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Indicio
El indicador led normal verde no se
enciende; la bomba no gira a la
velocidad máxima; la bomba se
avería mientras estaba en
funcionamiento
No es posible alcanzar la presión
máxima
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Tabla 23 – Localización de averías (continuación)
Verificación
¿La presión de entrada es demasiado
elevada?
¿La temperatura de funcionamiento
de la bomba es demasiado elevada?
¿El rotor gira libremente?
¿La presión está limitada por el vapor
de agua?
¿Alguno de los manómetros de vacío
está contaminado?
¿La velocidad de bombeo es
insuficiente (debido a una mala
conductancia entre la bomba y el
manómetro o a una cámara
demasiado grande)?
¿La presión de entrada interfásica
es de >0,5 mbar (50 Pa)?
¿La presión de salida es de
3
>10 mbar (1×10
Pa)?
¿La zona de alto vacío del sistema
está contaminada?
Revise el resto del sistema en busca
de fugas y contaminación.
B722-40-888 Issue G
Acción
En ese caso, reduzca la carga de
bombeo o busque una fuga
importante en el sistema.
Aumente la refrigeración de la
bomba. Cambie de la refrigeración
por aire a la refrigeración por agua
(consulte la
Sección 2
para conocer
la presión de entrada máxima y los
requisitos de refrigeración).
Aumente el suministro de agua de
refrigeración o disminuya la
temperatura del agua, o ambas.
Compruebe que las fuentes de calor
externas (por ejemplo, los
calefactores de desgaseado por
calefacción del sistema) no sean
excesivas.
En caso contrario, es posible que los
cojinetes de la bomba estén
dañados. Póngase en contacto con su
proveedor o con Edwards.
Desgasee por calentamiento el
sistema y la bomba.
En ese caso, límpielo o sustitúyalo.
Aumente la conductancia o reduzca
el volumen.
Si la presión de entrada interfásica
es demasiado alta, la presión de
entrada en la entrada
turbomolecular también aumenta;
asegúrese de que la presión de
entrada interfásica sea de <0,5 mbar
(50 Pa).
En ese caso, es posible que la presión
de salida sea demasiado alta. Revise
la tubería de salida en busca de
fugas. Si el rendimiento es alto,
puede que se necesite una bomba
previa mayor.
En ese caso, limpie el sistema de
alto vacío.
Si detecta algo, repare las fugas y
limpie la contaminación.
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