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使用说明
VacIon Plus 800 的启动和运行
正确使用 VacIon Plus 800 泵的所有说明都包含在本手册和相关泵控制单元手册
中。使用泵之前，请仔细阅读这些手册。
启动泵之前的初步操作
对于 Diode 版本，粗泵至等于或低于 1E-5 Torr（mbar）的压力 - StarCell 版
本的 1E-4 Torr - 建议用于最快的启动速度，以保持泵的使用寿命。通常，这种
压力水平可以通过涡轮分子泵轻松达到，该涡轮分子泵由主泵支撑，最好不含油。
原则上也可以在高于我们建议的压力下启动，但是长时间使用会影响泵的使用寿
命。 过去，需要在高压下启动离子泵是因为它直接连接到主泵上。 由于涡轮分子
泵的发明，这已经没有必要了。
吸湿性沉积 - 这是暴露于空气和氢吸收到钛阴极的自然后果 - 与离子泵的物理工
作原理相关的现象 - 可能会导致启动时间随着使用时长的增加而增加。实际上，
在启动时发生的泵加热导致水蒸气和一些先前泵送的氢气的释放； 因此，可以延
长开始时间。
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Agilent VacIon Plus 800 User Manual
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