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Varian HS-16 Manual De Instrucciones

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Bombas de difusión
de alto rendimiento
Nº de pieza 699901140
Rev. C.
Enero de 2005
HS-16
HS-20
HS-32
NHS-35
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
vacuum technologies
MANUAL DE INSTRUCCIONES
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Manuales relacionados para Varian HS-16

Resumen de contenidos para Varian HS-16

  • Página 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies Bombas de difusión MANUAL DE INSTRUCCIONES de alto rendimiento HS-16 HS-20 HS-32 NHS-35 Nº de pieza 699901140 Rev.

  • Página 2: Bombas De Difusión De Alto Rendimiento

    Bombas de difusión de alto rendimiento ® Santovac 5 Fluido para bombas de difusión de SANTOVAC FLUIDS, INC. ® Viton es una marca comercial registrada de E. I du Pont de Nemours and Company. Copyright 2005 Vacuum Technologies...

  • Página 3: Tabla De Contenido

    Bombas de difusión de alto rendimiento Índice Riesgos de las bombas de difusión ....1 Explosión ....... 2 Riesgos de presurización .

  • Página 4: Lista De Imágenes

    Dimensiones de las bridas del modelo HS-16 9 Boceto del modelo HS-16 con bridas ASA....9 HS-20: dimensiones y pesos ... . 10 Boceto del modelo HS-20 con bridas ASA.

  • Página 5: Garantía

    (12) meses a partir de la fecha de envío de Varian no controla el uso de este equipo, por lo que no es dichos productos al cliente, y la responsabilidad del responsable de lesiones personales o daños que se...
  • Página 6 Bombas de difusión de alto rendimiento Si se concluye que el producto del vendedor ha sido devuelto 3/1/00 sin motivo y todavía es perfectamente operativo, se informará al cliente de ello y le será devuelto el producto, debiéndose hacer Instrucciones de uso cargo de los costes de envío.

  • Página 7: Declaración De Conformidad

    Konformitätserklärung Déclaration de Conformité Declaración de Conformidad Verklaring de Overeenstemming Dichiarazione di Conformità Nosotros Varian Vacuum Technologies Nous 121 Hartwell Avenue Nosotros Lexington, MA, 02421-3133 USA declaramos bajo nuestra exclusiva responsabilidad que el producto, erklären, in alleniniger Verantwortung, daß dieses Produkt, déclarons sous notre seule responsabilité...
  • Página 8 Bombas de difusión de alto rendimiento Esta página se dejó en blanco voluntariamente.

  • Página 9: Riesgos De Las Bombas De Difusión

    Bombas de difusión de alto rendimiento Riesgos de las bombas de difusión Los diseñadores de sistemas que cuenten con bombas de difusión deben hacerlo de modo que se eviten los riesgos siempre que sea posible. En el caso de riesgos que no puedan ser excluidos, se proporcionarán advertencias, procedimientos e instrucciones sobre el uso y el mantenimiento adecuados.

  • Página 10: Condiciones Explosivas

    Bombas de difusión de alto rendimiento Explosión Tabla 2 Condiciones explosivas ❑ Se puede provocar una explosión si se utiliza la bomba de difusión sin una evacuación continua Condición que provoca Acción prohibida explosión inferior a 0,5 Torr (0,67 mbar), o sin refrigerante, e introduciendo un oxidante potente (como el aire), o No haga funcionar la Temperatura excesiva...

  • Página 11: Riesgos De Presurización

    Bombas de difusión de alto rendimiento Sustancias peligrosas Riesgos de presurización ❑ ❑ Las bombas de vacío de gran tamaño y sus Peligros químicos de la acetona y el alcohol: componentes están diseñados para servicio de vacío, generalmente, las bombas de difusión se limpian y no para ser presurizados.

  • Página 12: Temperaturas Elevadas

    Bombas de difusión de alto rendimiento Temperaturas elevadas Altas tensiones ❑ ❑ Superficies calientes: las temperaturas de la caldera Los calefactores de la bomba de difusión funcionan llegan a 275 °C con tensiones tan elevadas que pueden ocasionar la lo cual puede provocar quemaduras graves. Verifique muerte.

  • Página 13: Nociones Básicas Acerca De Las Bombas De Difusión

    Bombas de difusión de alto rendimiento Nociones básicas acerca de las bombas de difusión Las bombas de difusión se utilizan cuando se da Funcionamiento de la bomba importancia al rendimiento para las cargas de gas pesado. La bomba de difusión funciona calentando el fluido de Las bombas de difusión comienzan a funcionar a −...
  • Página 14 Bombas de difusión de alto rendimiento...
  • Página 15 Bombas de difusión de alto rendimiento...

  • Página 16: Velocidad De Aire Y Rendimiento De La Bomba

    Figura 5. Figura 2 Curvas de la velocidad y del rendimiento del Figura 4 Curvas de velocidad y rendimiento del modelo HS-16, 8,1 kW modelo HS-32 Figura 5 Curvas de velocidad y rendimiento del Figura 3 Curvas de velocidad y rendimiento del...

  • Página 17: Especificaciones Físicas

    Serpentín de enfriamiento frontal Visor con llenado y drenaje 1/4 F.P.T. Serpentines de enfriamiento rápido (opcionales) Figura 6 Boceto del modelo HS-16 con bridas ASA Tabla 6 Dimensiones de bridas del modelo HS-16 Unidades Entrada Línea frontal Entrada, 500 K Línea frontal, 100 K...

  • Página 18: Boceto Del Modelo Hs-20 Con Bridas Asa

    Bombas de difusión de alto rendimiento Tabla 6 Dimensiones de bridas del modelo HS-16 Unidades Entrada Línea frontal Entrada, 500 K Línea frontal, 100 K Ranura de la Diámetro pulg. (mm) 18,69 (474,7) 4,31 (109,5) Requiere el anillo de Requiere el anillo de...

  • Página 19: Boceto Del Modelo Hs-32 Con Bridas Asa

    Bombas de difusión de alto rendimiento Tabla 8 Dimensiones de las bridas del modelo HS-20 Unidades Entrada Línea frontal Entrada, 630 K Línea frontal, 160 K Diámetro interior pulg. (mm) 21,25 (539,8) 5,06 21,25 (539,8) 5,06 (128,5) (128,5) Espesor pulg. (mm) 1,12 (28,5) 0,75 (19,1) 0,78 (19,8) 0,47 (11,9)

  • Página 20: Boceto Del Modelo Nhs-35 Con Bridas Asa

    Bombas de difusión de alto rendimiento Tabla 10 Dimensiones de bridas del modelo HS-32 Unidades Entrada Línea frontal Entrada, 800 F Línea frontal, 200 K Diámetro exterior pulg. (mm) 38,12 (968,3) 11,00 (279,4) 36,22 (920,0) 9,45 (240,0) Diámetro interior pulg. (mm) 32,06 (814,3) 6,73 (170,9) 32,06 (814,3) 6,73 (170,9)

  • Página 21: Dimensiones De Las Bridas Del Modelo Nhs

    Bombas de difusión de alto rendimiento Tabla 12 Dimensiones de las bridas del modelo NHS-35 Unidades Entrada Línea frontal Entrada, 1000 F Línea frontal, 200 K Diámetro pulg. (mm) 41,75 (1060,5) 11,00 (279,4) 44,09 (1119,9) 9,45 (240,0) exterior Diámetro pulg. (mm) 35,00 (889,0) 7,72 (196,1) 35,00 (889,0)

  • Página 22: Desembalaje

    Bombas de difusión de alto rendimiento Desembalaje Instalación ❑ ADVERTENCIAS Antes de levantar una bomba Montaje verifique el peso del equipo en la 1. Retire las tapas con bridas, los tapones obturadores y Tabla 4 en la página 6. los tapones de protección de las conexiones de agua. ❑...

  • Página 23: Limpieza De Una Bomba Nueva

    Bombas de difusión de alto rendimiento Limpieza de una bomba nueva Desmontaje para la limpieza inicial Este procedimiento incluye la limpieza de los siguientes NOTA Es necesario limpiar las bombas nueva elementos: sólo si el vacío deseado se encuentra ❑ −...

  • Página 24: Conexiones Del Sistema Y De Suministros

    Bombas de difusión de alto rendimiento Conexiones del sistema y de suministros ADVERTENCIA El fallo de los suministros puede provocar sobrecalentamiento, daños al equipo y explosiones. Diseñe el sistema para proteger de estos peligros tanto al personal como a sus propiedades. Conexiones de vacío Agua de refrigeración El cuerpo de la bomba se debe instalar de forma vertical y...
  • Página 25 Bombas de difusión de alto rendimiento Conexión del serpentín de enfriamiento rápido Obtención de alto vacío en el modelo NHS-35 El serpentín de enfriamiento rápido ubicado en la chapa Cuando se utiliza la bomba a presiones bajas (inferiores a − de la caldera debe conectarse a un drenaje abierto, y es 1x10 Torr), la presión final se puede reducir desviando...

  • Página 26: Conexiones Eléctricas

    Tabla 13 Ubicaciones de los diagramas de conexiones Cableado del modelo Cableado del modelo Cableado del modelo Cableado del modelo Tensión de entrada HS-16 HS-20 HS-32 NHS-35 Figura 13 en la Figura 15 en la página 23 página 25...
  • Página 27 Bombas de difusión de alto rendimiento Conexión del cableado de la bomba: 1. Compruebe que el calefactor recibe una la tensión de 4. Conecte los interruptores térmicos a un mecanismo suministro adecuada y busque el diagrama de de control para asegurar que el suministro eléctrico cableado correspondiente.

  • Página 28: Sobrecalentamiento: Detección Mediante Interruptores Térmicos

    Tabla 14 Temperaturas de corte térmico Si determina que la bomba no se ha sobrecalentado y que Unida el interruptor térmico falló o su calibración se ha HS-16 HS-20 HS-32 NHS-35 desconfigurado, sustituya el interruptor por el dispositivo correspondiente para el tipo de bomba incluido en la Interruptor del °F...

  • Página 29: Cableado Para 200/240/400/430/440/480 V Del Modelo

    440 V ≈ 41 Ω 440 V ≈ 72 Ω 440 V ≈ 61 Ω 480 V ≈ 55 Ω 480 V ≈ 46 Ω 480 V ≈ 85 Ω 480 V ≈ 72 Ω Figura 11 Cableado para 200/240/400/430/440/480 V del modelo HS-16...
  • Página 30 Bombas de difusión de alto rendimiento Figura 12 Cableado para 415 V del modelo HS-16...

  • Página 31: Cableado Para 200/240/400/430/480 V Del Modelo Hs

    Bombas de difusión de alto rendimiento Figura 13 Cableado para 200/240/400/430/480 V del modelo HS-20...
  • Página 32 Bombas de difusión de alto rendimiento Figura 14 Cableado para 415 V del modelo HS-20...
  • Página 33 Bombas de difusión de alto rendimiento Figura 15 Cableado para 200 V del modelo HS-32...
  • Página 34 Bombas de difusión de alto rendimiento Figura 16 Cableado para 240 V del modelo HS-32...
  • Página 35 Bombas de difusión de alto rendimiento Figura 17 Cableado para 460 V del modelo HS-32...
  • Página 36 Bombas de difusión de alto rendimiento Figura 18 Cableado para 415 V del modelo HS-32...
  • Página 37 Bombas de difusión de alto rendimiento Figura 19 Cableado para 480 V del modelo HS-32...
  • Página 38 Bombas de difusión de alto rendimiento = 67,8A @ 240V = 34,6A @ 400V = 31,5A @ 410V Figura 20 Cableado para 240/400/440 V del modelo NHS-35...
  • Página 39 Bombas de difusión de alto rendimiento Figura 21 Cableado para 415 V del modelo NHS-35...
  • Página 40 Bombas de difusión de alto rendimiento Figura 22 Cableado para 480 V del modelo NHS-35...

  • Página 41: Prueba Inicial De Vacío

    Bombas de difusión de alto rendimiento Prueba inicial de vacío Antes de cargar la bomba con fluido, realice esta prueba Para realizar la prueba inicial de vacío: inicial de vacío para establecer la hermeticidad del 1. Confirme las características de la presión final de sistema y de sus conexiones de vacío.

  • Página 42: Incorporación O Cambio Del Fluido De Bombeo

    Bombas de difusión de alto rendimiento Incorporación o cambio del La carga de fluido recomendada para cada bomba se muestra en la Tabla 4 en la página 6. fluido de bombeo Los fluidos deben almacenarse en recipientes limpios y cerrados herméticamente, que deben estar claramente ADVERTENCIAS Los siguientes factores aumentan el identificados según su tipo.
  • Página 43 Bombas de difusión de alto rendimiento Para agregar o cambiar el fluido de bombeo: 4. Retire el tapón del orificio de llenado de la bomba y vierta el fluido en su interior hasta alcanzar el nivel 1. Localice los acoples de llenado y drenaje en el FULL COLD (frío completo) en el visor, tal y como se esquema correspondiente.

  • Página 44: Funcionamiento

    Bombas de difusión de alto rendimiento Funcionamiento Durante la instalación inicial, el líquido de bombeo ❑ No encienda el calefactor sin que PRECAUCIONES recién colocado puede desgasificarse. Esto puede haya fluido en la bomba. Esto puede ocasionar fluctuaciones de la presión frontal que se estropear por completo consideran normales.

  • Página 45: Procedimiento De Arranque

    Bombas de difusión de alto rendimiento Procedimiento de arranque Procedimiento de desconexión Para encender la bomba: 1. Evacue la bomba de difusión usando una bomba de ADVERTENCIA 1. La liberación o admisión de aire pre-vacío mecánica a menos de 0,5 Torr (0,67 mbar). hacia la bomba cuando la caldera La bomba de difusión no funcionará...

  • Página 46: Mantenimiento

    Bombas de difusión de alto rendimiento Mantenimiento Realice estos controles periódicos para asegurar un funcionamiento sin problemas. Este mantenimiento evita costosos tiempos de inactividad por avería y procedimientos de limpieza. Mantenga un registro diario del rendimiento de la bomba y del sistema para identificar las variaciones significativas que requiera medidas correctivas. Inspecciones periódicas El intervalo máximo entre las inspecciones de la bomba Para realizar el mantenimiento general, haga lo siguiente:...

  • Página 47: Limpieza

    Bombas de difusión de alto rendimiento Limpieza Seguridad durante la limpieza Para la limpieza de la bomba de difusión se utilizan Puede ser necesario realizar una limpieza completa de la acetona y alcohol. Ambos productos son tóxicos y bomba debido al deterioro gradual de los fluidos de explosivos.

  • Página 48: Procedimientos De Desmontaje Y De Montaje

    Bombas de difusión de alto rendimiento Procedimientos de desmontaje y de montaje Tapón de enfriamiento Para desmontar el tapón de enfriamiento, consulte la Para volver a montar el tapón de enfriamiento: Figura 24 y siga estos pasos. 1. Inserte el extremo del conducto de agua del tapón de enfriamiento dentro de la abertura del orificio del El deflector de halo se desmonta de la NOTA...

  • Página 49: Conjuntos Del Chorro

    Figura 27. Figura 25 Conjunto del chorro del modelo HS-16...
  • Página 50 Bombas de difusión de alto rendimiento Para desmontar el conjunto del chorro: Conjunto del chorro del modelo HS-20 1. Retire el tapón de enfriamiento o el deflector de halo tal y como se indica en “Tapón de enfriamiento” en la página 40. 2.

  • Página 51: Detalle Del Acoplamiento Del Chorro

    Bombas de difusión de alto rendimiento Para montar nuevamente el conjunto del chorro: 5. Vuelva a colocar la protección del chorro de la tercera etapa. 1. Vuelva a colocar el chorro de la cuarta etapa sobre la 6. Instale en la bomba el conjunto del chorro inferior. base del chorro.
  • Página 52 Bombas de difusión de alto rendimiento Para desmontar el chorro: Conjunto del chorro del modelo HS-32 1. Desatornille y retire la tuerca hexagonal que sostiene el tapón de enfriamiento en su sitio. Anote su orientación antes de retirarla. Tapón de enfriamiento 2.
  • Página 53 Bombas de difusión de alto rendimiento Para volver a montar el chorro: 7. Utilizando el travesaño y el equipo de elevación adecuado, baje todo el conjunto del chorro al 1. Si durante el desensamblado se retiró o se aflojó la interior del cuerpo de la bomba, sobre de la varilla varilla del chorro central, enrosque la misma del chorro central.
  • Página 54 Bombas de difusión de alto rendimiento 10. Retire las tuercas de ajuste y separe la cuarta etapa de Conjunto del chorro del modelo NHS-35 la base del chorro. 11. Limpieza y repare según sea necesario. Refrigerado por agua Para volver a montar el chorro: Tapón de enfriamiento 1.

  • Página 55: Procedimiento De Sustitución Del Calefactor

    Bombas de difusión de alto rendimiento Procedimiento de sustitución del calefactor Para sustituir un calefactor: 1. Utilice un ohmímetro en la caja eléctrica para La Figura 30 muestra los componentes del conjunto del determinar cuál es el elemento calefactor que falla. elemento calefactor.

  • Página 56: Resolución De Problemas

    Bombas de difusión de alto rendimiento Resolución de problemas Fugas Desgasado Si sospecha que el rendimiento insuficiente del sistema se Los sistemas de alto vacío, incluso aquellos sin fugas debe a una fuga, compruebe primero los siguientes externas, pueden tener altas cargas de gas debido al elementos: desgasado producido por los procesos o las superficies interiores.

  • Página 57: Rendimiento Insuficiente De La Bomba O Del Sistema

    Bombas de difusión de alto rendimiento Rendimiento insuficiente de la bomba o del sistema La Tabla 15 indica los fallos, las causas probables y las medidas correctivas a tomar si tiene problemas con una bomba de difusión de gran tamaño. Tabla 15 Guía de resolución de problemas Fallo Causa probable...

  • Página 58: Piezas De Repuesto

    Bombas de difusión de alto rendimiento Piezas de repuesto Tabla 16 Piezas de repuesto del modelo HS-16 Número de pieza Descripción 79299301 Conjunto del tapón de enfriamiento, incluye tornillo de cabeza redondeada Nº 10-32 SST y tuerca hexagonal Nº 10-32 SST L8839301 Juego de junta de estanqueidad del tapón de enfriamiento...
  • Página 59 Bombas de difusión de alto rendimiento Tabla 17 Piezas de repuesto del modelo HS-20 Número de pieza Descripción 84358301 Conjunto del tapón de enfriamiento, incluye tornillo de cabeza redondeada Nº 10-32 SST y tuerca hexagonal Nº 10-32 SST 660811494 Junta de estanqueidad del tapón de enfriamiento F2622001 Tapa de pistón del tapón de enfriamiento, bronce 75786001...

  • Página 60: Conjunto Del Visor

    Bombas de difusión de alto rendimiento Tabla 18 Piezas de repuesto del modelo HS-32 Número de pieza Descripción 77252801 Conjunto del tapón de enfriamiento, incluye tornillo de cabeza redondeada Nº 10-32 SST y tuerca hexagonal Nº 10-32 SST 660811494 Arandela aislante del tapón de enfriamiento F2622001 Tapa de pistón del tapón de enfriamiento (bronce) 75786001...

  • Página 61: Conjunto Del Tapón De Enfriamiento

    Bombas de difusión de alto rendimiento Tabla 19 Piezas de repuesto del modelo NHS-35 Número de pieza Descripción 81437301 Conjunto del tapón de enfriamiento (incluye tornillo de cabeza redondeada Nº 10-32 SST y tuerca hexagonal Nº 10-32 SST) 660811494 Junta de estanqueidad del tapón de enfriamiento F2622001 Tapa de pistón del tapón de enfriamiento (bronce) 75786001...
  • Página 62 Bombas de difusión de alto rendimiento...
  • Página 64 Canadá Japón Otros países Coordinación central a través de: Varian, Inc. Varian, Inc. Varian, Inc. Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Via F.lli Varian 54 121 Hartwell Avenue 4-16-36 Shibaura 10040 Leini, (Torino) Lexington, MA 02421 Minato-ku, Tokyo 108 Italia Japón Tel: (39) 011 997 9.111...

Este manual también es adecuado para:

Hs-20Hs-32Nhs-35

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