Tabla de contenido
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI
As informações apresentadas são aplicáveis em
toda
a
plataforma
independentemente da bomba turbomolecular
específica,
da
bomba
alimentação eléctrica.
INSTALAÇÃO
ATENÇÃO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa
de protecção somente no momento de ligar a
turbobomba ao sistema.
Não instalar e/ou usar o sistema de bombeamento
em ambientes expostos a agentes atmosféricos
(chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos,
em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam
respeitadas as seguintes condições ambientais:
-
pressão máxima: 2 bar além da pressão
atmosférica
-
temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
-
humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, o
sistema de bombeamento deve ser protegida
através de blindagens adequadas.
O TPS-móvel dever ser posicionado sobre uma
superfície plana. Colocar o TPS-móvel em posição
estável, conectando a flange de entrada da turbo-
bomba a uma contra-flange capaz de resistir a um
torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo
(directamente ou por meio de uma conexão
flexível).
A turbo-bomba com flange de entrada ISO deve
ser conectada à contra-flange por meio de
terminais. A tabela a seguir descreve, para cada
tipo
de
terminal,
o
necessários e com qual torque de aperto devem
ser apertados.
FLANGE
TIPO DE GRAMPO
Grampo duplo com
ISO 63
rosca M10
Grampo duplo com
ISO 100 K
rosca M10
Grampo duplo com
ISO 160 K
rosca M10
A turbobomba com flange de entrada ConFlat
deve ser fixada à câmara de vácuo através de
parafusos específicos da mecânica Varian. Para
ulteriores
detalhes,
"Technical Information".
NOTA
O TPS-mobile não pode ser fixado por intermédio
da sua própria base.
Para a instalação dos acessórios opcionais,
consultar "Technical Information".
(todos
os
modelos)
de
foreline
ou
da
número
de
terminais
TORQUE DE
N.
APERTO
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
consultar
o
apêndice
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais
procedimentos operacionais.
Antes de usar o sistema, verificar que todas as
conexões eléctricas e pneumáticas tenham sido
realizadas correctamente. Durante o aquecimento
da câmara a vácuo, a temperatura no flange de
entrada não deve ser superior a 120 ºC.
Nunca activar o sistema de bombeamento se o
flange de entrada não estiver ligado à câmara de
vácuo ou não estiver fechado com o flange de
fecho.
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais
acessórios durante as operações de aquecimento.
A elevada temperatura pode causar lesões às
pessoas.
Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da
turbobomba
quando
rolamentos poderiam sofrer danos e poderia
verificar-se lesões às pessoas ou às coisas.
Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte
sem poeiras, partículas ou humidade (p. ex.:
Azoto). A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bars (além da
pressão atmosférica).
Quando a bomba é utilizada para bombear gases
tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os
procedimentos adequados típicos para cada gás.
Não usar o sistema de bombeamento na presença
de gases explosivos.
Acendimento e Utilização do TPS-mobile
− Após ter desembalado o TPS-móvel, certificar-
se de que o sistema não tenha marcas de
danos devido ao transporte (são partes
críticas: flange da bomba, estribos de fixação
da bomba de Foreline, painel dianteiro e rodas
do sistema) por meio de uma inspecção visual.
− Verificar a tensão de entrada informada na
etiqueta Varian colada no chassi da unidade
electrónica do sistema.
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INSTRUÇÕES PARA O USO
PERIGO!
PERIGO!
PERIGO!
está
a
funcionar.
ATENÇÃO!
PERIGO!
87-901-005-01(A)
Os
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