Localización de averías
La T-Station 85 no ha podido arrancar
Causa
Se ha fundido el fusible del suministro eléctrico.
Solución
Sustituya el fusible. Consulte
Causa
La tensión de funcionamiento es incorrecta.
Solución
Compruebe si la tensión de suministro coincide con los requisitos de tensión de la T-Station
85. Consulte la etiqueta de especificaciones eléctricas ubicada en la parte posterior de la T-
Station 85.
No es posible alcanzar la presión máxima
Causa
La presión está limitada por el vapor de agua.
Solución
Hornee la cámara o ponga en marcha el sistema hasta que mejore el nivel de vacío.
Causa
Los vacuómetros están contaminados.
Solución
Limpie o sustituya los vacuómetros.
Causa
La velocidad de bombeo es insuficiente debido a una mala conductancia entre la bomba
y el manómetro o a una cámara demasiado grande.
Solución
Aumente la conductancia o reduzca el volumen.
Causa
La presión de salida es de >10 mbar (1 × 10
Solución
Es posible que la presión de salida sea demasiado alta. Revise la tubería de salida en busca
de fugas. Si el rendimiento es alto, puede que se necesite una bomba previa mayor.
Causa
La zona de alto vacío del sistema está contaminada.
Solución
Limpie el sistema de alto vacío.
Causa
Revise el resto del sistema en busca de fugas y contaminación.
Solución
Si detecta algo, repare las fugas y limpie la contaminación.
Causa
La presión de entrada es baja.
Solución
Si la presión de entrada es baja, compruebe si hay contaminación en la bomba turbo y
consulte la sección de localización de averías del manual de la bomba turbo.
Realice una prueba de hermeticidad de la bomba. Si el índice de fuga es >1 × 10
-5
(1 × 10
La bomba previa es ruidosa
Causa
Incluido en la sección de localización de averías del manual de la bomba previa.
Solución
Consulte la sección de localización de averías del manual de la bomba previa. Consulte
Descripción general
La bomba previa tiene fugas de aceite
D395-94-888A - Localización de averías
Tabla 19
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Pa l s
), póngase en contacto con el proveedor o con Edwards.
en la página 10.
en la página 44.
3
Pa).
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