INFORMA«'ES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruÁıes e
qualquer outra informaÁ„o adicional fornecida pela Varian
antes de usar a aparelhagem. A Varian n„o se responsabiliza
pela eventual inobserv‚ncia total ou parcial das instruÁıes,
pelo uso indevido por parte de pessoas n„o treinadas, por
operaÁıes n„o autorizadas ou pelo uso contr·rio ‡s normas
nacionais especÌficas.
As bombas da sÈrie Turbo-V1000 ICE E-series s„o bombas
turbomoleculares para aplicaÁıes de alto e ultra-alto v·cuo,
especialmente apropriadas para o uso nos sectores ligados
‡ industria dos semicondutores, e s„o capazes de bombear
qualquer tipo de g·s ou de composto gasoso. N„o s„o
adequadas para bombear lÌquidos ou partÌculas sÛlidas.
O efeito da bomba È obtido atravÈs de uma turbina rotativa de
alta velocidade (38.000 r.p.m. m·x.) movida por um motor
elÈctrico trif·sico de alto rendimento. As bombas Turbo-V1000
ICE-E series s„o totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, s„o adequadas para aplicaÁıes que requerem um
v·cuo "limpo".
Nos
par·grafos
seguintes
informaÁıes necess·rias para garantir a seguranÁa do tÈcnico
durante o uso da aparelhagem. InformaÁıes detalhadas s„o
fornecidas no apÍndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenÁıes:
! ! ! !
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenÁ„o do tÈcnico para
um procedimento ou uma pr·tica especÌfica que, se n„o
efectuada correctamente, poderia provocar graves lesıes
pessoais.
! ! ! !
ATEN«BO!
As mensagens de atenÁ„o s„o visualizadas antes de
procedimentos que, se n„o observados, poderiam causar
danos ‡ aparelhagem.
OBS
As obs. contÍm informaÁıes importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Durante o transporte e a armazenagem das bombas n„o
devem ser superadas as seguintes condiÁıes ambientais:
−
temperatura: de -20WC a +70WC
−
humidade relativa: 0 - 95% (n„o condensante)
Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a
bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo).
PREPARA«BO PARA A INSTALA«BO
A bomba È fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritÛrio de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
n„o deixar cair a bomba e n„o submetÍ-la a colisıes ou
vibraÁıes.
N„o depositar a embalagem no meio ambiente. O material È
completamente recicl·vel e responde ‡s normas CEE 85/399
para a protecÁ„o do meio ambiente.
! ! ! !
ATEN«BO!
Para evitar problemas de perdas de g·s, n„o tocar com as
m„os os componentes destinados ‡ exposiÁ„o do v·cuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecÁ„o adequada.
est„o
descritas
todas
as
A
bomba
n„o
pode
simplesmente exposta ‡ atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantÍ-la fechada atÈ o momento da instalaÁ„o no sistema
para evitar que se suje com poeiras.
INSTALA«BO
! ! ! !
A bomba, devido ao seu peso, deve ser manuseada utilizando
os equipamentos apropriados para o levantamento e a
movimentaÁ„o.
N„o instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosfÈricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explos„o ou
com elevado risco de incÍndio.
Durante o funcionamento È necess·rio que sejam respeitadas
as seguintes condiÁıes ambientais:
−
press„o m·xima: 2 bar alÈm da press„o atmosfÈrica
−
temperatura: de + 5WC a + 35WC
−
humidade relativa: 0 - 95% (n„o condensante).
! ! ! !
Remover o adesivo e retirar o tamp„o de protecÁ„o sÛ no
momento da ligaÁ„o da turbobomba ao sistema.
9
INSTRU«'ES PARA O USO
OBS
ser
danificada
permanecendo
PERIGO!
ATEN«BO!
87-900-942-01(A)