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Betriebsanleitung
Bei Modellen, die mit Turbomolekularpumpen ausgestattet sind, deren
WARNUNG
Größe kleiner oder gleich der Twistorr 305 FS ist, müssen Sie die Räder
des Systems blockieren, bevor Sie die Pumpe aktivieren, um
unbeabsichtigte Bewegungen zu vermeiden.
Abbildung 15 Räder entsperrt
Für die Belüftung der Pumpe staub , partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas
VORSICHT
(z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll
unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
Verwenden Sie das Pumpsystem nicht in der Nähe von explosiven, giftigen,
WARNUNG
brennbaren oder radioaktiven Gasen.
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Abbildung 16 Blockierte Räder
Agilent TPS-mobile User Manual
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