczony
przez odpowiednie ekranowanie.
TPS-mobile
należy
powierzchni.
Ustawić
stabilnej, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy z
przeciwkołnierzem,
którego
moment wokół własnej osi wynosi co najmniej 50
Nm
(bezpośrednio
lub
elastycznej).
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi
być połączona z przeciwkołnierzem za pomocą
zacisków. W poniższej tabeli podano, dla każdego
typu zacisku, ilość koniecznych zacisków oraz
moment potrzebny do ich zamocowania.
KOŁNIERZ
TYP ZACISKU
Podwójny zacisk
ISO 63
z gwintem M10
Podwójny zacisk
ISO 100 K
z gwintem M10
Podwójny zacisk
ISO 160 K
z gwintem M10
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat
musi być zamocowana do komory próżniowej
poprzez odpowiednie drobne układy mechaniczne
firmy Varian. W celu dodatkowych informacji
należy zapoznać się z dodatkiem "Technical
Information"
INFORMACJA
System TPS-mobile nie może być mocowany
poprzez własną podstawę.
UWAGA!
i
zdjąć
korek
lub
użytkować
zespołu
w
środowiskach
obowiązkowo
należy
2
bary
ponad
ustawić
na
płaskiej
TPS-mobile
w
pozycji
wytrzymałość
na
za
pomocą
złączki
MOMENT
Nr.
DOKRĘCENIA
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy
zapoznać się z „Technical Information".
UŻYTKOWANIE
W tym paragrafie zostały przedstawione główne
procedury operacyjne.
Przed rozpoczęciem korzystania z układu należy
sprawdzić, czy wszystkie podłaczenia elektryczne i
pneumatyczne są wykonane poprawnie. Podczas
ewentualnego
temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć
120 °C.
Absolutnie
nie
pompującego w przypadku, gdy kołnierz wejściowy
nie jest podłączony do komory lub nie jest
zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych
akcesoriów
podczas
Wysoka
temperatura
uszkodzenia ciała na osobach.
Podczas
funkcjonowania
unikać uderzeń i jej przemieszczania. Łożyska
mogą
ulec
uszkodzeniu
uszkodzenia Osób lub rzeczy.
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować
obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek i bez
wilgoci (np.: Azot). Ciśnienie wejściowe poprzez
odpowiedni wlot musi być niższe od 2 barów (
ponad ciśnienie atmosferyczne).
Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania
gazów
toksycznych,
radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie
procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować zespołu pompującego w obecności
gazów wybuchowych.
Włączenie i obsługa systemu TPS-mobile
− Po rozpakowaniu TPS-mobile sprawdzić, czy
nie
ma
śladów
spowodowanych
krytyczne to: kołnierz pompy, wsporniki do
mocowania pompy Foreline, panel przedni oraz
koła
systemu),
wzrokową.
63/105
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
nagrzania
komory
próżniowej,
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
wolno
uruchamiać
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
operacji
nagrzewania.
może
spowodować
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
turbopompy
i
może
UWAGA!
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
łatwo
palnych
uszkodzenia
przez
transport
przeprowadzając
87-901-005-01(A)
zespołu
należy
dojść
do
lub
systemu
(części
kontrolę
Tabla de contenido
