¡ADVERTENCIA! Peligro por superficies calientes. Al utilizar la fuente de
iones IonDrive
fuente de iones y la interfaz se enfríen antes de iniciar cualquier
procedimiento de mantenimiento. Al utilizar la fuente de iones Turbo V
o DuoSpray
iones y la interfaz se enfríen antes de iniciar cualquier procedimiento de
mantenimiento. Al utilizar la fuente de iones NanoSpray
mínimo de 60 minutos para que la fuente de iones y la interfaz se enfríen
antes de iniciar cualquier procedimiento de mantenimiento. Al utilizar la
fuente de iones OptiFlow
para que la fuente de iones y la interfaz se enfríen antes de iniciar
cualquier procedimiento de mantenimiento. Algunas superficies de la
fuente de iones y la interfaz de vacío se calientan durante su
funcionamiento.
PRECAUCIÓN: Posible daño del sistema. No deje caer nada en el drenaje de la fuente al
retirar la fuente de iones.
Figura 10-2 Drenaje de la fuente en la interfaz de vacío
1. Desactive el perfil de hardware.
2. Retire la fuente de iones. Consulte la Guía del operador de la fuente de iones.
Guarde la fuente de iones mientras no la esté utilizando para protegerla de posibles daños y preservar su
integridad de funcionamiento.
Guía de usuario del sistema
RUO-IDV-05-8593-ES-B
Información de servicio técnico y mantenimiento
TM
Turbo V, espere un mínimo de 90 minutos para que la
TM
, espere un mínimo de 30 minutos para que la fuente de
TM
Turbo V, espere un mínimo de 60 minutos
®
, espere un
®
Sistema TripleTOF
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TM
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