Tabla de contenido
1
Introducción
1.1
Ámbito y definiciones
Este manual proporciona instrucciones de instalación, funcionamiento, mantenimiento y almacenamiento de las
bombas turbomoleculares de compuestos DX de Edwards. Utilice las bombas tal y como se especifica en este manual,
que se deberá leer antes de proceder a su instalación y puesta en funcionamiento.
La información importante de seguridad aparece destacada a modo de ADVERTENCIAS y PRECAUCIONES. Es necesario
que respete dichas instrucciones. A continuación se define el uso de las ADVERTENCIAS y las PRECAUCIONES.
Las advertencias aparecen si, al hacer caso omiso de las instrucciones, existiera la posibilidad de
que se produzcan daños personales o, incluso, la muerte.
Las precauciones aparecen si, al hacer caso omiso de las instrucciones, existiera la posibilidad de que se
produzcan daños en el equipo, el equipo asociado y el proceso.
Las unidades utilizadas a lo largo de este manual cumplen con el sistema internacional SI de unidades de medición.
Cuando se indican las velocidades de flujo, la unidad «sccm» sirve para designar los centímetros cúbicos por minuto
en condiciones estándar. Se trata de un flujo de 1 cm
5
de 1013 mbar (1,013 × 10
En la bomba figuran las etiquetas de advertencia siguientes:
Advertencia: consulte la documentación suministrada.
Advertencia: riesgo de descarga eléctrica.
Advertencia: superficies calientes.
Borne conductor de protección.
Si bien las unidades utilizadas en el manual cumplen con el sistema internacional SI de unidades de medición, cuando
resulta pertinente, también aparecen los equivalentes de dichas unidades en los Estados Unidos.
© Edwards Limited 2015. Todos los derechos reservados.
Edwards y el logotipo de Edwards son marcas comerciales de Edwards Limited.
ADVERTENCIA
PRECAUCIÓN
Pa).
3
–1
/min
a una temperatura ambiental de 0 °C y una presión
B722-40-888 Issue G
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