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Varian TV 301 Navigator Manual De Instrucciones

Bombas turbomoleculares
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Tabla de contenido

Enlaces rápidos

Navigator
Pump models:
969-8918
969-8920
Kit models:
969-8824
969-8826
969-8828
969-8830
Controller model:
969-8972
87-900-946-01(G)
DECEMBER 2007
TV 301
969-8919
969-8921
969-8825
969-8827
969-8829
969-8831
969-8973
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Tabla de contenido
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Manuales relacionados para Varian TV 301 Navigator

Resumen de contenidos para Varian TV 301 Navigator

  • Página 1 MANUALE DI ISTRUZIONI TV 301 BEDIENUNGSHANDBUCH Navigator NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Pump models: (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING 969-8918 969-8919 (DK) INSTRUKSTIONSBOG 969-8920 969-8921 BRUKSANVISNING Kit models: INSTRUKSJON MANUAL 969-8824 969-8825 (FIN) OHJEKÄSIKIRJA 969-8826 969-8827 (GR) ODHGIES CRHSEWS 969-8828 969-8829 FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV...
  • Página 2 TV 301 Navigator...

  • Página 5: Tabla De Contenido

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE TV 301 NAVIGATOR ................69 Pump Description ......................69 Controller Description ......................70 TECHNICAL SPECIFICATION ....................70 TV 301 NAVIGATOR OUTLINE....................71 INTERCONNECTIONS........................74 P3 - Vent ..........................74 P5 –...

  • Página 6: Indicazioni Di Sicurezza

    ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.

  • Página 7: Informazioni Generali

    Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritie- Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare at- ne sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza tenzione a non lasciar cadere il TV 301 Navigator e a non sot- totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di toporlo urti vibrazioni.

  • Página 8: Arresto Di Emergenza

    − acceso fisso: la pompa è in rotazione normale; Il TV 301 Navigator non può essere fissato tramite la sua base. − lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il si- stema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Wai- ATTENZIONE! ting for interlock”;...
  • Página 9 ISTRUZIONI PER L'USO MANUTENZIONE SMALTIMENTO Il TV 301 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qual- siasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla di- ...

  • Página 10: Sicherheitshinweise

    GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.

  • Página 11: Allgemeine Informationen

    Richtlinie 85/399/EWG nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian für Umweltschutz. keinerlei Haftung. Modell TV 301 Navigator ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum- ACHTUNG! anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem...
  • Página 12 Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der ßen (siehe Schema in "Technical Information"). Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Modell TV 301 Navigator kann in jeder beliebigen Position in- Anhang "Technical Information"). stalliert werden. Modell TV 301 Navigator ist stabil zu befesti- gen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen ...
  • Página 13 Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist. zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan- d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak- ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System...

  • Página 14: Normes De Sécurité

    MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.

  • Página 15: Indications Generales

    Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par- décline par conséquent toute responsabilité en cas de non ticulièrement à ne pas laisser tomber le TV 301 Navigator et à respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration.

  • Página 16: Arrêt D'urgence

    Mise en marche et utilisation du TV 301 Navigator ISO 100 K Collier double 22 Nm Pour allumer le TV 301 Navigator il suffit de fournir la tension à filet M10 d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatique- ISO 160 K...
  • Página 17 Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de- vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.

  • Página 18: Indicaciones De Seguridad

    INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.

  • Página 19: Información General

    Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de se caiga el TV 301 Navigator y de no someterlo a golpes o las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a vibraciones.
  • Página 20 “Technical Information” para más detalles. Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas El TV 301 Navigator ha de conectarse a una bomba primaria de una puerta específica mediante la cual es necesario (véase diagrama en “Technical Information”). suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o El TV 301 Navigator puede instalarse en cualquier posición.

  • Página 21: Mantenimiento

    INSTRUCCIONES DE USO MANTENIMIENTO ELIMINACIÓN El TV 301 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. autorizado. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE".

  • Página 22: Indicações De Segurança

    INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
  • Página 23 Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é O TV 301 Navigator é um sistema integrado, constituído por completamente reciclável e em conformidade com a norma uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
  • Página 24 TV 301 Navigator esteja isolado Paragem do TV 301 Navigator correctamente mesmo em caso de avaria, conforme previsto Para parar o TV 301 Navigator é suficiente desligar a tensão de pela norma NE 61010-1. alimentação. O controller incorporado para imediatamente a Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar...

  • Página 25: Manutenção

    INSTRUÇÕES PARA O USO MANUTENÇÃO ELIMINAÇÃO O TV 301 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a ...

  • Página 26: Veiligheidsinstructies

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

  • Página 27: Algemene Informatie

    Varian acht zich niet Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 301 Navigator niet kan aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
  • Página 28 Inschakeling en gebruik van de TV 301 Navigator ISO 100 K Dubbele klem met 22 Nm Om de TV 301 Navigator in te schakelen is het voldoende om M10 schroefdraad deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent ISO 160 K...

  • Página 29: Afvalverwerking

    In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van men en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben ge- Varian of de "Varian advanced exchange service" in te controleerd. schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp.

  • Página 30: Brugsanvisning

    BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
  • Página 31 Sørg for, at TV 301 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt ved udpakningen.
  • Página 32 TV 301 Navigator kan installeres i en hvilken som helst argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”). position. Fastgør TV 301 Navigator i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 1000 Nm omkring akselen.

  • Página 33: Bortskaffelse

    BRUGSANVISNING VEDLIGEHOLDELSE BORTSKAFFELSE TV 301 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det  såkaldte EU-direktiv "WEEE". ADVARSEL! Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, Inden der foretages noget som helst indgreb på...

  • Página 34: Bruksanvisning

    BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

  • Página 35: Allmän Information

    Varian före användning av utrustningen. tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av att TV 301 Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av...
  • Página 36 TV 301 Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut där- Om du vill stänga av TV 301 Navigator behöver du bara dra ut för anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter klass.
  • Página 37 BRUKSANVISNING UNDERHÅLL BORTSKAFFNING TV 301 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-  direktivet som har betecknats som "WEEE". VARNING! Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på...

  • Página 38: Brukerveiledning

    BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
  • Página 39 Når TV 301 Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, ned eller utsettes for noen form for støt.
  • Página 40 (over atmosfærisk trykk). skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med TV 301 Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive "Teknisk informasjon").
  • Página 41 BRUKERVEILEDNING VEDLIKEHOLD ELIMINERING TV 301 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-  direktiv kalt "WEEE".

  • Página 42: Käyttöohjeet

    KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.  VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 37/90 87-900-946-01(G)

  • Página 43: Yleisiä Tietoja

    Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 301 täydellisestä...
  • Página 44 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). -liitteestä. Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta TV 301 Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja tiedot” -liitteen kaaviota). (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Tekniset TV 301 Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
  • Página 45 KÄYTTÖOHJEET HUOLTO HÄVITTÄMINEN TV 301 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-  direktiivin mukaisesti. VAARA! Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) Ennen minkään...

  • Página 46: Pdhgies Crhsews

    ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
  • Página 47 £llh prÒsqeth plhrofor∂a Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TV 301 Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ...
  • Página 48 To TV 301 Navigator mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote prostateutoÚn ◊drana q◊sh. Stereèste to TV 301 Navigator se staqerÿ q◊sh enènontaj Plhrofor∂ej") th fl£ntza eisÒdou thj tourmpoantl∂aj me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na ant◊xei se ◊na zeÚgoj 1000 Nm gÚrw apÒ...
  • Página 49 της διαδικασίας διαφοροποιηµένης συλλογής, Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj κατόπιν επαλήθευσης του συµβολαίου πώλησης. Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh anazwogonhm◊nh. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ...

  • Página 50: Biztonsági Útmutató

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
  • Página 51 A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell A TV 301 Navigatort különleges védőcsomagolásban szállítják. olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
  • Página 52 (pl. N , Ar) stabil áramlását védelmet viselő (lásd „Műszaki információ”). szivattyú számára (lásd „Műszaki információ” függelék). A TV 301 Navigator bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TV 301 Navigatort stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely ...

  • Página 53: Karbantartás

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS MEGSEMMISÍTÉS KARBANTARTÁS A TV 301 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű elvégeznie. irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. szimbólum (mely csak Európai...

  • Página 54: Instrukcja Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
  • Página 55 Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku uwagę aby nie spowodować upadku systemu TV 301 Navigator niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać...
  • Página 56 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz przepływ obojętnego gazu (Azot Argon) dla zabezpieczenia dodatek “Informacje Techniczne” łożysk (Patrz dodatek „Informacje Techniczne”). TV 301 Navigator musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “Informacje Techniczne”)  NIEBEZPIECZEŃSTWO! TV 301 Navigator może być...

  • Página 57: Przetworstwo Odpadow

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA KONSERWACJA PRZETWORSTWO ODPADOW System TV 301 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo upoważniony personel. “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia  NIEBEZPIECZEŃSTWO! “WEEE” Unii Europejskiej.

  • Página 58: Příručka K Použití

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
  • Página 59 PŘÍPRAVA K INSTALACI Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před Vývěva TV 301 Navigator se dodává ve speciálním ochranném použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž...
  • Página 60 Vývěva TV 301 Navigator se musí připojit k primárnímu "Technické informace"). čerpadlu (viz "Technické informace"). Vývěvu TV 301 Navigator lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 301 Navigator upevněte v nějaké stabilní poloze a  VÝSTRAHA! přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která...
  • Página 61 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ÚDRŽBA LIKVIDACE Vývěìva TV 301 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným  "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) VÝSTRAHA!

  • Página 62: Návod K Použitiu

    NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...

  • Página 63: Všeobecné Informácie

    VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Zariadenie TV 301 Navigator sa dodáva v špeciálnom Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť...
  • Página 64 žiadna elektrická súčasť. Ak chcete vypnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 301 Navigator má odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa vývevu okamžite zastaví.

  • Página 65: Likvidácia

    NÁVOD K POUŽITIU ÚDRŽBA LIKVIDÁCIA Zariadenie TV 301 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s personál. názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, ...

  • Página 66: Varnostna Navodila

    NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
  • Página 67 SPLOŠNE INFORMACIJE PRIPRAVA ZA MONTAŽO Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo TV 301 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren pisarno.
  • Página 68 • Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka. POZOR Po direktivi EN 61010-1 spada TV 301 Navigator v skupino za Izklop naprave TV 301 Navigator drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.

  • Página 69: Odlaganje Opadkov

    črpalke pade pod 50 °C. pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki kupopordajne pogodbe. vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.

  • Página 70: Safety Guideline

    INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.

  • Página 71: General Information

    PREPARATION FOR INSTALLATION This equipment is destined for use by professionals. The user The TV 301 Navigator is supplied in a special protective pack- should read this instruction manual and any other additional ing. If this shows signs of damage which may have occurred information supplied by Varian before operating the equipment.

  • Página 72: Emergency Stop

    Switching on and Use of TV 301 Navigator FLANGE FIXING FIXING To switch on the TV 301 Navigator it is necessary to supply the DEVICE TORQUE mains. The integrated controller automatically recognizes the ISO 100 K M10 clamps 22 Nm interlock and start signals presence and start up the pump.
  • Página 73 INSTRUCTIONS FOR USE MAINTENANCE DISPOSAL The TV 301 Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by author- Meaning of the "WEEE" logo found in labels ized personnel. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.

  • Página 74: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TV 301 NAVIGATOR The TV 301 Navigator pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in various models that differ in the high vacuum flange and the controller.

  • Página 75: Controller Description

    Varian DS 302 channels on the pump body, in the second case dry pump: Varian SH 110 an external optional fan is available. Operating position A thermistor sensor is mounted near the upper...

  • Página 76: Tv 301 Navigator Outline

    TV 301 NAVIGATOR OUTLINE NOTE The following figures show the TV 301 Navigator When the TV 301 Navigator has been stored at a tem- outlines (dimensions are in inches [mm]). perature less than 5°C, wait until the system has reached the above mentioned temperature.
  • Página 77 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure 72/90 87-900-946-01(G)
  • Página 78 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump Graph of nitrogen throughput test 73/90 87-900-946-01(G)

  • Página 79: Interconnections

    The following figure shows the TV 301 intercon- nections. This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TV 301 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use.

  • Página 80: Soft Start

    TECHNICAL INFORMATION For example: SOFT START: this input is used to provide a "soft start" to the pump; in this condition the ramp-up - reference quantity: frequency - threshold: 500 Hz time could be up to 45 min. - hysteresis: 1% - activation type: "high level"...
  • Página 81 TECHNICAL INFORMATION How to connect the open collector input of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV301 Navigator to an ex- ternal system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.

  • Página 82: J6 - Serial

    TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller INPUT POWER CONNECTION ON THE MODEL 969-8972 The following figure shows a typical logic output The following figure shows the input power con- connection (relay coil) but any other device may be nection relevant to the model n.
  • Página 83 TECHNICAL INFORMATION where: The controller can answers with the following re- sponse types: NOTE When a data is indicated between two quotes (‘...’) TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION it means that the indicated data is the correspond- After a read instruction Logic 1 byte of a logic window...

  • Página 84: Window Meanings

    TECHNICAL INFORMATION Command: STOP Window Meanings Source: PC Read/ Data Description Admitted Destination: Controller Write Type Values Start/Stop Start = 1 (in remote mode Stop = 0 the window is a STX ADDR WINDOW OFF ETX read only) Remote Remote = 1 Source: Controller (default) or Serial Serial = 0...
  • Página 85 Off = 0 are variable) (on = closed) (default = 1) CRC Parameter "XXXX" structure Reserved to Varian service Reserved to Varian service Set the vent valve Automatic = 0 RS 485 address 0 to 31 operation (see note 1.)

  • Página 86: Inlet Screen Installation

    TECHNICAL INFORMATION The screen can be removed as shown in the fol- INLET SCREEN INSTALLATION lowing figure. The inlet screens mod. 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pump- The following figure shows the overall flange di- ing speed by about 10%.

  • Página 87: Heater Band Installation

    TECHNICAL INFORMATION HEATER BAND INSTALLATION CAUTION If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should be installed to pre- vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120° C. AIR COOLING KIT INSTALLATION TV 301 with Navigator Controller An air cooling kit (mod.

  • Página 88: Water Cooling Kit Installation

    TECHNICAL INFORMATION To fix the fan to the TV 301 case execute the fol- WATER COOLING KIT INSTALLATION lowing procedure (see the following figure): Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient.

  • Página 89: Vent Accessories

    The vent valve allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and en- ables an automatic vent operation. TV 301 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic...

  • Página 90: Tv-301 Ag Rack Controller Compatible

    TECHNICAL INFORMATION To install the vent valve unscrew and remove the threaded plug (see figure below). Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, tak- ing care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in CAUTION position using the KF klamp.

  • Página 91: Vibration Isolator Installation

    − model 969-9334 for CFF 6” flange; − model 969-9335 for CFF 8” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the TV 301 Navigator to the system by a fac- tor of 20. Please refer to the relevant instruction manual.

  • Página 92: Tv 301 Controller Installation

    TECHNICAL INFORMATION TV 301 CONTROLLER INSTALLATION Side mounting The controller can be mounted in two position: NOTE − bottom mounting (as per the complete system) The L-shaped bracket (P/N 969-9970) is available as an option. − side mounting. See the following figure. To install the controller execute the following pro- 1.

  • Página 93: Connection A - High Vacuum Flange

    TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend Connection A - HIGH VACUUM FLANGE using Varian hardware. To connect the Turbo-V301 pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the cen- To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- tering ring as shown in the figure.

  • Página 94: Connection B - Fore-Vacuum Pump

    TECHNICAL INFORMATION CAUTION Connection B - FORE-VACUUM PUMP To prevent bearing damage, Varian suggests a A flange KF 16 NW is available to connect the minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 Turbo-V301 pump to the fore-vacuum pump. A mbar l/s).

  • Página 95: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    However if the effect is grater, than the case Vibration isolator, CF 8" 969-9335 should be carefully reviewed by Varian's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, Vent flange, NW 10 KF / M8 969-9108...

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