Tabla de contenido
NEE!
! ! ! !
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening
van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik
van
het
beschermgaasje
trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de
basis bevestigen.
Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage ìTechnical
Informationî voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V1000 ICE-E
series mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een
van de speciale Varian controllers (serie 969-9464 220V, 969-
9564 120V) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp
(zie schema in ìTechnical Informationî).
De turbopomp kan in alle standen worden geÔnstalleerd.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die
een koppel van 4668 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacu¸mkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.
FLENS
KLEMTYPE
ISO 200
Dubbele klem
met M10
schroefdraad
Enkelvoudige
klem met M10
schroefdraad
Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie
M6 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp
worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van
2
500 N/mm
bezitten en met een koppel van 4,5 Nm worden
aangehaald.
Zie ìTechnical Informationî voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.
Lees aandachtig deze handleiding vÛÛr ingebruikname door.
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd
worden
met
verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de
vacu¸mkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer
dan 80U C bedragen.
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.
GEVAAR!
aan
(optional).
Als
een
NR.
AANHAALKOPPEL
6
23 Nm
12
23 Nm
behulp
van
een
optionele
! ! ! !
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort
moet
atmsoferische druk) bedragen.
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen
van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een
stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de
lagers krijgt geleverd (zie bijlage ìTechnical Informationî).
! ! ! !
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare,
giftige
of
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V1000 ICE-E series zijn
onderhoudsvrij.
Eventuele
bevoegd personeel worden uitgevoerd.
! ! ! !
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder
een temperatuur van 50 UC is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart
"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het
plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van
deze kaart moet vÛÛr versturing bij de pomp in de verpakking
worden gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
12
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
GEVAAR!
! ! ! !
ATTENTIE!
minder dan 2 bar (boven de
! ! ! !
ATTENTIE!
! ! ! !
ATTENTIE!
GEVAAR!
radioactieve
gassen,
moeten
werkzaamheden
moeten door
GEVAAR!
OPMERKING
87-900-942-01(A)
de
Tabla de contenido
