操作
为了实现极限真空,必须在密封泵吸入口的情况下使泵
保持运行大约一小时的时间。
与传统油封泵不同的是, Varian 的干涡管泵无需使用液
体清洗其中所沉积的灰尘和碎屑。在大气环境中定期运
行泵一或两分钟即可实现对泵的清洁。定期清洗泵并根
据特定情况调整此时间安排。
启动过程
确保关闭真空系统隔离阀。
1.
打开泵的电源。
2.
打开隔离阀。
3.
关机过程
关闭真空系统隔离阀。
1.
这可以防止碎屑由于传送至真空系统而进入泵体内。
关闭泵的电源。
2.
28
TriScroll 300 Series Vacuum Pump
维护
负责操作和维护泵的人员必须经过严格的培训,并且熟
悉事故预防规则。
警告
接触高压可能会遭受电击而致死。应
❑
始终格外小心并遵循有效的事故预防
规程。
机器通电后,须特别小心移动部件并
❑
注意高压。
如果必须在泵操作相当长的时间之后
❑
对其进行维护,请等其冷却后再操作,
因为外表面的温度可能超过
❑
在开始维护工作之前,始终断开泵的
电源。
注释
将泵返回工厂维修之前,必须填写本说
明手册随附的 "健康和安全"表,并
将其发送至当地销售办事处。运输之前,
必须将该表的副本插入泵的包装箱内。
如果要废弃泵,必须按照特定的国家和当地标准对其进
行处置。
℃
。
(131 °F)
55