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Manual de instrucciones traducido
UL6000 Fab™
UL6000 Fab PLUS™
Prueba de fugas de helio con tecnología de sensor ULTRATEST
550-520, 550-530
Versión del software igual o superior a
1.62 (Operación del dispositivo)
iinc75es1-02-(2207)
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Resumen de contenidos para Inficon UL6000 Fab

  • Página 1 Manual de instrucciones traducido UL6000 Fab™ UL6000 Fab PLUS™ ™ Prueba de fugas de helio con tecnología de sensor ULTRATEST 550-520, 550-530 Versión del software igual o superior a 1.62 (Operación del dispositivo) iinc75es1-02-(2207)
  • Página 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Colonia, Alemania...
  • Página 3 INFICON Índice Índice 1 Acerca de estas instrucciones........................ 8 1.1 Grupos destinatarios .......................... 8 1.2 Advertencias ............................ 8 1.3 Definiciones de los términos ........................ 8 2 Seguridad.............................. 11 2.1 Uso reglamentario.......................... 11 2.2 Obligaciones del operador ........................ 13 2.3 Requisitos de la empresa gestora...................... 13 2.4 Peligros ..............................
  • Página 4 Índice INFICON 5 Instalación.............................. 42 5.1 Emplazar .............................. 42 5.2 Conexión de un accesorio suministrado .................... 46 5.3 Fijar el soporte para el conducto de aspiración SL3000 (accesorio opcional)........ 50 5.4 Conexión de recipientes/objetos de ensayo a la brida de entrada ............ 51 5.5 Conexión a la red eléctrica........................
  • Página 5 INFICON Índice 6.3.3 Ajustar los valores de umbral......................  70 6.3.4 Activación de los márgenes de vacío .................. 71 6.3.5 Modificación del número de revoluciones de la bomba de vacío previo........ 71 6.3.6 Activación o desactivación del modo TMP2 ................ 71 6.3.7 HYDRO•S ...........................
  • Página 6 Índice INFICON 6.8.6 Acceder a información sobre datos energéticos.................  93 6.8.7 Información sobre HYDRO•S......................  93 6.8.8 Información sobre el conducto de aspiración SL3000 .............. 93 6.9 Protocolos ..............................  93 6.9.1 Acceder al protocolo de errores y advertencia ................ 93 6.9.2 Acceder al protocolo de calibración ....................  93 6.9.3 Acceder al protocolo de resultados.....................
  • Página 7 INFICON Índice 9 Puesta fuera de servicio .......................... 135 9.1 Eliminación del aparato........................ 135 9.2 Envío del aparato para el mantenimiento, la reparación o la eliminación.......... 135 10 Accesorios e interfases .......................... 137 10.1 Accesorios y recambios ........................ 137 10.2 Módulo I/O............................ 141 10.2.1 Establecer la conexión entre el aparato y el módulo I/O ............
  • Página 8 1 | Acerca de estas instrucciones INFICON 1 Acerca de estas instrucciones Este documento es válido para la versión de software que se indica en la página del título. En el documento eventualmente se pueden mencionar nombres de productos que se indican únicamente para fines de identificación y son propiedad del titular del...
  • Página 9 INFICON Acerca de estas instrucciones | 1 Ajuste automático / ajuste de la masa Esta función ajusta el espectrómetro de masas de forma que se alcanza una visualización de las tasas de fugas máximas. Para detectar una corriente iónica máxima con el detector de iones, el ordenador de control adapta la tensión a la aceleración iónica dentro del correspondiente intervalo de masa seleccionado.
  • Página 10 1 | Acerca de estas instrucciones INFICON MASSIVE Tras seleccionar el margen de vacío "MASSIVE", ya se pueden medir fugas grandes a partir de la presión atmosférica. ULTRA ULTRA denomina la conexión a la bomba turbomolecular para el rango de medición con la máxima sensibilidad con presiones de entrada bajas.
  • Página 11 • Superación de las condiciones ambientales admisibles para fugas calibradas • Uso en áreas radioactivas • Modificación del aparato con accesorios adicionales que modifican la estabilidad. Están excluidos los accesorios Inficon. • Uso de accesorios o piezas de repuesto no especificados en estas instrucciones de servicio •...
  • Página 12 2 | Seguridad INFICON • Llenado repentino de los sistemas de vacío • Uso del aparato como carro de transporte para objetos o personas • Uso del soporte de botella disponible opcionalmente como medio de transporte para objetos o personas •...
  • Página 13 INFICON Seguridad | 2 2.2 Obligaciones del operador • Leer, tener en cuenta y seguir la información en estas instrucciones de uso y en las instrucciones de trabajo creadas por el propietario. Esto se refiere en particular a las instrucciones de seguridad y advertencia.
  • Página 14 2 | Seguridad INFICON 2.4 Peligros El aparato se ha fabricado conforme a los últimos adelantos técnicos y las reglas técnicas de seguridad reconocidas. No obstante, en caso de uso no conforme a lo previsto existe la posibilidad de riesgos para la vida y la integridad física del usuario o de terceros o de daños en el aparato y otros daños materiales.
  • Página 15 Volumen de Artículo Cantidad suministro UL6000 Fab o UL6000 Fab PLUS Cable de conexión a la red (específico para cada país) Adaptador de manguera de escape brida KF DN25 Descarga de tracción del cable de alimentación (abrazadera de tubo y de soporte)
  • Página 16 3 | Volumen de suministro, transporte, almacenamiento INFICON ADVERTENCIA Peligro de lesiones por transporte inadecuado de una botella de gas en el detector de fugas portátil ► A la hora de montar el soporte de botella en el detector de fugas, siga el orden de los pasos tal como se describen en las instrucciones de montaje que se suministran por separado.
  • Página 17 INFICON Volumen de suministro, transporte, almacenamiento | 3 ADVERTENCIA Peligro de lesiones causadas por la caída o el vuelco del aparato Si el transporte no se realiza de forma correcta, el aparato desembalado se puede caer o volcar y causar lesiones graves.
  • Página 18 3 | Volumen de suministro, transporte, almacenamiento INFICON INDICACIÓN Daños en el detector de fugas causados por el equipo transportador En la parte inferior del aparato hay clips de montaje para los ventiladores. Los equipos transportadores, como las carretillas, pueden dañar estos clips.
  • Página 19 INFICON Descripción | 4 4 Descripción 4.1 Función El aparato es un detector de fugas para reconocer y medir fugas en objetos de ensayo. El aparato es apropiado para la prueba de fuga tras el método de vacío y el método de detección de fugas por aspiración.
  • Página 20 4 | Descripción INFICON Consulte también 2 Calibración externa [} 81] 4.2.2 Modo de servicio "Aspiración» Para poder inspeccionar objetos de ensayo con sobrepresión mediante una sonda de aspiración, puede conectar el conducto de aspiración SL200 o el conducto de aspiración SL3000.
  • Página 21 INFICON Descripción | 4 Finalizar standby mediante Sí la tecla en el mango de aspiración Confirmar calibración Sí mediante la tecla en el mango de aspiración UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207) 21 / 164...
  • Página 22 4 | Descripción INFICON 4.3 Estructura del aparato 4.3.1 Aparato completo Fig. 1: Vista desde delante 22 / 164 UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
  • Página 23 INFICON Descripción | 4 Fig. 2: Vista desde delante con la tapa abierta. UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207) 23 / 164...
  • Página 24 4 | Descripción INFICON Fig. 3: Vista desde detrás. La figura muestra los accesorios opcionales y suministrados. 24 / 164 UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
  • Página 25 INFICON Descripción | 4 4.3.2 Unidad de manejo Fig. 4: Unidad de manejo - Vista desde delante La unidad de manejo está compuesta por una pantalla táctil y un cuadro de mando con las teclas START, STOP y ZERO (supresión del límite inferior) en la carcasa.
  • Página 26 4 | Descripción INFICON 1 Interfaz HDMI • Para conectar a la interfaz HDMI de un monitor táctil, longitud de cable máx. 3 m. Consulte también «Utilizar un monitor externo [} 98]». 2 / 3 Interfaces de USB 2.0 • Para conectar el cable USB de un monitor táctil, longitud de cable máx.
  • Página 27 INFICON Descripción | 4 4.3.2.2 Tecla STOP • Para detener las mediciones. • Se puede manejar en la pantalla táctil o en el cuadro de mando. • Mediante la tecla STOP en el cuadro de mando no solo puede detener las mediciones, sino también llenar.
  • Página 28 4 | Descripción INFICON Límites de visualización según los ajustes de fábrica: 1×10 mbar l/s en MASSIVE 1×10 mbar l/s en GROSS 1×10 mbar l/s en FINE 1×10 mbar l/s en ULTRA Para volver a desconectar la función ZERO pulse la tecla ZERO aprox. 2 segundos.
  • Página 29 INFICON Descripción | 4 LED de estado Significado Rojo parpadeante Sin conexión al panel de mando Azul parpadeante Arranque Azul Standby Verde parpadeante Evacuar (bombear) Verde parpadeante Calibración Verde parpadeante Se inicia el software (inmediatamente después de conectar el aparato) Verde parpadeante El cargador de inicialización espera a la...
  • Página 30 4 | Descripción INFICON Página anterior Valor de medición Permiso Tasa de fuga Página siguiente Tecla de navegación WLAN Nombre de usuario Máx. Ajustes Tecla de navegación Tasa de fuga Funcionamiento Supervisor Valor de medición Presión de entrada ZERO Valores de umbral ZERO Conmutación:...
  • Página 31 INFICON Descripción | 4 Abrir la ayuda para la función actual Confirmar una entrada o selección Cargar Guardar Editar Copiar Borrar WLAN Página siguiente Página anterior Tab. 2: Teclas de función Otros símbolos Permiso «User» Permiso «Operator» Permiso «Supervisor» Ver hora o ajustar hora Véase también «Vista general de los grupos de autorización [} 56]».
  • Página 32 4 | Descripción INFICON INDICACIÓN Si utiliza un filtro, por ejemplo, un anillo de centraje con malla de alambre para evitar que se acumule polvo o suciedad en la entrada del detector de fugas: ► Tenga en cuenta que en los filtros puede formarse hielo debido a la condensación del vapor de agua.
  • Página 33 INFICON Descripción | 4 decir nitrógeno, aire fresco, entre otros) mediante la conexión de gas de barrido. La presión en esta conducción de gas no debe superar la presión atmosférica en más de 100 mbar. 4.3.3.4 Conexión de llenado Normalmente los objetos de ensayo se llenan con aire ambiente tras la prueba. En caso necesario, puede llenar los objetos de ensayo con otro gas (p.
  • Página 34 Conexión eléctrica del conducto de aspiración SL200 Conexión para el módulo de bus BM1000 o el módulo E/S IO1000, longitud de cable máxima* del cable de datos INFICON 30 m REMOTE CONTROL Para la conexión del mando a distancia RC1000 mediante cable con una longitud máx.*...
  • Página 35 Descripción | 4 4.3.5 Identificativos en el aparato El aparato no se puede eliminar con la basura doméstica. 4.4 Datos técnicos Datos mecánicos UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Dimensiones (L x An x Al) 1050 mm × 472 mm × 1040 mm Masa aprox. 144 kg...
  • Página 36 4 | Descripción INFICON Datos físicos UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Tasa de fuga mínima detectable, modo < 5·10 mbar l/s de vacío Tiempo de reacción, con brida ciega < 1 s Tiempo de reacción, volumen 50 l ~ 1,4 s Presión de entrada máx. (margen de Presión ambiente...
  • Página 37 INFICON Descripción | 4 Condiciones ambientales UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Altitud máx. sobre el nivel del mar 2000 m Máxima humedad del aire relativa 80 % a 30 °C, disminuye linealmente hasta el 50 % a 40 °C Temperatura de almacenamiento 0 °C … +50 °C Temperatura ambiente **) +10 °C …...
  • Página 38 4 | Descripción INFICON Salida digital Pin 4 (IO1000) Setpoint 2 (invertido) Salida digital Pin 5 (IO1000) Measuring Salida digital Pin 6 (IO1000) ZERO active Salida digital Pin 7 (IO1000) Ready for operation Salida digital Pin 8 (IO1000) Calibration active...
  • Página 39 INFICON Descripción | 4 Unidad de tasa de fuga en modo de vacío mbar l/s (visualización) Unidad de tasa de fuga, modo de aspiración mbar l/s (visualización) Conducto de aspiración, LED configuración Parpadeo de alarma (solo SL3000) Conducto de aspiración, luminosidad LED (solo SL3000) Conducto de aspiración zumbador (solo...
  • Página 40 4 | Descripción INFICON Fuga calibrada ext. aspiración masa 3 1×10 mbar l/s Fuga calibrada ext. aspiración helio 1×10 mbar l/s Manejo local Autorizar Estilo del reloj Analógico Mostrar límite inferior en espera Elevar límite inferior de tasas de fuga Volumen mínimo...
  • Página 41 INFICON Descripción | 4 Formato de exportación CSV en Activo Exportar metadatos WLAN Nombre (SSID) UL3xxx Clave de red INFICONUL Activar Método I•RISE (depende del dispositivo) Décadas Escala automática Eje del tiempo 240 s Límite inferior de diagrama 1E-5 Volumen del objeto de prueba 10 L Unidad I•RISE...
  • Página 42 5 | Instalación INFICON 5 Instalación 5.1 Emplazar PELIGRO Peligro por descarga eléctrica Si el detector de fugas se desplaza provocando así la tensión del cable de alimentación, el cable de alimentación conectado a ambos lados puede dañarse o la toma de pared puede arrancarse.
  • Página 43 INFICON Instalación | 5 ADVERTENCIA Peligro de incendio por sobrecarga, cortocircuito y sobrecalentamiento ► Observe las condiciones ambientales admisibles. ► Procure que haya ventilación suficiente en particular en las aberturas de ventilación: Espacio libre delante, detrás y en los laterales de al menos 10 cm.
  • Página 44 5 | Instalación INFICON PRECAUCIÓN Peligro de aplastamiento para las extremidades Se pueden arrollar y aplastar los pies. Puede producirse un atrapamiento y aplastamiento de los dedos. ► Mantenga los pies y las manos alejados de las ruedas. ► No suelte los frenos de rueda con los dedos, sino con el pie o con una herramienta.
  • Página 45 INFICON Instalación | 5 Evitar errores de medición por fugas en las fuentes de helio en el entorno del aparato Recomendamos que inspeccione todas las fuentes de helio grandes en busca de fugas grandes en un área de 10 m alrededor del aparato a intervalos regulares. Para ello, use un conducto de aspiración.
  • Página 46 5 | Instalación INFICON 5.2 Conexión de un accesorio suministrado Montar el «gancho para el cable de alimentación y el conducto de aspiración» Volumen de suministro (número): Ganchos (4x), tornillos M6 x 12 (4x), arandelas de seguridad S6 (4x) Herramienta (suministrada): Llave T30 (Torx) •...
  • Página 47 INFICON Instalación | 5 3 Arandela de seguridad S6 Fig. 8: Gancho en el aparato o en el soporte de botella opcional UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207) 47 / 164...
  • Página 48 5 | Instalación INFICON Montar la «descarga de tracción del cable de alimentación» Volumen de suministro (número): Descarga de tracción (1x), Tornillo M6 x 12 (1x), Arandela de seguridad S6 (1x) Herramienta (suministrada): Llave T30 (Torx) • Para evitar el peligro de tropiezo, monte la «descarga de tracción del cable de alimentación»...
  • Página 49 INFICON Instalación | 5 Montar el adaptador de manguera de la salida de escape • Para evacuar los gases a través de una manguera de salida de escape DN25, monte el adaptador de manguera de la salida de escape brida KF DN25 del volumen de suministro en el orificio de salida de escape situado en la parte trasera del aparato.
  • Página 50 5 | Instalación INFICON 5.3 Fijar el soporte para el conducto de aspiración SL3000 (accesorio opcional) ADVERTENCIA Peligro de lesiones causadas por la punta de aspiración En caso de tropezones, p. ej. con los cables, la punta de aspiración puede ocasionar lesiones graves, especialmente si entra en contacto con los ojos.
  • Página 51 INFICON Instalación | 5 5.4 Conexión de recipientes/objetos de ensayo a la brida de entrada ü Dispone de 4 abrazaderas ISO K y una llave de ajuste con un ancho de llave de 17 ► Apriete en cruz las tuercas de las 4 abrazaderas en tres niveles crecientes de par de giro.
  • Página 52 "Hospital Grade" suministrado. ► Si el cable está dañado, deberá ser reemplazado por una pieza de repuesto original "Hospital Grade" (INFICON n/p 200000587). ► Tenga en cuenta que los cables de red "Hospital Grade" están identificados con la misma inscripción y con un punto verde como los enchufes NEMA 5-15.
  • Página 53 INFICON Instalación | 5 No conecte el aparato con una temperatura ambiente inferior a 10 °C. ü Hay disponible una brida ciega adecuada (si es que no está ya montada en la brida de entrada). ü Hay una fuga calibrada de helio disponible (opcional).
  • Página 54 5 | Instalación INFICON ð La entrada se evacúa y la tasa de fuga del objeto de ensayo se mide y se muestra. Pulse la tecla STOP para cancelar la medición. ð El detector de fugas cambia al modo de disponibilidad (standby).
  • Página 55 INFICON Funcionamiento | 6 6 Funcionamiento 6.1 Encendido INDICACIÓN Daños en la bomba de respaldo debido a la fría temperatura ambiente Si la temperatura ambiente es inferior a 10 °C, el dispositivo mostrará una advertencia en la pantalla después de encenderse. Es posible poner en marcha la unidad de todos modos confirmando este mensaje.
  • Página 56 6 | Funcionamiento INFICON 6.2 Ajustes básicos 6.2.1 Ajustar el idioma de la interfaz de usuario Los idiomas se configuran en los ajustes de usuario, véase «Seleccionar, editar, crear el perfil de usuario [} 57]». 6.2.2 Ajustar fecha, hora y zona horaria ü...
  • Página 57 INFICON Funcionamiento | 6 6.2.3.2 Seleccionar, editar, crear el perfil de usuario ü Derechos de Operator o Supervisor > Cuentas de usuario > Administrar cuentas de usuario ð Los usuarios ya creados y los grupos asignados se muestran en forma de lista.
  • Página 58 6 | Funcionamiento INFICON Para asignar al usuario las autorizaciones necesarias, seleccione un grupo. Mediante seleccione entre los grupos User, Operator y Supervisor. Véase «Vista general de los grupos de autorización [} 56]». En el campo «Idioma», mediante y , asigne un idioma al usuario.
  • Página 59 INFICON Funcionamiento | 6 6.2.5 Conectar el inicio de sesión automático Puede determinar si un usuario de su elección inicia sesión automáticamente sin la ventana de inicio de sesión tras encender el aparato. ü Derechos de supervisor ü El usuario deseado ya se ha creado. Véase «Seleccionar, editar, crear el perfil de usuario [} 57]».
  • Página 60 6 | Funcionamiento INFICON 6.2.6.1 Modificar la representación del diagrama de líneas Supervisor ULTRA Fig. 10: Representación como diagrama de líneas ü Derechos de Operator o Supervisor > Pantalla > Diagrama de líneas En el campo «Escala», seleccione entre «Lineal» y «Logarítmico».
  • Página 61 INFICON Funcionamiento | 6 6.2.6.2 Modificar la representación del indicador de barras Fig. 11: Representación como indicador de barras ü Derechos de Operator o Supervisor > Pantalla > Indicador de barras En el campo «Escala», seleccione entre «Lineal» y «Logarítmico». Seleccione entre las «Décadas» representables.
  • Página 62 6 | Funcionamiento INFICON 6.2.6.3 Modificar la representación del diagrama circular Fig. 12: Representación como diagrama circular ü Derechos de Operator o Supervisor > Pantalla > Diagrama circular Si desea configurar el número de décadas representadas en el diagrama circular, seleccione el número de décadas representadas en «Décadas».
  • Página 63 INFICON Funcionamiento | 6 ð El límite inferior interno es creado por el gas residual que todavía no se ha expulsado mediante bombeo. Los sistemas muy limpios presentan un límite inferior en el rango de 1x10 mbar l/s. En condiciones normales existe un límite inferior de 1x10...
  • Página 64 6 | Funcionamiento INFICON ü Derechos de Operator o Supervisor > Audio Para modificar el volumen tanto para la alarma acústica como para los tonos de aviso, seleccione el «Volumen» deseado. No se puede introducir un valor inferior al valor de ajuste para «Volumen mínimo» en el campo siguiente.
  • Página 65 INFICON Funcionamiento | 6 6.2.9 Modificar los ajustes de protección Puede proteger el aparato ante contaminación de helio en caso de fuga grande y ante la penetración de partículas. Además, puede modificar el tiempo de evacuación máximo. ü Derechos de supervisor >...
  • Página 66 6 | Funcionamiento INFICON Indicación: El siguiente ajuste no tiene aplicación si el margen de vacío «Massive» está conectado. Véase también «Activación de los márgenes de vacío [} 71]». Para modificar el tiempo de evacuación máximo hasta el modo de medición, introduzca el periodo de tiempo deseado en segundos en «Tiempo de...
  • Página 67 INFICON Funcionamiento | 6 6.2.11 Conectar o desconectar las solicitudes de mantenimiento Sirve para conectar o desconectar advertencias cuando se ha superado el tiempo para el mantenimiento correspondiente. Allí también se muestra el tiempo hasta el siguiente mantenimiento. ü Derechos de supervisor >...
  • Página 68 6 | Funcionamiento INFICON 6.2.13 Ampliar o limitar las posibilidades de manejo Siempre puede manejar el aparato mediante la pantalla táctil. Además, puede modificar el ajuste de fábrica que permite un manejo adicional mediante las teclas en el cuadro de mando y mediante el mando a distancia.
  • Página 69 INFICON Funcionamiento | 6 6.2.15 Uso de favoritos A fin de reducir el tiempo de búsqueda de menús para funciones que se utilizan con frecuencia, en la ventana «Favoritos» puede crear teclas de menú de libre asignación. Acceso a Favoritos: ►...
  • Página 70 6 | Funcionamiento INFICON 6.3 Ajustes para las mediciones 6.3.1 Seleccionar el modo de servicio ü Derechos de Operator o Supervisor > Modo de servicio Elija entre «Vacío», «Aspiración / SL200» y «Aspiración / SL3000». Guárdelo 6.3.2 Seleccionar el gas PELIGRO Peligro de una explosión de hidrógeno...
  • Página 71 INFICON Funcionamiento | 6 Realice el ajuste. Guárdelo 6.3.4 Activación de los márgenes de vacío Márgenes de vacío Puede activar los márgenes de vacío MASSIVE, GROSS, FINE y ULTRA para sus mediciones. Se pueden activar simultáneamente los 4 márgenes. Si están activados varios márgenes, cambian automáticamente en función de la presión de entrada p1.
  • Página 72 6 | Funcionamiento INFICON 6.3.7 HYDRO•S Si inspecciona objetos de ensayo grandes en el modo de vacío, puede reducir el tiempo hasta la disposición para la medición mediante el uso de HYDRO•S, véase también Modo de servicio «vacío» [} 19]. 6.3.7.1 Configuración de HYDRO•S La disponibilidad de HYDRO•S depende, además de los ajustes básicos descritos...
  • Página 73 INFICON Funcionamiento | 6 ü El detector de fugas está por lo menos 5 s en el rango de medición actual. ► HYDRO•S se conecta automáticamente. ð HYDRO•S se conecta solo una vez en un ciclo de medición (Stop/Start). ð Siempre puede conectar y desconectar HYDRO•S mediante , incluso si está...
  • Página 74 6 | Funcionamiento INFICON Guárdelo Consulte también 2 Calibración externa [} 81] 6.3.10 Modificar los límites de presión Límites de presión para el modo de vacío. Los límites de presión se refieren al sensor de presión «p1», la presión de entrada de la bomba turbomolecular 1.
  • Página 75 INFICON Funcionamiento | 6 6.3.11 Ajustar y usar la función ZERO ¿Por qué debo usar Para poder medir fugas pequeñas más claramente, se debe usar la función ZERO. ZERO? En cada prueba de fuga hay una «señal de límite inferior» (véase «Definiciones de los términos [} 8]»), que interfiere en la búsqueda o la medición de fugas.
  • Página 76 6 | Funcionamiento INFICON Modo de servicio Si pulsa la tecla ZERO, el valor de tasa de fuga mostrado actualmente se establece «Vacío», «HYDRO•S» en el límite de visualización inferior. activado, ajuste Indicación: La tecla ZERO no se debe pulsar en el caso de un límite inferior que «I•ZERO 2.0»...
  • Página 77 INFICON Funcionamiento | 6 ADVERTENCIA Peligro de asfixia por nitrógeno o argón como gas de barrido El uso de nitrógeno o argón como gas de barrido puede provocar asfixia a altas concentraciones en el aire ambiente. ► Adopte medidas para evitar altas concentraciones de estos gases en espacios cerrados.
  • Página 78 6 | Funcionamiento INFICON La abreviatura I•CAL significa «Intelligent Calculation Algorithm for Leakrates». Esto asegura que las señales se comunican en intervalos de tiempo óptimos y que se basan en el margen de tasa de fuga respectivo. I•CAL elimina además los picos de interferencia que hay en relación con las señales de tasa de fuga y proporciona...
  • Página 79 INFICON Funcionamiento | 6 (atenuado) a opacidad normal. Para que la indicación del límite inferior sea visible, active la función correspondiente, véase «Modificar los ajustes generales de visualización [} 62]». ð Margen de entrada Adicionalmente a la sustracción del límite inferior interno, en cada medición también se resta el límite inferior de la zona de entrada pulsando START.
  • Página 80 6 | Funcionamiento INFICON Seleccione «Conducto de aspiración, luminosidad LED». ð Se puede seleccionar Off/1 … 6. Ajuste el sonido de zumbido de la aspiración mediante «Conducto de aspiración zumbador». ð Se puede seleccionar "Off» o «Sonido en el valor de umbral 1».
  • Página 81 INFICON Funcionamiento | 6 ► Si se usa hidrógeno o helio-3 ( He) como gas de prueba, no es posible una calibración interna. Para ello, use una fuga calibrada externa. ► Los modos de servicio Vacío y Aspiración se deben calibrar por separado en el caso de una calibración externa.
  • Página 82 6 | Funcionamiento INFICON Pulse Seleccione «Comprobación». ð Se inicia la comprobación y se calcula de nuevo el factor de calibración. ð Se muestra el factor de calibración nuevamente calculado. ð Si el factor de calibración nuevamente calculado difiere considerablemente del factor de calibración memorizado, se mostrará...
  • Página 83 INFICON Funcionamiento | 6 6.4 Medir ü La brida de entrada en el lado superior del aparato está preparada para la medición pendiente. Ahí, por regla general, está conectado su objeto de ensayo o el conducto de aspiración SL200. Véase también «Conexión de recipientes/objetos de ensayo a la brida de entrada [} 51]».
  • Página 84 Posteriormente se mide un aumento de presión en el recipiente, por lo general en mbar/min o torr/min. En el caso de la solución de INFICON I•RISE el aumento de presión se mide en un volumen dentro del detector de fugas y, por tanto, fuera del recipiente.
  • Página 85 INFICON Funcionamiento | 6 ð Si el detector de fugas no cambia automáticamente al rango de medición ULTRA, compruebe si ha sido desactivado este rango de medición, véase “Activación de los márgenes de vacío [} 71]“ (derechos de Operator o Supervisor).
  • Página 86 6 | Funcionamiento INFICON ð Puede acceder directamente a los I•RISE ajustes haciendo clic en la unidad o en la indicación de volumen. ð Al hacer clic en la marca del valor de umbral accederá directamente a los ajustes del I•RISE valor de umbral.
  • Página 87 INFICON Funcionamiento | 6 ü Como gas está seleccionado «Helio» He. Véase también «Seleccionar el gas [} 70]». ü En la «Conexión gas de barrido» no hay ninguna manguera larga conectada. Por ahí accede el aire al aparato, cuya concentración de helio se mide. Véase también «Conexiones para accesorios y señales de control [} 34]».
  • Página 88 6 | Funcionamiento INFICON ð Esta opción está desactivada por defecto. Para iniciar o detener un registro sin activar esta opción, pulse en la pantalla de medición. En «Formato de exportación» elija entre «CSV en», «CSV de» y «JSON». ð Por defecto es «CSV en».
  • Página 89 INFICON Funcionamiento | 6 ð También puede editar «Texto libre 1» y «Texto libre 2» desde la ventana «Ciclos de medición». Para ello, marque una entrada pulsando y presionando Para cambiar el período mostrado en la vista detallada del gráfico, deslice hacia la derecha o la izquierda en el display.
  • Página 90 6 | Funcionamiento INFICON elegir el formato del archivo y el volumen de datos (con o sin metadatos). Si se accede a través de LAN, utilice la dirección IP que encontrará en > Aparato > Red. Si se accede a través de WLAN, utilice la URL que encontrará en >...
  • Página 91 INFICON Funcionamiento | 6 6.7.4 Base de datos de medición: Información El tamaño máximo de la base de datos se corresponde aproximadamente al número de valores de medición que se crean con un registro constante durante un periodo de tiempo de un mes. Esto a su vez se corresponde con un tamaño de base de datos de aprox.
  • Página 92 6 | Funcionamiento INFICON 6.8.2 Acceder a información sobre los valores de calibración actuales ► > Calibración 6.8.3 Acceder a información sobre los accesorios conectados ► > Accesorios > Módulo I/O ð Si hay un módulo I/O conectado, busque las particularidades al respecto.
  • Página 93 INFICON Funcionamiento | 6 6.8.6 Acceder a información sobre datos energéticos Se muestran diversas tensiones de alimentación y rendimientos eléctricos medidos. ► > Energía > Tensión (1) ð En esta ventana se muestra la primera parte de la información sobre la tensión.
  • Página 94 6 | Funcionamiento INFICON 6.9.3 Acceder al protocolo de resultados Para mostrar resultados de prueba en el modo de servicio «Vacío» (Q Si hay más de 50 entradas, se sobrescriben respectivamente las entradas más antiguas. ► > Protocolos > Registro de resultados 6.9.4 Acceder al protocolo de mantenimiento...
  • Página 95 INFICON Funcionamiento | 6 Para crear un nuevo juego de parámetros, pulse ð En la ventana siguiente se puede introducir una descripción de su elección. El prefijo «parameter set» y la fecha de guardado se usan de forma estándar para el nombre del archivo. Guarde mediante .
  • Página 96 6 | Funcionamiento INFICON Para importar todos los juegos de parámetros desde una memoria USB al aparato, pulse debajo de la lista en ð Mediante la importación, se copian todos los archivos de juegos de parámetros de la memoria USB en el aparato, siempre que allí no se supere el número 10.
  • Página 97 INFICON Funcionamiento | 6 INDICACIÓN Pérdida de datos por la cancelación de la conexión ► No apague el aparato ni retire la memoria USB mientras el software se esté actualizando. ü Derechos de supervisor Copie el archivo en el directorio principal de una memoria USB formateada con FAT32.
  • Página 98 6 | Funcionamiento INFICON ü Ha solicitado una función complementaria al fabricante indicando el número de serie de su detector de fugas. ü Ha recibido un código de activación del fabricante. ü Derechos de supervisor > Actualización > Habilitar función Introduzca su código de activación en el campo «Código de activación».
  • Página 99 INFICON Funcionamiento | 6 6.12.1 Cambio al monitor interno INDICACIÓN Desconexión del monitor externo ► Si el aparato está encendido, antes de desconectar las conexiones de un monitor externo, cambie al monitor interno desde el menú. Con el aparato encendido, puede cambiar al monitor interno en cualquier momento.
  • Página 100 6 | Funcionamiento INFICON 6.14 Restablecer a los ajustes de fábrica Puede restablecer el aparato a los ajustes de fábrica. Pérdida de ajustes y datos de medición Tras un restablecimiento a los ajustes de fábrica, en la memoria del aparato solo están los ajustes de fábrica del fabricante.
  • Página 101 INFICON Funcionamiento | 6 6.16 Apagar el aparato INDICACIÓN Las bombas turbomoleculares pueden dañarse Las bombas turbomoleculares en funcionamiento pueden dañarse debido a movimientos bruscos o cuerpos extraños. ► Antes de apagar el aparato, ventile la entrada para asegurarse de que la TMP2 (bomba amplificadora) se ralentiza.
  • Página 102 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON 7 Mensajes de advertencia y de error Durante el funcionamiento, la pantalla muestra información que ayuda a manejar el aparato. Además de los valores medidos, pueden verse los estados del aparato en cada momento, así...
  • Página 103 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 7.1 Mensajes de advertencia y error UL3000/ UL6000 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W102 Periodo de inactividad de la La EEPROM de la • Acuda al atención al cliente comunicación con EEPROM...
  • Página 104 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W110 ¡Reloj de tiempo real No se proporciona el • Introduzca la fecha y hora correcta reseteado! Introduzca la reloj en tiempo real • Compruebe que el aviso de la conexión...
  • Página 105 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W122 El módulo de bus no Conexión con el • Revise la conexión al módulo de bus responde módulo de bus • Cambie el cable de conexión del módulo...
  • Página 106 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W151 No hay comunicación con el Se lleva a cabo una • Confirme el mensaje de advertencia panel de mando actualización de • Compruebe que el aviso de la conexión...
  • Página 107 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W202 Tensión U24_MSB Interferencia de la • Acuda al atención al cliente demasiado alta fuente de alimentación W203 Tensión de la válvula 24V Interferencia de una •...
  • Página 108 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W212 Tensión de alimentación El conducto de • Utilice otro conducto de aspiración si es para el conducto de aspiración está posible aspiración 5V fuera del averiado •...
  • Página 109 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W240 Tensión +15 V fuera del Cortocircuito del • Acuda al atención al cliente margen preamplificador placa VI o MSB • Acuda al atención al cliente...
  • Página 110 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W302 Tensión del supresor Cortocircuito del • Acuda al atención al cliente demasiado baja supresor o preamplificador placa VI o MSB • Acuda al atención al cliente...
  • Página 111 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error E340 Error de emisión Presión demasiado alto • Acuda al atención al cliente con los cátodos alterados W342 Cátodos no conectados Ambos cátodos • Acuda al atención al cliente defectuosos durante el autodiagnóstico...
  • Página 112 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W374 Límite inferior en standby Espectrómetro de • Compruebe la estanqueidad de la fuera del margen masas contaminado conexión entre el detector de fugas y el objeto de ensayo •...
  • Página 113 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error E410 Temperatura TMP La temperatura • Desconecte el aparato y déjelo enfriar demasiado alta ambiente es • Reduzca la temperatura del entorno en el demasiado alta.
  • Página 114 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON Tipo Notificación Posible causa de Remediar error E450 Temperatura del convertidor La temperatura • Reduzca la temperatura del entorno en el TMP2 demasiado alta ambiente es que se encuentra el aparato demasiado alta.
  • Página 115 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error E454 Fallo de la bomba de vacío La bomba de vacío • Asegúrese de utilizar el cable de red previo: Subtensión previo del detector de...
  • Página 116 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W459 El arranque de la bomba de Conexión de los gases • Asegúrese de que la manguera de gases vacío previo dura de escape cerrada de escape esté...
  • Página 117 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error E465 Sentido incorrecto del flujo Caudal de gas en el • Elimine la sobrepresión en la conexión de en la bomba de vacío previo...
  • Página 118 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W509 Sin comunicación con el Sensor de presión no • Acuda al atención al cliente sensor de presión p5 conectado o cable defectuosa placa VI o MSB •...
  • Página 119 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W542 Caudal a través de los Capilar roto o flojo • Utilice otro conducto de aspiración si es capilares demasiado alto posible • Acuda al atención al cliente La presión límite...
  • Página 120 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W618 La tasa de fuga de I•BOOST Aún no se ha • Repita el procedimiento para determinar ha caído más rápido de lo determinado la la "constante de tiempo I•BOOST"...
  • Página 121 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W630 Solicitud de calibrado El modo de servicio o • Realice una calibración las medidas han cambiado HYDRO•S se ha • Realice una calibración activado (si la función...
  • Página 122 7 | Mensajes de advertencia y de error INFICON Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W702 Temperatura del La temperatura • Reduzca la temperatura del entorno en el preamplificador demasiado ambiente es que se encuentra el aparato alta demasiado alta.
  • Página 123 INFICON Mensajes de advertencia y de error | 7 Tipo Notificación Posible causa de Remediar error W904 Mantenimiento: Filtro de la Intervalo de • Acuda al atención al cliente punta de aspiración mantenimiento del filtro de la punta de aspiración...
  • Página 124 8 | Limpieza y mantenimiento INFICON 8 Limpieza y mantenimiento ¡Todos los trabajos de limpieza y mantenimiento descritos aquí solo se pueden realizar sin abrir el aparato! PELIGRO Peligro de muerte por descarga eléctrica En el interior del aparato existen altas tensiones. En caso de contacto con elementos bajo tensión eléctrica, existe peligro de muerte.
  • Página 125 INFICON Limpieza y mantenimiento | 8 Saque el filtro de aire usado de la rejilla de plástico e introduzca uno nuevo. Coloque de nuevo la rejilla de plástico con el nuevo filtro de aire. 8.3 Cambio de la esterilla de filtro en el lado inferior...
  • Página 126 8 | Limpieza y mantenimiento INFICON Afloje los tornillos que fijan la esterilla de filtro a la chapa. Sustituya la esterilla de filtro. Atornille la nueva esterilla de filtro, introduzca de nuevo la chapa y apriete el tornillo de cabeza moleteada.
  • Página 127 INFICON Limpieza y mantenimiento | 8 1 Filtro capilar (plástico; estándar) 4 Tornillos de cabeza ranurada en cruz 2 Arandelas de fieltro 5 Filtro sinterizado 3 Filtro capilar (metal con junta; 6 Junta opcional) Una obstrucción de la punta de aspiración puede deberse a las siguientes causas: Filtro capital obstruido ->...
  • Página 128 8 | Limpieza y mantenimiento INFICON Fig. 16: Filtro muy sucio Vuelva a atornillar la punta de aspiración. ð El conducto de aspiración vuelve a estar listo para ser utilizado. Si tuviera activada la indicación de solicitud de mantenimiento, ajuste el intervalo de mantenimiento al nuevo periodo deseado.
  • Página 129 INFICON Limpieza y mantenimiento | 8 Desenrosque el filtro capilar o la punta de protección contra el agua. Asegúrese de que la junta cónica no se salga. Extraiga los trozos de fieltro usados y la rejilla metálica empujándolos desde la parte trasera.
  • Página 130 8 | Limpieza y mantenimiento INFICON Fig. 18: Filtro sinterizado del mango de aspiración Revise el filtro para ver si está sucio. Coloque un nuevo filtro sinterizado con junta tórica en el pie de la punta de filtrado. Vuelva a atornillar la punta de aspiración.
  • Página 131 INFICON Limpieza y mantenimiento | 8 ADVERTENCIA Peligro de lesiones por fijación incorrecta de una botella de gas al detector de fugas móvil ► A la hora de montar el soporte de botella en el detector de fugas, siga el orden de los pasos tal como se describen en las instrucciones de montaje que se suministran por separado.
  • Página 132 Recomendamos hacer el mantenimiento del aparato cada 4000 horas o bien anualmente. Puede enviar su aparato a INFICON para que allí lo sometan a mantenimiento o lo reparen. Para otras particularidades, véase «Envío del aparato para el mantenimiento, la reparación o la eliminación [} 135]».
  • Página 133 Leyenda del plan de • I Cliente o nivel superior mantenimiento • II Cliente con formación o nivel superior • III Técnico de mantenimiento de INFICON • X Trabajos de mantenimiento según las horas de servicio o la duración UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207) 133 / 164...
  • Página 134 8 | Limpieza y mantenimiento INFICON • X Trabajos de mantenimiento según las horas de servicio, no según la duración • X Trabajos de mantenimiento según la duración, no según las horas de servicio • X En función de las influencias ambientales, las condiciones de uso, la suciedad y el proceso de aplicación...
  • Página 135 INFICON Puesta fuera de servicio | 9 9 Puesta fuera de servicio 9.1 Eliminación del aparato El aparato puede desecharse por parte de la empresa gestora o bien puede enviarse al fabricante. El aparato está compuesto por materiales que pueden ser reutilizados.
  • Página 136 9 | Puesta fuera de servicio INFICON 136 / 164 UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
  • Página 137 INFICON Accesorios e interfases | 10 10 Accesorios e interfases 10.1 Accesorios y recambios También se pueden pedir las piezas especificadas a continuación: Módulo de bus BM1000 PROFIBUS 560-315 BM1000 PROFINET IO 560-316 BM1000 DeviceNet 560-317 BM1000 EtherNet/IP 560-318 Módulo I/O Módulo IO1000...
  • Página 138 10 | Accesorios e interfases INFICON Punta de aspiración, rígida, 500 mm, 45° (ST 500) 12272 Otros accesorios para el SL3000 Fieltro de filtro estándar SL3xx, 50 h. 200001116 Filtro de capilar en ejecución metálica(1 ud.) 12217 Filtro estándar para SL 300, juego 5 ud.(filtro de capilar de 20003501 plástico)
  • Página 139 INFICON Accesorios e interfases | 10 Soporte de botella de helio El soporte de la botella de helio permite transportar una provisión de helio con una pistola de pulverización junto con el detector de fugas. Solo las botellas pequeñas o medianas (máximo 10 l;...
  • Página 140 10 | Accesorios e interfases INFICON Fig. 20: Fijando el transmisor con cinta de velcro en un lugar libre Buscar mando a distancia inalámbrico desde el detector de fugas En caso de que pierda el mando a distancia inalámbrico RC1000WL, puede activar la emisión de señales acústicas del mando a distancia del detector de fugas.
  • Página 141 10.2.1 Establecer la conexión entre el aparato y el módulo I/O ü Derechos de supervisor Conecte el módulo I/O de INFICON mediante un cable de datos en el enchufe LD en la parte trasera del aparato, véase «Conexiones para accesorios y señales de control [} 34]».
  • Página 142 10 | Accesorios e interfases INFICON Presión p1 / presión p2 1 ... 10 V; 0,5 V / Década; logarítmico 1 V = 1 x 10 mbar Mantisa tasa de fuga 1 ... 10 V; lineal; en la Solo tiene sentido si la otra salida analógica está...
  • Página 143 INFICON Accesorios e interfases | 10 Hist. mantisa tasa de 0,7 ... 10 V; lineal; Solo tiene sentido si la otra salida analógica está fuga asignada a «Exponente tasa de fuga». Mediante una en la unidad seleccionada superposición de la mantisa en el área de 0,7 a 1,0, se evita un salto permanente entre dos décadas.
  • Página 144 10 | Accesorios e interfases INFICON Función Transferencia Descripción Purge inactivo → activo: Conectar limpieza (solo en el estado Standby) activo → inactivo: Desconectar limpieza (solo en el estado Standby) Start inactivo → activo: Cambiar al modo de medición. Start/Stop inactivo →...
  • Página 145 INFICON Accesorios e interfases | 10 Función Estado: Descripción Calibration request cerrado: Sin calibración externa: Es necesaria la calibración Cuando hay calibración externa o «Comprobar CAL»: Solicitud «Abrir o cerrar fuga de calibración» abierto: ninguna solicitud: No se requiere la calibración...
  • Página 146 10 | Accesorios e interfases INFICON Función Estado: Descripción Purge cerrado: Válvula de limpieza abierta abierto: Válvula de limpieza cerrada Vent cerrado: Válvula de ventilación interna abierta abierto: Válvula de ventilación interna cerrada Standby or evacuate cerrado: Estado Standby o evacuar activo...
  • Página 147 Para establecer la conexión entre el detector de fugas y el módulo de bus, proceda como sigue: Apague el detector de fugas. Conecte el módulo de bus INFICON mediante un cable de datos al enchufe LD del aparato, véase «Conexiones para accesorios y señales de control [} 34]». Encienda el detector de fugas.
  • Página 148 10 | Accesorios e interfases INFICON 10.4 Red 10.4.1 Utilizar el detector de fugas a través de un navegador web (LAN) INDICACIÓN Se puede atacar el sistema operativo mediante USB o Ethernet El sistema operativo Linux usado en el detector de fugas no se actualiza automáticamente y, por tanto, puede haber lagunas de seguridad.
  • Página 149 INFICON Accesorios e interfases | 10 10.4.1.2 Ajustar la conexión LAN en el PC o tableta Conexión LAN - Inicio rápido Si ya ha realizado una vez el paso de trabajo aquí descrito, en caso de repetición en muchos aparatos basta con la introducción de la dirección IP.
  • Página 150 10 | Accesorios e interfases INFICON 10.4.2 Utilizar el detector de fugas a través de un navegador web (WLAN) INDICACIÓN Se puede atacar el sistema operativo mediante USB o Ethernet El sistema operativo Linux usado en el detector de fugas no se actualiza automáticamente y, por tanto, puede haber lagunas de seguridad.
  • Página 151 INFICON Accesorios e interfases | 10 Para ajustar que el aparato sea compatible con la conexión WLAN, active la opción «Activar WLAN». Introduzca en el campo «WLAN Name (SSID)» el nombre de red deseado y en el campo «WLAN Clave de red» la clave de red deseada Clave de red.
  • Página 152 10 | Accesorios e interfases INFICON ð En el PC o tableta tiene disponible la misma funcionalidad que en la pantalla táctil del detector de fugas. 10.4.2.3 Permitir acceso de cliente ü Derechos de supervisor > Configurar > Red > Acceso Clientes Para permitir un uso del detector de fugas a través de un PC o tableta, active la...
  • Página 153 INFICON Anexo | 11 11 Anexo 11.1 Rutas de menú 11.1.1 Diagnóstico > Advertencias confirmadas > Errores y advertencias > Datos de medición > Registro de datos > Datos de medición > Información de la base de datos > Datos de medición > Exportación de datos de medición >...
  • Página 154 11 | Anexo INFICON > Cuentas de usuario > Modificar PIN propio > Cuentas de usuario > Cambiar idioma propio > Cuentas de usuario > Favoritos > Modo de servicio > Configurar > General > Notificaciones > Configurar > General > Fecha y hora >...
  • Página 155 INFICON Anexo | 11 > Configurar > Accesorios > RC1000 > Juegos de parámetros > Lista de parámetros > Juegos de parámetros > Administrar juegos de parámetros > Valores de umbral 11.1.3 Información > Grupos constructivos > Fuente iónica > Grupos constructivos > TMP >...
  • Página 156 11 | Anexo INFICON 11.2 Declaración de conformidad CE 156 / 164 UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
  • Página 157 INFICON Anexo | 11 UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207) 157 / 164...
  • Página 158 11 | Anexo INFICON 11.3 RoHS 158 / 164 UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
  • Página 159 INFICON Índice de palabras clave Índice de palabras clave Descripción del funcionamiento  19 Diagrama de vacío  99 Activación  97 Activación de función adicional  97 Ajustar el idioma  58 Encendido  55 Ajustar los valores de umbral  70 Envío  132, 135 Ajuste de la fuga calibrada externa  73...
  • Página 160 Índice de palabras clave INFICON Cargar  57 Crear  57 Mando a distancia RC1000  139 Editar  57 Manejo Posibilidades de manejo  68 PC, tableta  151 Mantenimiento  124 Márgenes de vacío Qmáx  26 Activar para medición  71 FINE  74 GROSS  74 MASSIVE  74...
  • Página 161 INFICON Índice de palabras clave ZERO  83 Ajuste de fábrica  75 Tecla  27 UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207) 161 / 164...
  • Página 162 Índice de palabras clave INFICON 162 / 164 UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)

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