Montáž Vývěvy - Agilent Technologies TV 1001 SEM Manual De Instrucciones

13 Návod k Použití
Montáž vývěvy
Montáž vývěvy
NEBEZPEČÍ! Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by mohlo být
vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto propojení nebude
schopno vydržet tento točivý moment, vývěva by se mohla odpojit od systému
nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pláště vývěvy. V tomto případě
by z vývěvy nebo systému mohly vyletět kovové úlomky, které by mohly
způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení.
Vývěvu TV 1001 SEM umístěte do stabilní polohy a přívodní přírubu
turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému pomocí
přípojky, která odolá točivému momentu 8900 Nm kolem své osy.
Např. přírubu ISO-K lze připevnit příchytkami z vysoce pevné oceli
(jako je typ IC63250DCMZ firmy Agilent).
Následující tabulka uvádí nezbytný počet příchytek IC63250DCMZ
pro každou přírubu a příslušný utahovací moment.
Tab. 1
PŘÍRUBA
ISO 200
Následující tabulka uvádí nezbytný počet šroubů pro každou přírubu
ISO-F a příslušný utahovací moment.
Tab. 2
PŘÍRUBA
ISO 200 F
Třída ocelových šroubů pro přírubu "F" musí být > 8.8
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy
Agilent. Viz podrobný popis v příloze "Technical Information".
Vývěvu TV 1001 SEM lze instalovat v libovolné poloze.
190/296
POČET
12
POČET
12
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
UTAHOVACÍ MOMENT
35 Nm
UTAHOVACÍ MOMENT
25 Nm