Inficon LDS3000 Traduccion Del Manual De Instrucciones Originale página 164

12 | Mantenimiento
12.4 LDS3000 AQ – componentes relevantes para el
164 / 174
mantenimiento
1
2
3
4
5
Fig. 29: Regulador para AQ
Denominación
1 Anillo de centrado ISO-KF sin filtro.
Emplear solo con conexión según variante 2
(con unidad de filtro 0,45 µm Pall, pos. n.° 5).
Véase «Variante 2 [} 42]».
2 Anillo de centrado ISO-KF con filtro.
Emplear solo con conexión según variante 1
(sin instalación de la unidad de filtro 0,45 µm
Pall, pos. n.° 5). Véase «Variante 1 [} 39]».
3 Elemento regulador LDS AQ pieza de repuesto
4 Brida de regulación LDS AQ completa
5 Unidad de filtro 0,45 µm Pall.
Emplear solo con conexión según variante 2.
Véase «Variante 2 [} 42]».
6 Válvula LDS AQ.
Emplear solo con conexión de una segunda
cámara para conmutar.
7 Filtro de repuesto para válvula LDS AQ (pos. n.°
6)
8 Brida de regulación GROSS - 1,02 mm.
Para emplear con ambas variantes. Véase
«Variante 1 [} 39]» y «Variante 2 [} 42]».
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
INFICON
Cantidad Número de
pedido
1 211-059
1 211-090
1 200009029
1 200009030
4 200009847
1 200008464
10 200009701
1 200008532
6
7
8