Manuales relacionados para Inficon LDS2010
Resumen de contenidos para Inficon LDS2010
- Página 1 M A N U A L T É C N I C O jina52s1-a (0706) Nº de ref. 560-100 560-101 Versión de software V 2.0 o superior LDS2010 Detector de fugas modular...
- Página 2 Introducción Notas acerca de la utilización de este manual 1.1.1 Símbolos de seguridad y su significado Apertura del aparato Centros de servicio Seguridad Uso reglamentario Personal Responsabilidad y garantía Normas de seguridad generales y legislación aplicable Datos técnicos Datos generales Datos ambientales Conexión a red Datos físicos...
- Página 3 Entradas y salidas digitales 5-19 5.6.2 Entradas digitales 5-21 5.6.3 Salidas digitales 5-23 5.6.3.1 LDS2010: salidas PLC / de relé; funciones elegibles 5-23 5.6.4 Configurar las salidas digitales 5-24 Salida de señales analógicas 5-26 Señal de audio 5-32 Salida de audio 5-33 5.10...
- Página 5 Introducción El detector de fugas LDS2010 de helio se suministra listo para el servicio. No obstante le recomendamos que lea atentamente este manual para poder garantizar un trabajo óptimo desde el primer momento. Este manual contiene información importante acerca de las funciones, la instalación, la puesta en servicio y la operación del LDS2010.
- Página 6 Encontrará la Declaración de contaminación en el Capítulo 7. Repuestos Para las reparaciones sólo deben utilizarse repuestos originales. Centros de servicio Si necesita ayuda póngase por favor en contacto con el Servicio Técnico INFICON de su país o con la Service-Hotline en Colonia, Alemania: (Estado: Feb. 2007) País Empresa Población...
- Página 7 Mark Technologies Israel Kiriat Ono +972.3.534.6822 +972.3.534.2589 [email protected] Ltd. Castelnuov Italia INFICON GmbH +39 045 6 40 25 56 +39 045 6 40 24 21 [email protected] Japón INFICON Co. Ltd. Yokohama +81.454.71.3328 +81.454.71.3327 [email protected] Vacuum Products Canadá Ontario +905.672.7704 +905.672.2249...
- Página 8 Q - Test Pilsen +42 037 742 2608 +42 060 420 3037 [email protected] Checa +49.221.3474.222 +49.221.3474.222 leakdetection.service Túnez INFICON GmbH Colonia @inficon.com Hungría Kontrade Budaörs +36 06 23 50 38 80 +36 06 23 50 38 96 [email protected] East Syracuse, +1.315.434.1167...
- Página 9 Uso reglamentario El detector de fugas LDS2010 sirve para medir y ubicar las fugas por muy pequeño que sea su tamaño. El LDS2010 es un detector de fugas modular previsto para su integración en instalaciones industriales de comprobación de estanqueidad.
- Página 10 El personal de servicio técnico está autorizado a manejar el LDS2010 en funcionamiento normal así como a realizar trabajos de mantenimiento y reparación. El servicio técnico del LDS2010 sólo debe ser llevado a cabo por personal especializado de INFICON o por empleados de la empresa gestora de la instalación con una formación equiparable.
- Página 11 Tales normas pueden referirse p.ej. la manipulación de sustancias peligrosas o la puesta a disposición y el uso de equipos de protección individuales, etc. Sospecha de peligro Cuando se sospecha que el aparato ya no puede funcionar sin suponer un riesgo, debe ponerse fuera de servicio e impedirse que pueda ser conectado accidentalmente.
- Página 12 Seguridad...
- Página 13 Datos técnicos Datos generales Dimensiones módulo electrónico 483 x 133 x 375 (19“x5,2“x14,9“) (An x Al x Pr) en mm (entre paréntesis en pulgadas) Peso Módulo electrónico 10 kg (22 lbs) Espectrómetro de masa 12kg (27 lbs) Modos de servicio Vacío / Muestreo GROSS, ULTRA Vacío...
- Página 14 Tensión de la red 100-240V Frecuencia de la red 50/60Hz Consumo máximo 160 VA Índice de Unidad de manejo IP 54 protección: Índice de Módulo electrónico IP 30 protección: Cable de conexión a red 2,5 m Categoría de sobretensión Datos físicos Presión de admisión máxima Modo de servicio GROSS 20 mbar (15 Torr)
- Página 15 3.4.2 Método de muestreo Gases detectables He, H Tasa de fuga detectable mínima: Helio <1E-7 mbar l/s Tasa de fuga detectable mínima: Hidrógeno 2E-7 mbar l/s Rango 1E-7…0,1 mbar l/s medición Tiempo de reacción (al 63% de la señal, con 3m de línea de <1 s muestreo) Unidad de medida indicada...
- Página 16 Rapidez de respuesta Tasa de exploración de la señal del preamplificador 20 ms Actualización de la pantalla en la unidad de manejo 60 ms Comprobación del valor de disparo (umbral) 60 ms Actualización de la señal de audio 20 ms Actualización de la salida analógica 120 ms (Valor medio de 8 valores de medición)
- Página 17 Equivale al Nº de ref. 560-100 (véase arriba), pero premontada para una distancia de 10 m entre el módulo electrónico y el espectrómetro de masa (este LDS2010 lleva una placa de circuitos modificada y un cable de conexión de 10 m) Puesta en servicio...
- Página 18 Se puede utilizar para la detección de fugas tanto en el modo de vacío como en muestreo. El LDS2010 es capaz de detectar y cuantificar el gas de prueba helio que fluye debido a una diferencia de presión causada por fugas utilizando una espectrómetro de masas selectivo.
- Página 19 4.3.1.1 Interruptor de llave El interruptor de llave da acceso a determinadas páginas del menú en función de la posición de la llave (véase capítulo 5.3.1). 4.3.2 Unidad de manejo e indicación La unidad de manejo permite la comunicación entre usuario y aparato. Recibe comandos a través de las teclas y emite resultados de medición, mensajes e indicaciones de estado a través de elementos de visualización.
- Página 20 Advertencia Durante el funcionamiento está prohibido enchufar y desenchufar el conector de la unidad de manejo. De lo contrario no se puede excluir el riesgo de que se produzca un cortocircuito en el sistema que puede destruir el aparato. Fig. 4-2 Medidas de montaje para la unidad de manejo Puesta en servicio...
- Página 21 4.3.3 Módulo del espectrómetro de masas El módulo del espectrómetro de masas está suspendido en un bastidor de chapa amortiguado. La fijación in situ debe realizarse con tornillos M6 en los amortiguadores premontados. Véase Fig. 4-3/14. Fig. 4-3 Pos. Descripción Conexión modo de servicio ULTRA Conexión modo de servicio FINE En el modo de muestreo esta conexión sirve para conectar la línea de...
- Página 22 Véase capítulo 5.3.3. Instalación Advertencia El LDS2010 debe utilizarse y almacenarse en un entorno seco. Advertencia El LDS2010 no debe exponerse a álcalis, ácidos y disolventes, ni a condiciones climáticas extremas. Advertencia Procure una suficiente ventilación del aparato. Puesta en servicio...
- Página 23 Conexión eléctrica 4.5.1 Conexión entre espectrómetro y módulo electrónico El módulo del espectrómetro se une al módulo electrónico por medio del cable de conexión. Véase Fig. 4-4. Fig. 4-4 Las designaciones en los conectores del cable y en la correspondiente hembrilla en el módulo del espectrómetro son idénticas e inequívocas.
- Página 24 Pos. Descripción Pos. Descripción Preamplifier; preamplificador fuga calibrada interna opcional Conexión de audio Válvula de muestreo opcional Multifunction; E/S digitales Preamplificador Conductor protector Manómetro PPT100 Sniffer; línea de muestreo; Conductor protector Módulo electrónico (atención: Preamplificador ¡Tener en cuenta el punto rojo!) 15 Turbobomba molecular Fuente iónica/TMP Turbobomba molecular...
- Página 25 Conexión de vacío 4.6.1 Descripción del funcionamiento El LDS2010 sólo funciona en condiciones de alto vacío, es decir, la presión existente debe ser siempre inferior a 10 mbar. Este vacío es generado por la turbobomba molecular (Fig. 4-3/10) con la ayuda de la bomba con rotor de aletas del módulo de bombeo o el grupo de bombas de vacío de la instalación.
- Página 26 Presión final total: ≤6·10 • mbar. No obstante, las especificaciones del LDS2010 sólo pueden garantizarse con el módulo de bombeo de dos etapas recomendado en la lista de repuestos. Para evitar daños en el sistema de detección es imprescindible proteger el espectrómetro de masas de picos de presión que superen la máxima presión de...
- Página 27 4.6.2.1 Conexión ULTRA La configuración ULTRA es el modo de servicio más sensible del LDS2010 y tiene al mismo tiempo la mayor capacidad de aspiración de 5 l/s. Para poder trabajar en el modo Ultra, la presión en la entrada ULTRA no debe ser > 0,4 mbar.
- Página 28 4.6.2.2 Configuración del modo FINE En la configuración FINE el LDS2010 trabaja en relación al modo ULTRA con una sensibilidad mínimamente reducida y soporta una presión de admisión máxima algo mayor de 1 mbar. En este modo la capacidad de aspiración del detector de fugas es de 1,7 l/s.
- Página 29 En el modo GROSS el LDS2010 trabaja con un tiempo de respuesta notablemente más lento. La conexión de la fuga calibrada interna opcional y la entrada de gas se efectúa con una pieza en cruz DN 16 KF no incluida en el alcance del suministro: Fig.
- Página 30 4.6.2.4 Configuración para muestreo La entrada FINE del LDS2010 sirve para conectar una línea de muestreo opcional en el modo de muestreo. La válvula de muestreo opcional permite utilizar el detector de fugas también en modo de vacío con la línea de muestreo conectada.
- Página 31 13 ó 15 el valor de la fuga calibrada. 4.6.3 Ajuste del modo de servicio El LDS2010 puede utilizarse para el control de estanqueidad con el método de vacío y con el método de muestreo. 4-15...
- Página 32 El modo de funcionamiento de vacío (a continuación VAC) o de muestreo (a continuación SNIFF) puede fijarse en el menú 10 (véase capítulo 5.3.3) de la siguiente manera: VAC: • Se está trabajando en modo de vacío. SNIFF: • Se está trabajando en modo de muestreo. Input: •...
- Página 33 Operación Conexión Antes de la primera puesta en servicio es necesario que estén establecidas las conexiones eléctricas, mecánicas y de vacío necesarias (véase capítulo 4). Advertencia El conductor protector entre el espectrómetro de masa y el módulo electrónico debe conectarse en ambos extremos antes de enchufar los demás cables de alimentación del espectrómetro.
- Página 34 5.1.1 Interruptor de alimentación Al accionar el interruptor de alimentación (fig. 1-1/13 Descripción de interfaces) se conecta y desconecta el equipo entero. Unidad de manejo e indicación 5.2.1 Display Fig. 5-1 TRG 1 - 4: Indica si el valor de disparo ajustado en cada caso (tasa de fuga) es excedido (flecha derecha) o no es alcanzado (flecha izquierda) CAL: Se ilumina durante el proceso de calibración...
- Página 35 Símbolo Aviso de advertencia ante un manejo erróneo atención FAULT: Error del LDS2010 Unidad de Unidad de la tasa de fuga seleccionada: mbar l/s, Pa m /s, Torr l/s, la tasa de atm cc/s, g/a, ppm o unidad de presión: mbar, Pa, Torr, atm.
- Página 36 En el modo de medición • Permite aumentar o reducir el volumen de la señal acústica pulsando la tecla. Parámetros del aparato Es posible adaptar el LDS2010 a las condiciones de trabajo existentes a través del menú. Las páginas del menú están enumeradas. Operación...
- Página 37 5.3.1 Seleccionar el nivel de acceso al menú con interruptor de llave El interruptor de llave permite 4 diferentes posiciones de llave. En función de la posición de la llave se permite el acceso a un determinado nivel del menú. Posición 0 No permite cambiar parámetros en ninguna página del menú.
- Página 38 Fig. 5-3 Este diagrama Fig. 5-3 representa el proceso del punto 44 del menú de forma gráfica. Está estructurado principalmente en los siguientes niveles: menú 44 (= nivel inicial), introducción de contraseña, modificación de contraseña/nivel de acceso y guardar. El proceso representado en el diagrama Fig.
- Página 39 44 sin guardarlos. 5.3.3 Ajustar los parámetros del aparato Es posible adaptar el LDS2010 a las condiciones de trabajo y entorno existentes a través del menú. Las páginas del menú están enumeradas. Ajuste de los parámetros del aparato Al pulsar la telca PARA se activa el modo de parámetros.
- Página 40 RS232 ni RS485. RS232/RS485: En este modo las entradas digitales no tienen función, a excepción de SNIFF / VAC. El LDS2010 es controlado a través de la interfaz RS232/RS485. Los parámetros pueden consultarse en la unidad de manejo, pero no es posible modificarlos.
- Página 41 Menú Preajuste Observación Corrección de la On: El factor máquina afecta también al modo Stand-by. tasa de fuga en Off: El factor máquina afecta sólo al modo de medición. Stand-by ZERO al iniciar Aparece únicamente en el modo LDS1000 On: Zero se activa automáticamente cada vez que se active el modo de medición Modo de servicio Input...
- Página 42 Tasa de fuga a la cual se cambia a otra constante de tiempo. El Constante de LDS2010 tiene dos diferentes niveles de "filtración de la señal" tiempo que influyen en el tiempo de reacción. El filtro con la constante de tiempo pequeña (reacción más rápida) se aplica cuando la señal...
- Página 43 Menú Preajuste Observación Modo CAL 1: Calibrado externo: normal. En este caso la entrada digital Dyn CAL / Normal CAL conmuta a través del contacto PIN 1 del conector E/S la válvula de gas traza de la bomba previa. 2: Calibrado externo: dinámico. En este caso la entrada digital Dyn CAL / Normal CAL conmuta a través del contacto PIN 1 del conector E/S la válvula de gas traza de la bomba previa.
- Página 44 5- Temperatura preamplificador Indicación de la Indica la versión del software utilizado. versión de Este menú además ofrece reponer el LDS2010 a sus ajustes de software fábrica. Para ello es preciso pulsar la tecla " ". Después debe confirmarse el "Reset" que aparece en el display pulsando simultáneamente las teclas"...
- Página 45 Calibrado El LDS2010 puede calibrarse en cualquiera de sus modos de servicio. Se distingue entre calibración interna y externa. En cada calibrado (excepto en el calibrado dinámico) el espectrómetro de masa es ajustado a su máxima sensibilidad (Autotune). El calibrado interno puede realizarse con la ayuda de la fuga calibrada opcional instalada.
- Página 46 Fig. 5-4 5-14 Operación...
- Página 47 5.4.2 Calibrado externo Si la opción "prueba de fuga int." no existe, es preciso calibrar el LDS2010 mediante una fuga calibrada externa. 5.4.2.1 Calilbrado externo para modo de vacío y de muestreo Se tienen en cuenta las condiciones de medición específicas de la instalación.
- Página 48 Fig. 5-5 5.4.2.2 Calibrado externo dinámico Es posible realizar un calibrado dinámico con el fin de tener en consideración las condiciones de tiempo y presión específicas de una instalación. En este modo de calibración no se ejecuta la función Autotune. Véase Fig.
- Página 49 Si está instalada la "fuga calibrada interna" opcional, (véase el capítulo 4.6.2) es necesario determinar el factor máquina del conjunto del sistema LDS2010 en relación con el sistema de bombeo (proporción de corriente parcial). El factor máquina tiene en cuenta después del calibrado interno la relación entre la capacidad de aspiración efectiva del módulo de bombeo y de las bombas de la...
- Página 50 Si la opción "fuga calibrada interna" está instalada (véase el capítulo 4.6.2), es preciso determinar el factor de muestreo del conjunto del LDS2010. Después del calibrado interno el factor de muestreo tiene en cuenta el valor de medición real de la punta de muestreo.
- Página 51 Zero Con el fin de acelerar la detección de fuga el LDS2010 cuenta con una función ZERO. Esta función le permite suprimir fondos de helio no deseados. La función ZERO puede iniciarse a través de la interfaz serial o a través de las entradas digitales.
- Página 52 11 10 9 Fig. 5-8 Pos. Descripción Pos. Descripción Remote control; conexión Ext. Valves; sin función Unidad de manejo Analog out; salida registrador Preamp; conexión preamplificador 10 Digital out; salida de relé Sniffer; conexión línea de muestreo 11 Multi Function; conexión Terminator;...
- Página 53 5.6.2 Entradas digitales Activo significa: U > 13-35V , tipo 24V, I = aprox. 7 mA Inactivo significa: U < 7V , tipo 0V, I = 0 mA Se pueden iniciar las siguientes funciones a través de E/S digitales: Dyn Cal/Normal Controla el modo de calibrado externo o la válvula de gas traza El ajuste en el menú...
- Página 54 Fig. 5-9 Control de las entradas y salidas digitales: (conector Multi Function) como sigue: Conector de E/S digitales, Multi Function (16 contactos) Advertencia Tensión de entrada máxima admisible 35V. Pin 1 Entrada digital Dyn CAL/Normal CAL o gas traza: En función del ajuste en el menú...
- Página 55 5.6.3 Salidas digitales 5.6.3.1 LDS2010: salidas PLC y de relé El LDS2010 dispone en el estado suministrado de salidas de relé configuradas del siguiente modo: Pin nº Tipo de contacto Función por defecto 1 , 2 de reposo Valor disparo 1...
- Página 56 Emisión desactivada, proceso de calibrado abierto activo o error Ready invertido Como Ready, pero abierto / cerrado Error abierto Error (no en caso de aviso) cerrado sin error Error invertido Como Error, pero cerrado / abierto En caso de calibrado externo: Solicitud para cerrar la fuga de calibración.
- Página 57 Salida digitaal (salida de relé), conector: Digital-Out (16 terminales) Véase también la fig. 1-1/10. Las diferentes funciones de las salidas digitales pueden asignarse de forma variable a los contactos (pins). El submenú 22.1 permite asignar a cada contacto una función. La salida digital se puede configurar del siguiente modo: •...
- Página 58 Salida de señales analógicas Peligro S TOP Ninguno de los contactos de E/S digitales, DigitalOut, registrador y de las interfaces debe conectarse bajo ningún concepto a tensiones superiores a 60V DC / 25V AC (tierra/conductor protector) ni alcanzar este límite. Para documentar la tasa de fuga y la presión de prevacío se puede utilizar la salida del registrador.
- Página 59 Fig. 5-12 Ajuste 2, menú 22: Tasa de fuga y presión de prevacío PV: logarítmico en la unidad seleccionada (menús: 29, 30, 31). Pin 1 Tasa de fuga, logarítmica U = 1 a 10V; 0,5V / década. Inicio con: 1V = 10 mbarl/s, atmcc/s, Pam /s, Torrl/s, g/a*, ppm* (*sólo en modo Sniff)
- Página 60 Fig. 5-14 Ajuste 3, menú 22: Tasa de fuga: lineal en mbarl/s o atmcc/s Mantisa y exponente de la tasa de fuga. Pin 1 Tasa de fuga, mantisa lineal U = 1 a 10 V Pin 2 GND, masa de referencia Pin 3 GND, masa de referencia Pin 4...
- Página 61 Pin 1 Tasa de fuga, logarítmica U = 0 a 10V; 1V / década. Inicio con: 0V = 10 mbarl/s, atmcc/s Véase Fig. 5-16 Pin 2 GND, masa de referencia Pin 3 GND, masa de referencia Pin 4 Presión de prevacío PV, logarítmica en mbar U = 2,5 a 8,5V.
- Página 62 Pin 1 Tasa de fuga, mantisa lineal U = 0,7 a 10 V Pin 2 GND, masa de referencia Pin 3 GND, masa de referencia Pin 4 Exponente de la tasa de fuga (función escalonada) U = 1 a 10 V; 0,5 V / década. Inicio con 1 1V = 10 mbarl/s, atmcc/s, /s, Torrl/s, g/a*, ppm* (*sólo en modo Sniff) Fig.
- Página 63 Fig. 5-19 Fig. 5-20 Ajuste 20-30, menú 22: Tasa de fuga lineal en mbarl/s o atmcc/s, exponente seleccionable. Tasa de fuga logarítmica en mbarl/s o atmcc/s 1V/década. r = 0...10 (ajuste 20) Pin 1 Tasa de fuga, lineal, exponente (-r) seleccionable U = 0 a 10V;...
- Página 64 Fig. 5-21 Fig. 5-22 Señal de audio En los siguientes casos se emite una señal a través de la salida de audio: • Al producirse un mensaje de error (alarma de dos tonos) • Al alcanzar la disponibilidad para la medición (pitido) •...
- Página 65 Auriculares: Se pueden conectar unos auriculares estéreo convencionales de > 32Ω . Altavoces: Se pueden conectar altavoces activos (con amplificador integrado). 5.10 Desconexión El LDS2010 puede desconectarse mediante el interruptor de alimentación o un interruptor principal en el cuadro de distribución. 5.11 Mensajes de error 5.11.1 Problemas de hardware...
- Página 66 E124 Amp T>60 °C Temperatura excesiva del preamplificador T > 60 °C. Temperatura ambiente excesiva. E125: MSV U24 < 18.3V Señal MVPZN en tarjeta MSV activada; Tensión de 24V insuficiente U < 18,3V ¡¡¡ Desconectar el LDS2010 !!! 5-34 Operación...
- Página 67 E126 MSV Anod-Cat-U >130V Tensión de ánodo-cátodo excesivo, U > 130V. MSV defectuoso. E127: MSV Anod-Cat-U < 30V Tensión de ánodo-cátodo insuficiente. U < 30V. MSV defectuoso. E128: MSV Sup-Nom U>> Señal MFSZH en tarjeta MSV activada; Variable de control señal de supresor excesiva. Tensión del supresor cortocircuitada.
- Página 68 Señal MSIBE en tarjeta MSV sin activar Fusible F4 en tarjeta MSV defectuoso / cátodo 1 defectuoso. El LDS2010 cambia a cátodo 2, si está activado el cambio automático, de lo contrario cambiar manualmente en el menú 32. Encargar una nueva fuente de iones.
- Página 69 - La tasa de la fuga calibrada introducida es excesivamente grande o excesivamente pequeña. E155: Parameter Lost Por lo menos un parámetro es erróneo. El LDS2010 aplica el valor por defecto del parámetro. - Comprobar los valores límites y calibrar el aparato. E156: TMP Sobretemperatura - r.p.m. insuficiente.
- Página 70 E157: Cápsula manométrica PPT 100 - Transmisor defectuoso. E158: Cápsula manométrica PPT 100 - Memoria defectuosa 5-38 Operación...
- Página 71 Los correspondientes intervalos de mantenimiento figuran en el plan de mantenimiento (6.4). Indicaciones generales Los trabajos de mantenimiento de nivel II y III en el LDS2010 sólo deben ser realizados por personas autorizadas para ello por INFICON GmbH, Colonia. •...
- Página 72 D4 B son recomendaciones y pueden variar en función del uso del detector de fugas LDS2010. Para el uso de la bomba con el detector de fugas LDS2010 está especificado el aceite estándar N 62 (Nº...
- Página 73 Kapitel 6.fm (0706) MANUAL TÉCNICO Plan de mantenimiento Grupo constructivo Trabajos de mantenimiento Horas de servicio/Años Nivel Número LDS2010 2000 4000 8000 16000 24000 repuesto Unidad de vacío Bomba previa D4B Comprobar nivel aceite, en su caso cambiar I y II...
- Página 74 Trabajos de mantenimiento Atención En caso de penetración de líquido o daños en el LDS2010 y/o de las líneas de conexión se debe poner fuera de servicio el aparato y bloquearlo para que no pueda ser conectado. 6.5.1 Sustituir las esterillas filtrantes Las esterillas sirven para filtrar el polvo del aire de refrigeración.
- Página 75 • Para inundar la TMH 071 es necesario desconectar el aparato base LDS2010 de la red. Esperar a que se detenga totalmente la TMH 071 (mínimo 1 min.) y en caso necesario dejar enfriar la bomba.
- Página 76 • Poner el LDS2010 nuevamente en funcionamiento. 6.5.3 Sustituir el fusible de red Apagar el LDS2010, desenchufar el cable de red del LDS2010. Abrir la tapa del conector hembr tipo IEC-60320 desde arriba. Esto no afecta al interruptor de alimentación.
- Página 77 Es imprescindible insertar dos fusibles idénticos. Se fusibles de red: T 3,15 A (Ø 5 x 20 mm) Después del cambio de fusible cerrar bien la tapa del conector presionándola. Enchufar el cable de alimentación en el LDS2010 y conectar el aparato. 6.5.4 Limpieza El aparato debe secarse con un paño seco o húmedo y en ningún caso deben...
- Página 78 Mantenimiento...
- Página 79 Declaración de contaminación Declaration of Contamination of Vacuum Equipment and Components The repair and/or service of vacuum components will only be The manufacturer could refuse to accept any equipment carried out if a correctly completed declaration has been without a declaration. submitted.
- Página 80 Declaración de contaminación...
- Página 81 Eliminación Peligro S TOP Atención: Piezas contaminadas Las piezas contaminadas pueden causar daños a la salud y al medio ambiente. Es imprescindible informarse sobre su posible contaminación antes de iniciar el trabajo. Al manipular piezas contaminadas deben cumplirse las leyes aplicables y tomarse las medidas de protección necesarias.
- Página 82 INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Colonia, Alemania Teléfono: +49 (0)221 347-40 Fax: +49 (0)221 347-41429 E-mail: [email protected] ESTADOS UNIDOS TAIWAN JAPÓN COREA SINGAPUR ALEMANIA FRANCIA REINO UNIDO HONG KONG Vi s it e nu e s tr a p ág ina We b p ar a in fo rm ació n d e c o nt a c to y ot ro s p u nt o s d e v e nt a a ni v el mu n dia l. w w w .i n f ic o n . co m...