6 | Funcionamiento
6.5 Prueba de fugas con I•RISE (depende del
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dispositivo)
Estándar para UL6000 Fab PLUS.
Introducción
I•RISE realiza una medición cíclica del aumento de presión interna en el detector de
fugas.
La detección de fugas con ayuda de la medición del aumento de presión aprovecha el
hecho de que las fugas generen la introducción de una cantidad de gas a velocidad
constante en un depósito suficientemente evacuado. En la tecnología de vacío este
depósito también se denomina recipiente. Y por lo general se trata de una cámara de
vacío.
La ventaja respecto a la detección de fugas normal con helio es que permite medir la
tasa de fuga total, es decir la suma de todas las fugas del recipiente, sin necesidad de
pulverizar. No obstante, solo es posible mostrar fugas relativamente grandes.
Para la medición del aumento de presión se cierra normalmente la válvula del lado de
la bomba del recipiente evacuado. Posteriormente se mide un aumento de presión en
el recipiente, por lo general en mbar/min o torr/min.
En el caso de la solución de INFICON I•RISE el aumento de presión se mide en un
volumen dentro del detector de fugas y, por tanto, fuera del recipiente.
En comparación con una medición del aumento de presión convencional, esto permite
una medición mucho más rápida y continuada. I•RISE reemplaza la medición del
aumento de presión externa convencional.
La tasa de fuga Q también se puede determinar multiplicando la tasa de fuga
mostrada I•RISE por el volumen del recipiente, por ejemplo, en mbar*l/s:
Q/(mbar*l/s) = I•RISE (mbar/s) * volumen/l
Habilitación de la medición con I•RISE
ü
Derechos de Operator o de Supervisor, dependiendo de la necesidad de
modificación.
ü Para la medición de vacío el aparato está conectado a un recipiente, por ejemplo
una cámara de vacío.
1
Asegúrese de que el aparato se encuentre en el modo de medición ULTRA.
Véase también la indicación del modo de medición en la pantalla de medición.
ð En los ajustes de fábrica están activados todos los márgenes de vacío y
conmutan automáticamente dependiendo de la presión de entrada p1. Véase
también «Ver el diagrama de vacío [} 99]». El rango de medición ULTRA
representa la máxima sensibilidad con presiones de entrada bajas.
UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
INFICON
