4 | Descripción
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Datos físicos
Tasa de fuga mínima detectable, modo
de vacío
Tiempo de reacción, con brida ciega
Tiempo de reacción, volumen 50 l
Presión de entrada máx. (margen de
vacío MASSIVE)
Capacidad de aspiración de helio
(margen de vacío ULTRA, brida de
entrada DN63)
Capacidad de aspiración de helio
(margen de vacío ULTRA, brida de
entrada DN40)
Capacidad de succión de aire de la
bomba previa
Tiempo hasta 1 mbar para un volumen
de 50 l
Tiempo de llenado, volumen 50 l hasta
1000 mbar
Tiempo de calibración
Tiempo de arranque
Masas detectables
Tasa de fuga mínima detectable,
modo de aspiración
Flujo de gas mediante el conducto de
aspiración SL200
Flujo de gas mediante el conducto de
aspiración SL3000
Rango de medición
Nivel de presión acústica en standby
Fuente iónica
*) El nivel de presión acústica ponderado A en la ubicación del personal operario
suma menos de 70 dB(A) en todos los usos previstos del aparato. La declaración de
medición de las emisiones de ruido se redactó de acuerdo con la norma harmonizada
DIN EN ISO 3744:2011.
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS
< 5·10
< 1 s
~ 1,4 s
Presión ambiente
> 36 l/s
~ 30 l/s
3
36 m
< 52 s
~ 16 s
< 30 s
< 2 minutos
4
He, H
< 5·10
25 sccm
160 sccm
12 décadas
< 70 dB (A) *)
2 cátodos de iridio de larga duración,
recubiertos de óxido de itrio
UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
-12
mbar l/s
/h
3
, masa 3 (p. ej. H-D,
2
-8
mbar l/s
INFICON
He o H
)
3
