Tabla de contenido
FESTING AV PUMPEN
!
ADVARSEL!
Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og
systemet utsettes for et betydelig dreiemoment. Dersom
tilkoplingen ikke er sterk nok til å tåle dette dreiemomentet, kan
pumpen løsne fra systemet eller motoren kan løsne fra
pumpens hylster. I dette tilfellet kan metallsplinter kastes ut fra
pumpen eller fra systemet. Dette kan føre til alvorlige skader
eller død og/eller skader på annet utstyr i nærheten.
Fest TV 1001 SEM i en stabil posisjon, monter turbopumpens
innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i
stand til å tåle et dreiemoment på 8900 Nm rundt sin egen
akse.
ISO-K-flensen kan f.eks. festes ved hjelp av stålklemmer med
høy styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250 DCMZ).
Den følgende tabellen beskriver antall klemmer IC 63250
DCMZ som er nødvendige for hver flens, og tilhørende
strammemoment.
FLENS
ANT.
ISO 200 K
8
Turbopumpen med ISO 200 F inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til "Teknisk informasjon".
TV 1001 SEM kan monteres i en valgfri stilling.
MERK
TV 1001 SEM må ikke festes gjennom fundamentet.
!
FORSIKTIG!
TV
1001
SEM
hører
overspenningsklasse)
nummer
standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som
tilfredsstiller kravene for denne klassen.
TV 1001 SEM er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene
og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre
strømkretsene
slik
at
ingen
tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av anordningen
koplet til TV 1001 SEM har en egnet isolering, også under
forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120°C.
!
ADVARSEL!
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen.
De
høye
brannskader.
!
FORSIKTIG!
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar (over atmosfærisk trykk).
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
"Teknisk informasjon).
STRAMME- MOMENT
35 Nm
til
installasjonsklasse
(eller
2
i
følge
EN
61010-1
deler
under
spenning
temperaturene
kan
føre
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Starte og bruke TV 1001 SEM
TV
1001
SEM
veggkontakten.
automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter
pumpen.
Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som
etter denne første igangsettingssyklusen desaktiveres, slik at
etterfølgende igangsettinger skjer uten MYK START. For å
oppnå en MYK START igjen er det nødvendig å tilbakestille
modusen
via
COMMUNICATION
Informasjon").
Den grønne lysdioden LD1 på TV 1001 SEM basepanel angir
systemets funksjon ved hjelp av blink:
-
den lyser fast: pumpen roterer normalt
-
den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i
stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller "Waiting for
interlock"
-
den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
Stoppe TV 1001 SEM
TV 1001 SEM stoppes ved å kople det fra strømforsyningen.
Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart.
Nødstopp
Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 1001
SEM i en nødsituasjon.
VEDLIKEHOLD
TV 1001 SEM er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må
kun utføres av autorisert personell.
er
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter
vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er
lavere enn 50°C.
Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte system til erstatning for det ødelagte
systemet.
Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for et overhalt system, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet
som sendes tilbake.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
til
18
BRUKERVEILEDNING
!
ADVARSEL!
startes
ved
å
sette
strømkabelen
Den
innebygde
styreenheten
software
(se
avsnittet
DESCRIPTION"
i
tillegget
!
ADVARSEL!
MERK
87-900-973-01
i
kjenner
"RS
232
"Teknisk
Tabla de contenido
