Tabla de contenido
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI
systeem,
terwijl
de
gebruiksprocedures
voor
modellen hetzelfde zijn.
De vermelde informatie is van toepassing op het
hele platform (alle modellen), onafhankelijk van de
specifieke turbomoleculaire pomp, foreline pomp
of elektrische voeding.
INSTALLATIE
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op
het systeem wordt aangesloten mogen de sticker
en de beschermdop verwijderd worden.
Het pompsysteem mag niet geïnstalleerd en/of
gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn
aan de weersomstandigheden (regen, vorst,
sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens
de
werking
omgevingscondities aanwezig zijn
-
max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
-
temperatuur: van +5°C tot +35°C
-
relatieve
vochtigheid:
condenserend).
In aanwezigheid van magnetische velden moet het
pompsysteem op passende wijze afgeschermd
worden.
De TPS-mobile moet op een vlakke ondergrond
geplaatst zijn. Bevestig de TPS-mobile in een
stabiele positie en monteer de inlaatflens van de
turbopomp op een contraflens die tegen een
koppel van 50 Nm rond de eigen as bestand is
(direct
of
door
middel
aansluiting).
De turbopomp met ISO inlaatflens moet met
behulp van klemmen aan de contraflens worden
bevestigd. Onderstaande tabel geeft, voor elk
klemtype, het aantal benodigde klemmen en het
aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.
FLENS
KLEMTYPE
Dubbele klem met
ISO 63
M10 schroefdraad
Dubbele klem met
ISO 100 K
M10 schroefdraad
Dubbele klem met
ISO 160 K
M10 schroefdraad
De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan
de vacuümpomp worden bevestigd met behulp
van
de
speciale
bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
OPMERKING
De TPS-mobile kan niet met behulp van zijn eigen
basis worden bevestigd.
werking
en
de
alle
TPS-mobile
moeten
de
volgende
0
-
95%
(niet
van
een
flexibele
AANHAAL-
NR.
KOPPEL
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
mechanische
Zie "Technical Information" voor installatie van
accessoires die als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
In
deze
paragraaf
gebruiksprocedures vermeld.
Controleer alvorens het systeem te gebruiken of
alle elektrische en pneumatische aansluitingen
correct tot stand zijn gebracht. Tijdens de
eventuele verwarming van de vacuümkamer mag
de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan
120 °C bedragen.
Laat het pompsysteem nooit draaien als de
inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten
of als de afsluitflens niet gesloten is.
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet
tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur
kan lichamelijk letsel veroorzaken.
Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer
de turbopomp in werking is. De lagers kunnen
beschadigen en er kunnen letsels aan personen of
schade aan voorwerpen worden veroorzaakt.
Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert
gas zonder stof, vaste deeltjes of vocht (bijv.:
stikstof). De inlaatdruk via de hiervoor bestemde
poort moet minder van 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen
van brandbare, giftige of radioactieve gassen,
moeten de procedures worden gevolgd die
speciaal voor elk type gas zijn opgesteld.
Gebruik het pompsysteem niet in aanwezigheid
van explosieve gassen.
Inschakeling en gebruik van de TPS-mobile
− Controleer de TPS-mobile na het uitpakken
visueel op transportschade van het systeem
(kritieke onderdelen zijn: flens van de pomp,
bevestigingssteunen van de Foreline pomp,
voorpaneel en wielen van het systeem).
28/105
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
worden
de
belangrijkste
GEVAAR!
GEVAAR!
GEVAAR!
ATTENTIE!
GEVAAR!
87-901-005-01(A)
Tabla de contenido
