Tabla de contenido
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione
flangia e tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con
quale coppia di serraggio stringerli.
FLANGIA
TIPO DI
MORSETTO
ISO 63
Morsetto doppio
con filettatura M10
Morsetto singolo
con filettatura M8
ISO 100
Morsetto doppio
con filettatura M10
Morsetto singolo
con filettatura M8
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
NOTA
Il DRYVAR 150 non può essere fissato tramite la sua base.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure
operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
! ! ! !
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di
chiusura.
! ! ! !
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
! ! ! !
ATTENZIONE!
Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando è
in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
! ! ! !
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente
da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di
ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2
bar (oltre la pressione atmosferica).
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per
proteggere
i
cuscinetti
(vedere
Information").
! ! ! !
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
N.
COPPIA DI
SERRAGGIO
4
22 Nm
4
11 Nm
4
22 Nm
8
11 Nm
PERICOLO!
PERICOLO!
l'appendice
"Technical
PERICOLO!
Accensione ed Uso del DRYVAR 150
Per accendere il DRYVAR 150 è sufficiente fornire la tensione di
alimentazione.
Il
automaticamente la presenza dell'alimentazione ed avvia la
pompa. La prima partenza della pompa avviene nel modo "Soft
Start" che, al termine del ciclo di avvio, si disabilita
automaticamente, per cui tutti i successivi avvii della pompa
avvengono senza il modo "Soft Start". Per riavere una partenza
con "Soft Start" attivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite
software (vedere il paragrafo "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" nell'appendice "Technical Information").
Durante il "Soft Start", se il dispositivo "vent valve" è installato,
dopo il comando di start si aziona per 2 minuti solo la pompa a
membrana interna con il vent valve aperto per permettere la
pulizia delle valvole della pompa dall'umidità. Se il "Soft Start"
non è attivo, il tempo di attesa è di 30 secondi.
Se il vent valve non è installato,
manualmente la pompa turbomolecolare subito dopo lo start
fino a quando la stessa non comincia a ruotare.
Utilizzare sempre gas inerte privo di polveri, particelle o umidità
durante l'esecuzione di tali operazioni.
Il LED verde LD1 posto sul pannello della base del DRYVAR
150 indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni
operative del sistema:
−
acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
−
lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il
sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di
"Waiting for interlock";
−
lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms):
condizione di errore.
Arresto del DRYVAR 150
Per arrestare il DRYVAR 150 è sufficiente togliere la tensione
di
alimentazione.
immediatamente la pompa.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il DRYVAR 150
occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete.
MANUTENZIONE
Il DRYVAR 150 non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi
intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall'alimentazione,
mandare
l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore
ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia
inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service",
che permette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione
di quello guasto.
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e
Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della
stessa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della
spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
2
ISTRUZIONI PER L'USO
controller
incorporato
NOTA
"mandare all'aria"
Il
controller
incorporato
! ! ! !
PERICOLO!
all'aria
la
pompa
NOTA
87-900-920-01(B)
riconosce
arresta
aprendo
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