4.6
Conexión de vacío
4.6.1
Descripción del funcionamiento
4.6.2
Posibilidades de conexión
El LDS2010 sólo funciona en condiciones de alto vacío, es decir, la presión existente
debe ser siempre inferior a 10
molecular
(Fig.
4-3/10) con la ayuda de la bomba con rotor de aletas del módulo de
bombeo o el grupo de bombas de vacío de la instalación.
La presión pV en la conexión de prevacío de la turbobomba molecular es medida
con un manómentro de Pirani
15 mbar, ya que de lo contrario la turbobomba molecular no puede mantener el
vacío en el espectrómetro de masas. Si no se utiliza el módulo de bombeo, este
requisito debe ser cumplido por el grupo de bombas de vacío de la instalación.
El sistema de detección mide la presión parcial de helio en base a la corriente iónica
y el LDS2010 la procesa internamente para indicar la tasa de fuga.
El LDS2010 puede conectarse en varios modos de vacío con la cámara de ensayo,
la instalación a ensayar y el grupo de bombas de vacío. Además es posible adaptar
las propiedades de vacío del LDS2010 a la aplicación en cuestión, modificando el
número de revoluciones de la turbobomba (submenú 10.1). Existen las siguientes
configuraciones:
ULTRA
FINE
FINE
diafragma
-4
mbar. Este vacío es generado por la turbobomba
(Fig.
4-3/1). La presión pV no debe superar los
Número de revoluciones de la turbobomba
1000 Hz
-11
KnL:
1.7·10
mbarl/s
P
:
0.2 mbar
max
S:
4 l/s
-10
KnL:
2.0·10
mbarl/s
P
:
1 mbar
max
S:
1.7 l/s
-10
KnL:
2.0·10
mbarl/s
P
:
3
max
S
0.65 l/s
1500 Hz
-11
Sdl:
5·10
mbarl/s
P
:
0.4 mbar
max
S:
5 l/s
-9
Sdl:
1.5·10
mbarl/s
P
:
0.7 mbar
max
S:
2.4 l/s
-9
Sdl:
1.5·10
mbarl/s
P
:
2.5
max
S
0.9 l/s
4-9
Puesta en servicio
