Tabla de contenido
Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping
System
V tomto odseku sú uvedené základné prevádzkové postupy.
Pred použitím systému vykonajte všetky elektrické a pneumatické
pripojenia.
Počas prípadného ohrevu vákuovej komory nesmie byť teplota na
vstupnej prírube vyššia ako 80 °C.
Obsluha sa musí uistiť o príprave správneho spôsobu chladenia (WIN
106): 1 pre chladenie vodou, 0 pre chladenie núteným obehom
vzduchu (prednastavený režim), nastavením sériového ovládacieho
príkazu WIN 106. Podrobnejšie informácie nájdete v prílohe
„Technical Information".
Obsluha sa musí uistiť o príprave správneho spôsobu činnosti s
ohľadom na čerpaný plyn (WIN 157): 1 pre N
argón (prednastavený režim), nastavením sériového ovládacieho
príkazu WIN 157. Podrobnejší informácie nájdete v prílohe
„Technical Information".
NEBEZPEČÍE!
Nenechávajte vývevu v činnosti, ak vstupná príruba nie je pripojená k
vákuovej komore, alebo keď nie je uzatvorená uzatváracou prírubou.
Nedotýkajte sa turbovývevy a jej príslušenstva počas ohrevu. Vysoká teplota
by mohla spôsobiť zranenia osôb.
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
Návod na Obsluhu
a ľahšie plyny, 0 pre
2
(A)
14
261/406
Capítulos
Tabla de contenido
