Tabla de contenido
INFORMACION GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El
usuario deber· leer atentamente el presente manual de
instrucciones y cualquier otra informaciÛn suplementaria
facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se
considera libre de cualquier responsabilidad debida al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco
apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las
normas nacionales especÌficas.
Las bombas de la serie Turbo-V1000 ICE E-series son
bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacÌo alto y
ultra alto especialmente adecuadas para el uso en los
sectores
relacionados
con
semiconductores y pueden bombear cualquier tipo de gas o
de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear
lÌquidos o partÌculas sÛlidas.
El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa
de alta velocidad (38000 r.p.m./min. m·x) movida por un motor
trif·sico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V1000 ICE-E
series no llevan ning˙n tipo de agentes contaminantes y por lo
tanto son aptas para aplicaciones que requieren un vacÌo
ìlimpioî.
Los apartados siguientes contienen toda la informaciÛn
necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador
al utilizar el aparato. InformaciÛn m·s detallada se puede
encontrar en el anexo ìTechnical Informationî.
Este
manual
utiliza
los
siguientes:
! ! ! !
°PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atenciÛn del operador sobre
un procedimiento o una operaciÛn especÌfica que, al no
realizarse correctamente, podrÌa provocar graves lesiones
personales.
! ! ! !
°ATENCION!
Los
mensajes
de
atenciÛn
procedimientos que, al no respetarse, podrÌan provocar daÒos
al equipo.
NOTA
Las notas contienen informaciÛn importante extraÌda del texto.
ALMACENAMIENTO
Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se
deber· cumplir con las condiciones ambientales siguientes:
−
temperatura: de -20UC a +70UC
−
humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en
marcha la bomba en modalidad SOFT START (vÈase el
manual de la unidad de control).
PREPARACION PARA LA INSTALACION
La bomba se suministra en un embalaje de protecciÛn
dimensional; si se observan seÒales de daÒos, que podrÌan
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto
con la oficina de venta m·s cercana.
Durante la operaciÛn de desembalaje, prestar una atenciÛn
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la
preservaciÛn del medio ambiente.
! ! ! !
°ATENCION!
Para evitar la degasificaciÛn, no tocar con las manos sin
guantes los componentes destinados a someterse al vacÌo.
Utilizar siempre los guantes u otra protecciÛn apropiada.
la
industria
de
los
sÌmbolos
convencionales
se
visualizan
antes
de
La bomba no se puede daÒar sÛlo por quedar expuesta a la
atmÛsfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalaciÛn en el sistema para evitar
una posible contaminaciÛn debida al polvo.
INSTALACION
! ! ! !
A causa de su peso, la bomba ha de manejarse utilizando las
herramientas especÌficas de levantamiento y desplazamiento.
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a
agentes atmosfÈricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases
agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de
incendio.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
−
presiÛn m·xima: 2 bar por encima de la presiÛn
atmosfÈrica
−
temperatura: de +5UC a + 35UC
−
humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Cuando hay campos electromagnÈticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. VÈase el apÈndice
ìTechnical Informationî para m·s detalles.
! ! ! !
Eliminar el adhesivo y quitar el tapÛn de protecciÛn sÛlo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
7
INSTRUCCIONES DE USO
NOTA
°PELIGRO!
°ATENCION!
87-900-942-01(A)
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