Tabla de contenido
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ISO 100
Doppelschelle mit
Gewinde M10
Einzelschelle mit
Gewinde M8
ISO 160
Doppelschelle mit
Gewinde M10
Einzelschelle mit
Gewinde M10
ISO 200
Doppelschelle mit
Gewinde M10
Einzelschelle mit
Gewinde M10
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem
speziellen
Varian-Befestigungsmaterial
kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe
im Anhang "Technical Information".
HINWEIS
Modell TV 551/701 Navigator kann nicht mittels seines Sockels
befestigt werden.
! ! ! !
ACHTUNG!
Der
TV
551/701
Navigator
Installationsklasse
(Überdruck) die von den Normen EN
61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine
Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie
entspricht.
Der TV 551/701 Navigator hat Verbinder für den Ein-und
Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die
Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil
unter Spannung zugänglich ist . Sicherstellen, daß die
Isolierung der an den TV 551/701 Navigator angeschlossenen
Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend isoliert,
wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang
"Technical Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen
Aufheizung
der
Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
! ! ! !
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht
Verbrennungsgefahr.
! ! ! !
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Belüftungsanschluß
soll
atmosphärischen
Druck)
betragen.
aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe
ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas
(Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical
Information").
ANZ.
ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
8
11 Nm
4
22 Nm
8
22 Nm
6
22 Nm
12
22 Nm
an
die
Vakuum
gehört
zur
zweiten
Vakuumkammer
darf
unter
2
bar
(über
dem
Zum
Pumpen
von
Wenn
die
Pumpe
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die
für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und
Maßnahmen zu befolgen.
Die
Pumpe
explosionsfähigen Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TV
551/701 Navigator
Zur Einschaltung von Modell TV 551/701 ist es mit der
erforderlichen
Versorgungsspannung
eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein
von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft
Start" zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder
freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 551/701
gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen
des System an:
-
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen
Betrieb.
-
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System
befindet sich entweder im Status Rampe, Abbremsung,
Stopp oder "Waiting for Interlock".
-
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 551/701 Navigator
Zum Stoppen von Modell TV 551/701 Navigator ist die
Versorgungsspannung
Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp.
Not-Aus
Zur
Stillsetzung
Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen.
WARTUNG
Modell TV 551/701 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle
Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt
werden.
die
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die
Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian
advanced exchange service" in Anspruch genommen werden,
der ein generalüberholtes System als Ersatz für das defekte
System zur Verfügung stellt.
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den
Umtauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit
und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an
die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der
Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der
einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
! ! ! !
GEFAHR!
zur
Förderung
von
darf
niemals
bei
Vorhandensein
zu
versorgen.
abzuschalten.
Der
von
Mod.
TV
551/701
! ! ! !
GEFAHR!
HINWEIS
87-900-934-01(B)
giftigen,
leicht
von
Der
eingebaute
Navigator
in
Tabla de contenido
