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Betriebsanleitung
Vergewissern Sie sich, dass um das System herum ein freier Raum von
VORSICHT
mindestens 20 cm bleibt, damit die Luft frei zirkulieren kann.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information".
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert.
Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse
auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die
Temperatur am Eingangsflansch bei einem ConFlat-Flansch nicht über 120°C und
bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C steigen.
Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
WARNUNG
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht
mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße
WARNUNG
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder
WARNUNG
ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager könnten
beschädigt werden und Personen oder Gegenständen Schaden zugefügt
werden.
Agilent TPS-mobile User Manual
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