Tabla de contenido
Enlaces rápidos
Mini-TASK
Model 969-9170
Model 969-9171
Model 969-9172
87-900-962-01(A)
OCTOBER 2004
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL
Tabla de contenido
Manuales relacionados para Varian Mini-TASK
Resumen de contenidos para Varian Mini-TASK
- Página 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Mini-TASK MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING Model 969-9170 INSTRUKSTIONSBOG Model 969-9171 BRUKSANVISNING Model 969-9172 INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA...
- Página 2 Mini-TASK...
-
Página 5: Tabla De Contenido
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE MINI-TASK ...................52 Turbopump Description .....................52 Controller Description ......................53 Diaphragm Forepump Description..................53 Control Panel Description ....................53 TECHNICAL SPECIFICATION ....................53 MINI-TASK OUTLINE ........................54 INLET SCREEN INSTALLATION ....................56... -
Página 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Página 7: Informazioni Generali
ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il Mini-TASK e a non sottoporlo Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. ad urti o vibrazioni. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di... - Página 8 MORSETTO SERRAGGIO Information". ISO 63 Morsetto doppio 22 Nm Il LED verde LD1 posto sul pannello della base del Mini-TASK con filettatura M10 indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni Morsetto singolo 11 Nm operative del sistema: con filettatura M8 −...
-
Página 9: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Página 10: Allgemeine Informationen
Zusatzdokumentationen genau zu örtlichen Verkaufsstelle zu melden. lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen An- Modell Mini-TASK ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem weisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. - Página 11 In der nachstehenden Tabelle sind die An- den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Informa- zahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schel- tion", nachschlagen. lenarten angegeben. Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Mini-TASK FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen...
-
Página 12: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Página 13: Indications Générales
0 - 95% (non condensante) En présence de champs magnétiques, la pompe doit être Le Mini-TASK est livré dans un emballage de protection spécial; en protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit renseignement, se reporter à... - Página 14 Mise en marche et utilisation du Mini-TASK chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le Pour allumer le Mini-TASK, il suffit de le brancher au réseau et tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre de placer l'interrupteur extérieur sur ON (lumière rouge...
-
Página 15: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Página 16: Información General
INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no INFORMACIÓN GENERAL se caiga el Mini-TASK y de no someterlo a golpes o Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer vibraciones. atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier No abandonar el embalaje en el medio ambiente. -
Página 17: Mantenimiento
TIPO DE PAR DE del capítulo “Technical Information”. MORDAZA APRIETE El LED verde LD1 situado en el panel de la base del Mini-TASK ISO 63 Mordaza doble con 22 Nm indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones rosca M10... -
Página 18: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. -
Página 19: Informações Gerais
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo não deixar cair o Mini-TASK e para não submetê-lo a choques uso contrário às normas nacionais específicas. ou vibrações. - Página 20 Mini-TASK, consultar o apêndice "Technical Information". NOTA Paragem do Mini-TASK O Mini-TASK não pode ser fixado por intermédio da sua própria Para parar o Mini-TASK é suficiente colocar o interruptor base. exterior na posição OFF (luz vermelha apagada). O controller incorporado pára imediatamente a bomba.
-
Página 21: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Página 22: Algemene Informatie
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De Zorg er bij het uitpakken voor dat de Mini-TASK niet kan vallen gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. - Página 23 (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for OPMERKING interlock”; De Mini-TASK kan niet met behulp van zijn eigen basis worden knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand. bevestigd. voor...
-
Página 24: Brugsanvisning
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Página 25 Sørg for, at Mini-TASK ikke tabes eller udsættes for stød ved kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der udpakningen.
- Página 26 Se bilaget “Teknisk Information” for yderligere oplysninger. Mini-TASK kan installeres i en hvilken Tænding af Mini-TASK sker ved blot at tilslutte strømmen og som helst position. Fastgør Mini-TASK i en stabil position ved indstille den udvendige afbryder i position ON (rød kontrollampe at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange,...
-
Página 27: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Página 28: Allmän Information
Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på handskar eller liknande skydd. åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen... - Página 29 Start och användning av Mini-TASK vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Starta Mini-TASK genom att slå till strömmen och placera den Den följande tabellen beskriver olika typer av klamrar, externa brytaren i läge ON (den röda kontrollampan tänds).
-
Página 30: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Página 31: Generell Informasjon
Mini-TASK må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Teknisk må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. informasjon"). Når Mini-TASK pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned Mini-TASK kan monteres i en valgfri stilling. Fest Mini-TASK i eller utsettes for noen form for støt. - Página 32 Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det For å slå på Mini-TASK er det nok å kople til strømmen og relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer. dreie den utvendige bryteren til ON (rødt lys tennes). Den...
-
Página 33: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-962-01(A) -
Página 34: Yleisiä Tietoja
Käyttäkää aina käsineitä tai ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota muuta sopivaa suojausta. vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä... - Página 35 Mini-TASK:n käynnistys ja käyttö tyhjiökammioon kaksois- yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden Käynnistä Mini-TASK kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla vaadittava määrä ja kiristysmomentti. ulkokatkaisin ON-asentoon (punainen valo syttyy). Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran ja käynnistää pumpun.
-
Página 36: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Página 37 Gia na apofÚgete problÿmata apagwgÿj aer∂ou, mhn agg∂zete me proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ÿ crÿsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. To Mini-TASK e∂nai ◊na gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto kenè.
- Página 38 Kat£ th di£rkeia thj endecèmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth Για την κράτηση του Mini-TASK αρκεί να θέσετε στη θέση OFF τον fl£ntza eisèdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C. εξωτερικό διακόπτη (σβήνει το κόκκινο φως). O enswmatwm◊noj elegktÿj stamat£...
-
Página 39: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Página 40 A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. EEC 85/399-es direktívának. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan FIGYELEM eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta...
- Página 41 „Jelleírás bekezdés” a „Műszaki M8 kapcsok 11 Nm információ” fejezetben. A Mini-TASK-on elhelyezett zöld LD1 LED a villogásának A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért •...
-
Página 42: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Página 43 Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w uwagę aby nie spowodować upadku systemu Mini-TASK ani przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom.
- Página 44 Włączenie i obsługa systemu Mini-TASK dodatek “Informacje Techniczne” Mini-TASK może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. Aby włączyć Mini-TASK wystarczy dostarczyć napięcie zasilania i Zamocować Mini-TASK w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On (czerwona lampka wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na zaświeci...
-
Página 45: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Página 46 Vývěvu Mini-TASK lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Mini-TASK upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní přírubu Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní...
- Página 47 Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí Zapnutí a používání vývěvy Mini-TASK připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a Vývěvu Mini-TASK stačí zapojit do sítě a pak zapnout venkovní příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a vypínač (rozsvítí se červená kontrolka). Vestavěný regulátor příchytek pro každé...
-
Página 48: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Página 49 špecifickými štandardmi danej POZNÁMKA krajiny. Mini-TASK je integrovaný systém s turbovývevou pre určený Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže Mini-task pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké vákuum, poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo spojený...
- Página 50 Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 120 şC. Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie Mini-TASK okamžite vypnúť v stave VAROVANIE! núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je OFF.
-
Página 51: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Página 52 Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
- Página 53 »Soft Start«, glej odstavek »Opis signalov« v poglavju »Tehnične informacije«. Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Mini-TASK-a, vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije"...
-
Página 54: Safety Guideline
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Página 55: General Information
Information" for detailed information. The Mini-TASK is supplied in a special protective packing. If The Mini-TASK can be installed in any position. Fix the Mini- this shows signs of damage which may have occurred during TASK in a stable position connecting the inlet flange of the transport, contact your local sales office. - Página 56 Switching on and Use of Mini-TASK vacuum chamber by means of clamps or claws. The following To switch on the Mini-TASK it is sufficient to supply the mains table shows, for each fixing device, the necessary number of and then move the external switch to ON position (red light on).
-
Página 57: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE MINI-TASK The Mini-TASK pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in three models which differ only in the high vacuum flange. The four models are: − Model 969-9170 with KF 40 high vacuum flange;... -
Página 58: Controller Description
ISO and KF: 7.5 (16) J6 SERIAL Serial input-output connector to control CFF: 8.3 (18) the Mini-TASK via an RS 232 or RS 485 connection * According to standard DIN 28 428, the base J5 IN-OUT Input-output connector to remote control... -
Página 59: Mini-Task Outline
TECHNICAL INFORMATION MINI-TASK OUTLINE NOTE The following figure shows the Mini-TASK outline. When the Mini-TASK has been stored at a tempera- ture less than 5°C, wait until the Mini-TASK has reached the above mentioned temperature. 87-900-962-01(A) - Página 60 TECHNICAL INFORMATION Graph of pumping speed vs inlet pressure Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre) 87-900-962-01(A)
-
Página 61: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the overall flange di- INLET SCREEN INSTALLATION mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange (on the left side) and pump with 4.5” CFF flange (on the right side). The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter. -
Página 62: High Vacuum Flange Connection Configurations
CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may For ConFlat flange connections we recommend cause the pump rotor to lock. using Varian hardware. HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS 87-900-962-01(A) -
Página 63: Interconnections
The following figure show the input power connec- tor. This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the Mini-TASK. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use. -
Página 64: Soft Start
TECHNICAL INFORMATION SPEED SETTING: PWM input signal to set the PROGRAMMABLE SET POINT: this open collec- pump speed. The PWM signal characteristics must tor output signal is enabled when the reference be the following: quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold. - Página 65 How to connect the open collector to the controller’s input Here below there are the typical connections of the input of Mini-TASK to an external device. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
-
Página 66: J6 - Serial
The MESSAGE is a string with the following format: This is a 9 pin D-type serial input/output connector <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> to control via an RS 232 or RS 485 connection the Mini-TASK. where: PIN N. SIGNAL NAME NOTE +5 V (OUT) When a data is indicated between two quotes (‘...’) - Página 67 TECHNICAL INFORMATION The field length is variable according to the Command: STOP data type as per the following table: Source: PC Destination: Controller FIELD VALID DATA TYPE LENGTH CHARACTERS Logic (L) ‘0’ = OFF STX ADDR WINDOW OFF ETX ‘1’ = ON Numeric (N) ‘-‘, ‘.’, ‘0’...
-
Página 68: Window Meanings
TECHNICAL INFORMATION Command: READ PUMP STATUS Read/ Data Description Admitted Source: PC Write Type Values Destination: Controller (with address = 3) Set Point (default = 1125) threshold (expressed in Hz, mA or s) STX ADDR WINDOW Set Point de- 0 to 99999 lay: time be- (default = 0) tween the... - Página 69 Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Set vent On = 1 Reserved to Varian service valve on/off Off = 0 (on = closed) (default = 1) QE8XXXX Reserved to Varian service EPROM (where “XXXX” (QE) are variable)
-
Página 70: Use In Presence Of Magnetic Fields
In general, therefore, an increase in pump current Inlet screen DN40 969-9309 can be expected. Inlet screen DN63 969-9300 Vibration damper, DN 63 ISO 969-9340 For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 87-900-962-01(A) - Página 71 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Página 72 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
-
Página 73: Sales And Service Offices
Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. [email protected] Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.