Tabla de contenido
Ellenőrizze, hogy a szivattyú megfelel-e az alkalmazásnak. A
szivattyút PVD rendszerű szivattyús alkalmazásokhoz vagy
tiszta általános vákuumalkalmazásokhoz tervezték. Lépjen
kapcsolatba a Varian Vacuum Technologies céggel vagy a
szállítójával, ha bármely más alkalmazáson akarja használni a
szivattyút.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban,
agresszív
gázokban,
illetve
környezetben.
NEM!
VIGYÁZAT!
A sérülés elkerülésére sose tegye be az ujjait vagy
valamely tárgyat a turbószivattyú bemeneti portjába. A
védőernyő
használata
erősen
tartozék).
Ha
rezgéscsillapítót
csőrugókat használnak a bemeneti porton, ellenőrizze,
hogy a szivattyú rögzítve van-e az alaphoz.
Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell
biztosítani:
−
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
−
hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig
−
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Műszaki információ". A Turbo - V 2000HT sorozatú
szivattyúkat csak valamelyik speciális vezérlővel szabad
használni (969-9462, 969-9562 sorozat) és az elsődleges
szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd "Műszaki információ").
A turbószivattyút bármely helyzetben lehet telepíteni.
VIGYÁZAT!
A szivattyúhoz menő teljesítményszintet be kell állítani a
szivattyúzott gáz szerint. Ki lehet választani LEVEGŐT vagy
ARGONT
a
vezérlő
segítségével
gépkönyvet). Kérem, lépjen kapcsolatba a Variannal, ha más
gáztípusokkal akarja használni a szivattyút.
Rögzítse a turbószivattyút stabil helyzetben, a turbószivattyú
bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva,
amely képes ellenállni 30000 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Az ISOF bemeneti karimás turbószivattyút 12 db, legalább 8.8
teherbírási osztályú (σ
= 800 N/mm
r
rögzíteni a vákuumkamrához. 22 Nm rögzítő nyomaték ajánlott.
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért
lásd „Műszaki információ".
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki
információt".
robbanó
vagy tűzveszélyes
ajánlott
(választható
vagy
rugalmas
fém
(lásd
a
vonatkozó
2
) M10-es csavarral kell
HASZNÁLAT
A turbószivattyú helyes használatához az összes utasítás
benne van a vezérlőegység kézikönyvében.
Gondosan olvassa el a kézikönyvet a szivattyú használata előtt.
Jobb (alacsonyabb) alapnyomás eléréséhez a szivattyú háza
melegíthető az opcionális melegítő segítségével. A szivattyú
melegítése közben a bemeneti karima hőmérséklete nem
haladhatja meg a 120 °C-t. Mindig használja a vízhűtés
rendszert a melegítési műveletek közben.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
!
Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy
közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton
lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri
nyomás fölött).
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását
üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek.
!
Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak
szerelve egy különleges porttal, hogy lehetővé tegyék
közömbös gáz (pl. N
szivattyú számára (lásd „Műszaki információ" függelék).
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében.
KARBANTARTÁS
A
Turbo-V
2000HT
karbantartást. A szivattyún végzett bármely munkát jogosult
személyzetnek kell elvégeznie.
A turbószivattyún bármely munka végzése előtt válassza le azt
a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a
szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Varian
szervizközponttal,
ahol
turbószivattyút a hibás helyett.
MEGJEGYZÉS
Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a szivattyút a
gyártóhoz, az ehhez a gépkönyvhöz csatolt „Egészség és
biztonság" lapot ki kell tölteni és el kell küldeni a helyi
kereskedelmi irodához. A lap egy másolatát szállítás előtt be
kell illeszteni a szivattyúcsomagba.
Ha a szivattyút le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.
36
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
VIGYÁZAT!
FIGYELEM
FIGYELEM
, Ar) stabil áramlását védelmet viselő
2
VIGYÁZAT!
sorozatú
szivattyú
nem
VIGYÁZAT!
tudnak
adni
egy
helyreállított
87-900-969-01(B)
igényel
Tabla de contenido
