Tabla de contenido
Controleer of de pomp geschikt voor de eigen toepassing is. De
pomp is ontworpen voor gebruik binnen PVD pompsystemen of in
het algemeen voor toepassingen waarvoor een "schoon" vacuüm
is vereist. Neem contact op met Varian Vacuum Technologies of
uw leverancier voor andere toepassingen.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.
NEE
!
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening
van de turbopomp worden gestoken. Men raadt gebruik van
het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of
een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt aan-
gebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn:
-
max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
-
temperatuur: van +5°C tot +35°C
-
relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage "Technical
Information" voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie V2000HT mogen
alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale
Varian controllers (serie 969-9462, 969-9562) en moeten
aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in
"Technical information").
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.
GEVAAR!
Het aan de pomp geleverde krachtniveau moet aangepast
worden aan het gepompte gastype. Het is mogelijk om met
behulp van de controller (zie de handleiding van de controller)
LUCHT of ARGON te kiezen (default: ARGON). Neemt u a.u.b.
contact op met Varian als u andere gastypes wilt gebruiken.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 30000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISOF ingangsflens moet bevestigd worden
aan de vacuümkamer met behulp van 12 M10 stalen bouten
met een sterkteklassse van niet minder dan 8.8 (
2
N/mm
). Men adviseert een aanhaalkoppel van 22 Nm.
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
Zie "Technical Information" voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn
in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig
deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere
grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met
behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens het eventuele
verwarmen van de vacuümkamer, mag de temperatuur van de
ingangsflens en de rotor niet meer dan 120 °C bedragen. Pas
tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen
aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde
atmsoferische druk) bedragen.
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage "Technical Information").
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare,
giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden
gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de
pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V2000HT zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt .
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
= 800
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
s
r
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
18
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
GEVAAR!
!
ATTENTIE
poort
moet
minder
dan
!
ATTENTIE
!
ATTENTIE
GEVAAR!
GEVAAR!
OPMERKING
87-900-969-01(B)
!
2
bar
(boven
de
!
!
Tabla de contenido
