Inficon LDS3000 Traduccion Del Manual De Instrucciones Originale página 34

5 | Montaje LDS3000
5.4 Establecer las conexiones de los componentes
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• El objeto de ensayo tiene que funcionar con ZERO desconectado hasta que la
base sea estable. Solo después se permite activar la función ZERO.
Conexión
ULTRA KnL:
p :
max
p brevemente (< 3 s):
max
S:
FINE KnL:
p :
max
p brevemente (< 3 s):
max
S:
GROSS KnL:
p :
max
S:
La superación de la presión de entrada admisible en permanencia genera el mensaje
de advertencia "Sobrecalentamiento TMP".
INDICACIÓN
Daños materiales por golpes de presión
Los golpes de presión que superan la presión admisible máxima causan daños en el
módulo de espectrómetro de masas.
- No se permite superar la presión de admisión máxima.
1 Defina el modo de servicio de la conexión de vacío y el número de
revoluciones de la bomba turbomolecular según las condiciones físicas de
vacío de la instalación de comprobación.
2 Conecte el módulo de espectrómetro de masas a través de las conexiones
"ULTRA", "FINE" o "GROSS" al sistema de vacío de la instalación de
comprobación.
3 Para el ajuste de la velocidad de la bomba turbomolecular, véase también
"Ajuste el número de revoluciones de la bomba turbomolecular [} 72]".
1 Conecte el sensor de presión PSG500 a una de las conexiones GROSS/
FOREPUMP.
Número de revoluciones bomba
turbomolecular
1000 Hz
5 × 10
0,2 mbar
0,2 mbar
5 l/s
1 × 10
0,9 mbar
0,9 mbar
1,8 l/s
1 × 10
18 mbar
en función de la bomba de vacío previo
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
1500 Hz
-12 -11
mbar l/s 1 × 10
0,2 mbar
0,4 mbar
6 l/s
-11 -11
mbar l/s 5 × 10
0,4 mbar
0,7 mbar
2,5 l/s
-9 -8
mbar l/s 2 × 10 mbar l/s
15 mbar
INFICON
mbar l/s
mbar l/s