Inficon UL6000 Fab Manual De Instrucciones página 71

INFICON
6.3.4 Activación de los márgenes de vacío
Márgenes de vacío
6.3.5 Modificación del número de revoluciones de la bomba de
6.3.6 Activación o desactivación del modo TMP2
UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
2
Realice el ajuste.
3
Guárdelo
.
Puede activar los márgenes de vacío MASSIVE, GROSS, FINE y ULTRA para sus
mediciones.
Se pueden activar simultáneamente los 4 márgenes. Si están activados varios
márgenes, cambian automáticamente en función de la presión de entrada p1. Así se
puede medir con distintas sensibilidades.
Debe estar activo por lo menos un margen.
ü
Derechos de Operator o Supervisor
1
> Configurar > Medición > Vacío > Márgenes de vacío
2
Active los márgenes de vacío deseados en «Margen de vacío».
3
Guárdelo
.
vacío previo
ü
Derechos de supervisor
1
> Configurar > Medición > Vacío > Bomba de vacío previo
2
Si es necesario, cambie el ajuste del campo «Modo bomba de vacío previo».
ð «Automático» (ajuste de fábrica)
El número de revoluciones de la bomba de vacío previo desciende cuando es
posible.
ð «Fijo»
La bomba de vacío previo funciona con un número de revoluciones fijo.
ü
Derechos de supervisor
1
> Configurar > Medición > Vacío > TMP2
2
Si es necesario, cambie el ajuste del campo «Modo TMP2».
ð Automático (ajuste de fábrica)
La TMP2 arranca automáticamente al evacuar y se detiene al cambiar a
«standby». Este es el ajuste recomendado para un rendimiento máximo.
ð OFF: la TMP2 no arranca.
Funcionamiento | 6
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