Bruk - Agilent Technologies TV 303 Manual De Instrucciones

9 Instruksjon Manual

Bruk

Bruk

Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne håndboken før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår, må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120 °C.
ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret
eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De
høye temperaturene kan føre til brannskader.
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den
FORSIKTIG!
er i funksjon. Lagrene kan skades.
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen.
Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk
trykk).
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell
åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff)
koples for å beskytte lagrene (se "Technical Information").
ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser,
skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
116/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 (A)