Tabla de contenido
Presvedčite sa, že sa výveva hodí pre vaše účely. Výveva je
navrhnutá pre čerpacie zariadenia systému PVD alebo pre čisté
vákuové systémy. Ak chcete vývevu použiť na niečo iné,
obráťte sa na firmu Varian Vacuum Technologies, alebo na
vášho dodávateľa.
Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny,
ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké
riziko požiaru.
NIE!
VAROVANIE!
Aby ste predišli zraneniu, nikdy nedávajte ani prsty, ani
akékoľvek iné predmety do vstupného otvoru vývevy. Veľmi
odporúčame
používať
príslušenstvo). Ak na vstupnom otvore použije tlmič vibrácií
alebo pružný kovový vlnovec, uistite sa, že je pevne
pripojená základná doska vývevy.
Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto
vlastnosti prostredia:
−
maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického
tlaku
−
teplota: od +5 °C do +35 °C
−
relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Pozri dodatok "Technické informácie"
pre podobné informácie. Vývevy série Turbo - V 2000HT musia
byť prevádzkovaná len s jedným z špeciálnych kontrolných
modulov Varian (séria 969-9462, 969-9562) a musí byť
pripojená na primárny vývevu (pozri "Technické informácie").
Výveva môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe.
VAROVANIE!
Príkon vývevy treba
nastaviť podľa charakteru čerpaného
plynu. Jestvuje voľba medzi VZDUCHom a ARGÓNom
pomocou kontrolného modulu. Ak chcete používať vývevu s
inými plynmi, kontaktujte Varian.
Upevnite turbovývevu do stabilnej polohy pripojením vstupnej
príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby
vydržala namáhanie krútiacim momentom 30 000 Nm okolo
svojej osi.
Turbovýveva s ISOF vstupnou prírubou musí byť pripevnená k
vákuovej komore pomocou skrutiek M12 s pevnosťou v ťahu
najmenej 8.8 (σ
= 800 N/mm
r
momentom 22 Nm.
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky
Varian.
Podrobné
informácie
„Technické informácie".
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku "Technické
Informácie".
ochranný
kryt
(doplnkové
2
). Odporúčame skrutky uťahovať
sa
nachádzajú
v dodatku
POUŽITIE
Všetky pokyny pre správne používanie turbovývevy nájdete
návode pre použitie kontrolného modulu.
Pred použitím vývevy starostlivo preštudujte návod na použitie.
Ak chcete dosiahnuť lepší (nižší) základný tlak, plášť vývevy
treba zvonka ohrievať ohrievačom. Ak použijete vonkajší ohrev
vývevy, teplota na vstupnej prírube nesmie prekročiť 120 °C.
Pri ohrievacích operáciách vždy používajte vodné chladenie.
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho
príslušenstva.
popáleniny
!
Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu,
zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe
musí byť nižší než 2 bar (pretlakový).
Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená
nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa
poškodiť ložiská.
!
Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie
agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného
plynu (napríklad N
, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri
2
dodatok „Technické informácie").
Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých
alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované
postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.
ÚDRŽBA
Vývevy série Turbo-V 2000HT nevyžadujú žiadnu údržbu.
Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný
personál.
Skôr než začnete čokoľvek robiť na turbovýveve, odpojte ju od
zdroja napájania, prepláchnite vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 °C.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte miestne servisné
stredisko spoločnosti Varian, kde vám pokazenú vývevu
vymenia.
Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte
vyplniť dotazník "Zdravie a bezpečnosť",
Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia vývevy, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
45
NÁVOD K POUŽITIU
VAROVANIE!
Vysoké
teploty
môžu
UPOZORNENIE
UPOZORNENIE
VAROVANIE!
VAROVANIE!
POZNÁMKA
87-900-969-01(B)
spôsobiť
Tabla de contenido
