Tabla de contenido
D395-93-888 Issue A
Parámetro
Velocidad de bombeo de entrada:
N2
He
H2
Ratio de compresión de entrada:
N2
He
H2
Presión final:
con bomba previa rotativa de paletas
con bomba previa de diafragma
*
Presión final 48 horas después del horneado con bomba previa rotatoria de paletas bifásicas.
†
Presión final 48 horas después del horneado con presión previa < 5 mbar (500 Pa).
2.6
Materiales expuestos a los gases bombeados
Los siguientes tipos de materiales y componentes están expuestos a los gases bombeados:
Aleaciones de aluminio, aceros inoxidables, juntas tóricas de fluoroelastómero y nitrilo, lubricantes a base de
hidrocarburos, fieltro, imanes de materiales extraños, nitruro de silicio, resina fenólica, resina epoxi reforzada
con fibra de carbono, polipropileno retardante de llama, poliamida y PVC.
2.7
Especificaciones de los gases de ventilación y datos de control
de la ventilación
Aunque se pueden expulsar los gases de la bomba a la atmósfera, una humedad relativa del aire elevada puede
aumentar en gran medida el tiempo de bombeo necesario. Para reducir los tiempos de bombeo, debería realizar la
ventilación con gases secos y limpios. Consulte el manual de la bomba turbo DX (B722-40-888) para la conexión de la
válvula de ventilación y consulte la
ventilación disponibles para la T-Station y cómo configurarlas.
Tabla 5 – Especificaciones de los gases de ventilación y control de ventilación
Especificaciones y control de los gases de ventilación
Gas de ventilación
Punto de condensación máximo con presión atmosférica –22 °C
Tamaño máximo de las partículas
Concentración máxima de aceite
Tiempo recomendado para que la velocidad de rotación
alcance el 50 %
Tasa máxima permitida de aumento de la presión
Página 10
Tabla 4 – Datos técnicos de la T-Station
*
< 5 × 10
†
< 5 × 10
Sección 4.3.3
de este manual para obtener una descripción de las opciones de
Edwards y el logotipo de Edwards son marcas comerciales de Edwards Limited.
EXT75DX
EXT75DX
ISO63
63CF
–1
61 l/s
61 l/s
–1
57 l/s
57 l/s
–1
53 l/s
53 l/s
11
> 1 × 10
> 1 × 10
6
1 × 10
1 × 10
4
5 × 10
5 × 10
–9
mbar
< 5 × 10
–8
mbar
< 5 × 10
Datos de referencia
Aire seco, nitrógeno, argón y otros gases inertes
1 μm
0,1 partes por millón
> 15 segundos
Consulte la
Figura 5
© Edwards Limited 2011. Todos los derechos reservados.
EXT75DX
NW40
–1
–1
42 l/s
–1
–1
49 l/s
–1
–1
48 l/s
11
11
> 1 × 10
6
6
1 × 10
4
4
5 × 10
–10
–9
mbar
< 5 × 10
mbar
–9
–8
mbar
< 5 × 10
mbar
Tabla de contenido
