Varian Turbo-V 81-M Manual De Instrucciones página 9

Bombas turbomoleculares
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  • ESPAÑOL, página 13
Die verfügbaren Controller sind folgende:
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Rack controller 81-AG: 969-8988
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Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
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Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
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PCB 24 V 969-9538
Modell Turbo-V 81-M kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Modell Turbo-V 81-M ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen-
flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 1000
Nm um seine eigene Achse belastbar ist. Der ISO 63-Flansch
kann z.B. mit hochfesten Stahlklammern befestigt werden (wie
das Varian-Modell IC 63250 DCMZ).
Die Tabelle im Anschluss zeigt die erforderliche Anzahl von
Klammern und das jeweilige Anzugsmoment für jede Flansch-
größe.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ISO 63
Doppelschelle mit
NM10 Gewinde
Einzelklemme mit
NM8-Gewinde
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-
ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-
hang "Technical Information".
HINWEIS
Modell Turbo-V 81-M kann nicht mittels seines Sockels befes-
tigt werden.
ACHTUNG!
Der Turbo-V 81-M gehört zur zweiten Installationsklasse (Ü-
berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die
Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlos-
sen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
Alle Anweisungen für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind
im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten. Bitte lesen Sie das
Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch.
Für den Erhalt besserer Grenzdruckwerte ist es möglich, das Sys-
tem zu erhitzen.
Bei einer eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die Tempe-
ratur an dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht über
120°C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80°C liegen.
Während der Erhitzungsvorgänge immer die Abkühlung mit
Wasser verwenden.
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist. Während
des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die
Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie Luft
oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftung-
sanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck)
betragen.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer
Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager I-
nertgas (Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang
"Technical Information").
ANZ.
ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren
oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige
Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen
Gasen verwendet werden.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V 81-M erfordern keine Wartung.
Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal aus-
geführt werden.
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-
ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System
zur Verfügung stellt.
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-
tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und
Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-
ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-
Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts -
d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak-
tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.
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GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
GEFAHR!
HINWEIS
ENTSORGUNG
87-900-983-01(B)
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