Figura 2-2: Vista posterior
Elemento
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4
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6
Guía de usuario del sistema
RUO-IDV-05-6475-ES-C
Descripción
Válvula de ajuste de gas CAD
Alimentación de CA
Conexión de la bomba de vacío
preliminar
Panel de E/S
Panel de gases
Fuente de iones
Principios de funcionamiento
Materiales con los que los
usuarios pueden entrar en
contacto
Acero inoxidable (perilla)
Plástico (conector), PVC (cable)
Aluminio (conector de
manguera), acero con plancha
de zinc (abrazaderas de
manguera)
N/A
Acero inoxidable (conectores de
tubos)
Acero inoxidable (conectores
de tubos, pantalla térmica,
micrómetro), micrómetro, vidrio
de sílice (ventana), poliéster
(etiquetas)
Sistemas SCIEX 3200
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