Tabla de contenido
Vista frontal (T-Station con la bomba previa E2M1.5 opcional)
Vista posterior (T-Station con la bomba previa XDD1 opcional)
1. Mando del lastre de gas E2M1.5
2. Filtro de vapores de aceite de la bomba
previa (accesorio opcional no suministrado)
3. Entrada de la bomba turbomolecular
4. Bomba previa
5. Válvula de ventilación TAV
(accesorio opcional no suministrado)
6. Conector de la bomba turbomolecular
7. Entrada del manómetro de vacío
© Edwards Limited 2011. Todos los derechos reservados.
Edwards y el logotipo de Edwards son marcas comerciales de Edwards Limited.
Figura 1 – Componentes de la T-Station
8. Unidad de control de la T-Station
9. Entrada de alimentación eléctrica
10. Conector de alimentación eléctrica de
11. Asas de elevación de la T-Station
12. Puntos de fijación de la T-Station para
(con fusible, consulte la
Sección
la bomba previa
montaje sobre banco de trabajo
(consulte la
Sección
3.4)
D395-93-888 Issue A
2.3)
Página 3
Tabla de contenido
