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NEIN !
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen,
ein
Schutzgitter
(Sonderzubehör).
Bei
Erschütterungsdämpfers oder eines flexiblen Metallbalges
auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am
Unterteil fest installiert
Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen
Gegenflansch anschließen, der ein Drehmoment von 1000 Nm
um seine eigene Achse aushält.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten
oder
einfachen
Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden
Tabelle
sind
die
Anzahl
Anzugsmoment
für
die
jeweiligen
Klemmenarten angegeben.
FLANSCH
KLEMM- SCHELLE
ISO 100
Doppelklemme mit
M10-Gewinde
Einzelschelle mit M8-
Gewinde
ISO 160
Doppelklemme mit
M10-Gewinde
Einzelschelle mit M10-
Gewinde
Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,
müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben
eingesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze
2
von 500 N/mm
haben und mit einen Anzugsmoment von 3.1
Nm angezugen werden.
Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information".
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das
Pumpengehäuse
mit
einer
ausgeheizt werden.
zu
installieren
Installation
eines
Klemmschellen
an
die
der
Klemmschellen
und
der
Flanschgrößen
und
AN.
ANZUGS-
MOMENT
4
22 Nm
8
11 Nm
4
22 Nm
8
22 Nm
Heizmanschette
(Optional)
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C
nicht
überschreitet,
Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten.
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es
besteht Verbrennungsgefahr.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem
atmosphärischen Druck sein.
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
Wenn
die
Pumpe
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen
die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und
Maßnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V300 ICE sind wartungsfrei.
Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal
ausgeführt werden.
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian
advanced exchange service" in Anspruch genommen werden.
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt
werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der
einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
sollte
immer
bei
ausheizbaren
GEFAHR!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
GEFAHR!
zur
Förderung
von
giftigen,
GEFAHR!
ANMERKUNG
87-900-897-01(C)
leicht
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