NEIN!
! ! ! !
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschlieflen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaflˆffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenst‰nde eingef¸hrt werden. Es wird
empfohlen,
ein
Schutzgitter
(Sonderzubehˆr).
Bei
Ersch¸tterungsd‰mpfers oder eines flexiblen Metallbalges
auf der Einlaflˆffnung mufl die Turbopumpe immer am
Unterteil fest installiert sein.
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V700HT
d¸rfen ausschliefllich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen
betrieben werden (Baureihen 969-9445, 969-9545, 969-9872)
und m¸ssen an eine Prim‰rpumpe angeschlossen werden
(siehe Schema ìTechnical Informationî).
Die Turbopumpen kˆnnen in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position,
indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen
Gegenflansch anschlieflen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 4000 Nm standhalten mufl.
Turbopumpen
mit
ISO-Eingangsflansch
doppelten
oder
einfachen
Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden
Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen
sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH
SCHELLENART
ISO 200
Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
Einzelklemme
mit
NM10-Gewinde
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch m¸ssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang
ìTechnical Informationî.
Wenn die Pumpen ¸ber ihr Unterteil installiert werden sollen,
m¸ssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben
eingesetzt werden. Die Schrauben m¸ssen eine Dehngrenze
2
von 500N/mm
haben und mit einem Anzugsmoment 3,1 Nm
angezogen werden.
Installation
Sonderzubehˆr:
Informationî.
ANWENDUNG
S‰mtliche Hinweise f¸r den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das
Pumpengeh‰use
mit
einer
ausgeheizt werden.
zu
installieren
Installation
eines
m¸ssen
mittels
Klemmschellen
an
die
ANZAHL ANZUGSMOMENT
6
22 Nm
12
22 Nm
siehe
Anhang
ìTechnical
Heizmanschette
(Optional)
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120[C
nicht
¸berschreitet,
Vakuumsystemen die TP mit Wasserk¸hlung arbeiten.
! ! ! !
W‰hrend des Ausheizens d¸rfen weder die Pumpe noch
eventuelle heifle Anschluflteile ber¸hrt werden, denn es
besteht Verbrennungsgefahr.
! ! ! !
F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Bel¸ftungsanschlufl mufl kleiner als 2 bar ¸ber dem
atmosph‰rischen Druck sein.
! ! ! !
W‰hrend des Betriebs sind Stofl- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager besch‰digt werden kˆnnten.
! ! ! !
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer ÷fnungsklappe ausgestattet, ¸ber die zum Schutz der
Lager ausschliefllich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugef¸hrt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
! ! ! !
Wenn
die
Pumpe
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, m¸ssen
die f¸r das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg‰nge und
Maflnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Pr‰senz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V700HT sind wartungsfrei.
Eventuelle Eingriffe d¸rfen nur von autorisierten Fachkr‰ften
vorgenommen werden.
! ! ! !
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe ¸ber ÷ffnung des entsprechenden Ventils bel¸ften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpengheh‰use unter 50[C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian mufl
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgef¸llt an Varian geschickt und best‰tigt
werden. Eine Kopie mufl den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung mufl unter Einhaltung der
einschl‰gigen landes¸blichen Vorschriften erfolgen.
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
sollte
immer
bei
ausheizbaren
GEFAHR!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
GEFAHR!
zur
Fˆrderung
von
giftigen,
GEFAHR!
87-900-878-01(C)
leicht
