Tabla de contenido
NEJ!
! ! ! !
ADVARSEL!
For at udg kvÊstelser m man aldrig af nogen som helst
Ârsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens
indgangsÂbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet
(p eftersp¯rgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdÊmper
eller en b¯jelig metaldÊmper p pumpeÂbningen, skal
turbopumpen altid fastg¯res til underlagspladen.
Hvis der findes magnetfelter m pumpen afskÊrmes. Se bilag
ìTechnical Informationî for yderligere detaljer.
TurbomolekulÊrpumperne i V1000 ICE-E series serien m kun
anvendes med en af de sÊrlige Varian kontrolapparater (serie
969-9464 220 V, 969-9564 120V) og skal forbindes med en
primÊr pumpe (se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den
fastspÊndes ved, at turbopumpens indgangsflange fastg¯res
til en fast modflange, der er i stand til at modst et
drejningsmoment p 4668 Nm omkring aksen.
Turbopumperne med ISO indl¯bsflange skal fastspÊndes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.
F¯lgende tabel angiver det n¯dvendige antal af klemmer og
det
anvendte
tilspÊndingsmoment
flangedimensioner og typer af klemmer.
FLANGE
KLEMMETYPE
ISO 200
Dobbelt klemme,
gevind M10
Enkelt klemme,
gevind M10
For at fastspÊnde pumpen til fundamentet er det n¯dvendigt at
anvende tre M6-skruer, som indsÊttes i hullerne p pumpens
fundament. Skruerne skal klare en belastning p 500 N/mm
skruernes korrekte tilspÊndingsmoment er 4,5 Nm.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
ANVENDELSE
Al vejledning angÂende turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i hÂndbogen til kontrolenheden.
LÊs den nÊvnte hÂndbog omhyggeligt f¯r brugen.
For at opn bedre grÊnsetryk kan pumpebeklÊdningen
opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, m temperaturen
p indgangsflangen ikke overstige 80TC.
Brug altid vandafk¯ling under opvarmningen.
for
de
enkelte
ANTAL
TILSPENDING-
SMOMENT
6
23 Nm
12
23 Nm
2
! ! ! !
R¯r ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbeh¯r under
opvarmningsman¯vrerne. Den h¯je temperatur kan forÂrsage
kvÊstelser p personer.
Til pumpens luftafl¯b anvendes luft eller en inaktiv luftart, der
er fri for st¯v og partikler. Indgangstrykket gennem den sÊrlige
Âbning skal vÊre under 2 bar.
Undg sammenst¯d, vibrationer eller bratte bevÊgelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Til pumpning af Êtsende luftarter er disse pumper forsynet
med en sÊrlig Âbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvÊlstof) skal sluttes for at beskytte lejerne.
! ! ! !
NÂr pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gÊldende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen m ikke anvendes i eksplosionsfarlige milj¯er.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af TURBO-V1000 ICE-E series typen beh¯ver ikke
nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb p pumpen skal
foretages af autoriseret personale.
! ! ! !
Inden der foretages noget som helst indgreb p turbopumpen,
skal str¯mmen f¯rst afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man Âbner den sÊrlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50TC.
Hvis pumpen gÂr i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan f en repareret pumpe i bytte for
den, der er gÂet i stykker.
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne hÂndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlÊgges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis
en
pumpe
skal
overensstemmelse med det pÂgÊldende lands sÊrlige love.
14
BRUGSANVISNING
ADVARSEL!
! ! ! !
PAS P@
! ! ! !
PAS P@
! ! ! !
PAS P@
ADVARSEL!
ADVARSEL!
BEM8RK
skrottes,
skal
dette
87-900-942-01(A)
foregÂ
i
Tabla de contenido
