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Istruzioni per l'uso
Collegamento della flangia di ingresso
La pompa deve essere montata in modo da consentire un gioco sufficiente per
l'installazione e la rimozione del connettore ad alta tensione.
La pompa deve essere mantenuta chiusa ermeticamente con il pinch-off fino a
quando è pronta per il collegamento al sistema da vuoto. Ciò evita l'accumulo di
polvere e di altri materiali indesiderati. Prima di rompere il pinch-off, consultare la
procedura di controllo (vedere il paragrafo precedente).
Mandare all'aria la pompa ionica aprendo il pinch-off in un'area pulita, priva di smog,
polvere, polline, ecc. Si consiglia vivamente di utilizzare azoto secco per mandare
all'aria la pompa. Per eseguire questa operazione, posizionare un sacchetto di
polietilene pulito sopra la flangia della pompa ionica. Le pompe di piccole
dimensioni possono essere posizionate completamente all'interno del sacchetto.
Inserire anche un paio di pinze all'interno del sacchetto e spurgare il sacchetto con
azoto secco pulito per alcuni minuti; quindi maneggiare le pinze dall'esterno del
sacchetto per rompere il pinch-off.
Non aprire il pinch-off con una sega o una smerigliatrice. Questi metodi
ATTENZIONE
generano particelle metalliche che vengono aspirate nella pompa dall'aria in
circolazione quando la pompa viene aperta.
Il tubo in rame della flangia di pinch-off è estremamente affilato.
AVVERTENZA
Prestare attenzione durante l'apertura alla posizione delle dita.
Utilizzare procedure appropriate per mantenere pulita la pompa e il sistema del
vuoto.
Svitare i bulloni della flangia principale e sollevare la flangia cieca. Rimuovere la
guarnizione di tenuta in rame, che non deve essere riutilizzata. Alcune particelle di
ossido di rame possono aderire al bordo esterno della guarnizione della flangia.
Fare attenzione a non farle cadere nella pompa insieme a eventuali altri materiali
estranei.
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Agilent VacIon Plus 800 User Manual
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