6 | Funcionamiento
6.11.1 Cambio al monitor interno
6.12 Ver el diagrama de vacío
98 / 162
INDICACIÓN
Desconexión del monitor externo
► Si el aparato está encendido, antes de desconectar las conexiones de un monitor
externo, cambie al monitor interno desde el menú.
Con el aparato encendido, puede cambiar al monitor interno en cualquier momento.
1
> Pantalla > Monitor de interruptores
2
Pulse el botón «Monitor interno».
Para comprobar el funcionamiento y el estado operativo del sistema de medición de
un vistazo, acceda a la representación simplificada del esquema de vacío.
►
> Diagrama de vacío
1
2
10
V3
V1a
V1
Fig. 14: Los componentes más importantes del diagrama de vacío en aparatos UL3000 Fab
ULTRA
1 Brida de entrada
2 Punto de medición de presión
de entrada
3
TL
p1
V4c
V4b
V4a
V2b
V9
V10
9
6 Punto de medición de presión de vacío
previo
7 Punto de medición de presión para el
control de flujo
UL3000-Fab-ULTRA-Manual-de-instrucciones-iinb73es1-09-(2109)
4
V7
MS
V8
p4
p2
V2a
V5
8
7
INFICON
5
6
